專利名稱:硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及精度檢測設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特指一種基于高精度激光輪廓傳感器的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置。所述的精度檢測裝置包括機(jī)體、高精度激光輪廓傳感器和可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置。機(jī)體可分為上下兩層，上層共裝有五個(gè)高精度激光輪廓傳感器，下層中心處設(shè)置有可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置，自動(dòng)滑臺(tái)上裝有工作臺(tái)。該裝置可實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的上下、前后、左右運(yùn)動(dòng)。整個(gè)機(jī)構(gòu)相對(duì)于現(xiàn)有工作臺(tái)，具有結(jié)構(gòu)簡單、自動(dòng)化程度高、測試數(shù)據(jù)誤差小、測試項(xiàng)目多元化等優(yōu)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)了可以大大提高檢測效率。
【專利說明】硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及精度檢測設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特指一種基于高精度激光輪廓傳感器的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量作業(yè)中，通常由人工流水線式抽檢產(chǎn)品是否滿足精度要求。這種方式勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作時(shí)間長，生產(chǎn)效率低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)在位置精度測量的不足，提供一種基于高精度激光輪廓傳感器的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置。該基于高精度激光輪廓傳感器的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置解決了現(xiàn)有檢測設(shè)備所存在的:檢測精度低、檢測周期長、效率低等缺陷。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種可X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向滑動(dòng)的精度檢測機(jī)構(gòu)包括機(jī)體、高精度激光輪廓傳感器和可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置。機(jī)體可分為上下兩層，上層共裝有五個(gè)高精度激光輪廓傳感器，下層中心處設(shè)置有可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置，自動(dòng)滑臺(tái)上裝有工作臺(tái)。該裝置可實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的上下、前后、左右運(yùn)動(dòng)。
[0006]可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置Z軸部分安裝在機(jī)體下層中心處，自動(dòng)滑臺(tái)Z軸部分內(nèi)部設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)，可帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)Z軸工作臺(tái)上下運(yùn)動(dòng)。
[0007]可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置Y軸部分安裝在自動(dòng)滑臺(tái)Z軸的工作臺(tái)上，自動(dòng)滑臺(tái)Y軸部分內(nèi)部設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)，通過絲杠帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)Y軸工作臺(tái)左右運(yùn)動(dòng)。
[0008]可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置X軸部分安裝在自動(dòng)滑臺(tái)Y軸的工作臺(tái)上，自動(dòng)滑臺(tái)X軸部分內(nèi)部設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)，通過絲杠帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)X軸工作臺(tái)沿導(dǎo)軌前后運(yùn)動(dòng)。
[0009]需檢測工件放置在工作臺(tái)上，檢測傳感器3和檢測傳感器6可以檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器的圓柱體A的位置精度，檢測傳感器2和檢測傳感器5可以檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器的圓柱體B的位置精度，檢測傳感器4可檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器圓弧邊的精度。

【附圖說明】

[0010]圖1是本實(shí)用新型的整體機(jī)械結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型的機(jī)體及三軸自動(dòng)滑臺(tái)正視示意圖；
[0012]圖3是本實(shí)用新型的機(jī)體及三軸自動(dòng)滑臺(tái)左視示意圖；
[0013]圖4是本實(shí)用新型的機(jī)體及三軸自動(dòng)滑臺(tái)俯視示意圖；
[0014]圖5是本實(shí)用新型的三軸自動(dòng)滑臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]【元件及附圖標(biāo)記】:機(jī)體(I);高精度激光輪廓傳感器(2，3，4，5，6);伺服電機(jī)(7，13);絲杠(8)，硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9);工作臺(tái)(10，11，12);絲杠(15);絲杠(16)，自動(dòng)滑臺(tái)X軸部分(E);自動(dòng)滑臺(tái)Y軸部分⑶；自動(dòng)滑臺(tái)Z軸部分(C);硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器圓柱體(A, B);十字自動(dòng)滑臺(tái)(17) ο

【具體實(shí)施方式】
[0016]見圖1-圖5，本實(shí)用新型基于高精度激光輪廓傳感器的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置包括:機(jī)體，傳感器，步進(jìn)電機(jī)，絲杠，工件，工作臺(tái)，導(dǎo)軌，自動(dòng)滑臺(tái)X軸部分，自動(dòng)滑臺(tái)Y軸部分，自動(dòng)滑臺(tái)Z軸部分。
[0017]機(jī)體的內(nèi)部設(shè)置有X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向滑動(dòng)的自動(dòng)滑臺(tái)，自動(dòng)滑臺(tái)上安裝有工作臺(tái)，機(jī)體上層有五個(gè)檢測傳感器。
[0018]自動(dòng)滑臺(tái)Z軸安裝在機(jī)體下層中心處，自動(dòng)滑臺(tái)Z軸內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)，可帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)Z軸工作臺(tái)上下運(yùn)動(dòng)。
[0019]自動(dòng)滑臺(tái)Y軸安裝在自動(dòng)滑臺(tái)Z軸的工作臺(tái)上，自動(dòng)滑臺(tái)Y軸內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)，通過絲杠帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)Y軸工作臺(tái)沿導(dǎo)軌左右運(yùn)動(dòng)。
[0020]自動(dòng)滑臺(tái)X軸安裝在自動(dòng)滑臺(tái)Y軸的工作臺(tái)上，自動(dòng)滑臺(tái)X軸內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)，通過絲杠帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)X軸工作臺(tái)沿導(dǎo)軌前后運(yùn)動(dòng)。
[0021]被檢測的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器放置在工作臺(tái)上，放置硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器時(shí)，保證其上的圓柱體(A)與圓柱體(B)在對(duì)角線方向投影不重合干涉，高精度激光輪廓傳感器(3)和高精度激光輪廓傳感器(6)分別安裝在機(jī)體(I)上層的對(duì)角兩端，精度激光輪廓傳感器(6)接收高精度激光輪廓傳感器(3)發(fā)射出的光波，從而檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器上圓柱體(A)的位置精度；高精度激光輪廓傳感器(2)和高精度激光輪廓傳感器(5)分別安裝在機(jī)體(I)上層的對(duì)角兩端，精度激光輪廓傳感器(2)接收高精度激光輪廓傳感器(5)發(fā)射出的光波，從而檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器上圓柱體(B)的位置精度；高精度激光輪廓傳感器(4)安裝在機(jī)體(I)上層右方中間處，硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)調(diào)整到合適位置之后，保證其Z軸與X軸方向坐標(biāo)不變，可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置X軸部分(E)中的步進(jìn)電機(jī)(14)帶動(dòng)工作臺(tái)
(10)在Y軸方向上緩慢移動(dòng)，每移動(dòng)一次，高精度激光輪廓傳感器(4)發(fā)射光波檢測一次，最終可得出硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)圓弧邊的深度曲線，從而可以檢測出硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)圓弧邊的精度是否滿足要求。
[0022]以上描述是對(duì)本實(shí)用新型的解釋，不是對(duì)實(shí)用新型的限定，本實(shí)用新型所限定的范圍參見權(quán)利要求，在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)，可以作任何形式的修改。
【權(quán)利要求】
1.一種可X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向滑動(dòng)的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器位置精度測量裝置，其特征在于:該裝置包括機(jī)體(I)、高精度激光輪廓傳感器(2，3,4, 5,6)和可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)，機(jī)體(I)可分為上下兩層，上層共裝有五個(gè)高精度激光輪廓傳感器(2，3，4，5，6)，下層中心處設(shè)置有可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)，自動(dòng)滑臺(tái)(E)上裝有工作臺(tái)(10)，工作臺(tái)(10)可X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向?qū)崿F(xiàn)上下、左右、前后的滑動(dòng)。2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)位置精度測量裝置的Z軸部分(C)安裝在所述的機(jī)體(I)下層中心處，十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Z軸方向滑動(dòng)頭(C)內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)(13)，伺服電機(jī)(13)通過十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Z軸部分(C)中的絲杠(16)帶動(dòng)十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Z軸部分(C)上的工作臺(tái)(12)上下運(yùn)動(dòng)。3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)位置精度測量裝置的Y軸部分(D)安裝在十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Z軸部分(C)上的工作臺(tái)(12)上，十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)Y軸部分(D)內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)(7)，伺服電機(jī)(7)通過十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Z軸部分(C)中的絲杠⑶帶動(dòng)十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Y軸部分(D)上的工作臺(tái)(11)左右運(yùn)動(dòng)。4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)位置精度測量裝置的X軸部分(E)安裝在十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的Y軸部分(D)的工作臺(tái)(11)上，十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)的X軸部分(E)內(nèi)部設(shè)置有伺服電機(jī)(14)，伺服電機(jī)(14)通過十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置(17)Χ軸部分(E)中的絲杠(15)帶動(dòng)自動(dòng)滑臺(tái)X軸部分(E)上的工作臺(tái)(10)前后運(yùn)動(dòng)。5.如權(quán)利要求1所述機(jī)構(gòu)，其特征在于:被檢測的硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)放置在工作臺(tái)(10)上，放置硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)時(shí)，保證其上的圓柱體(A)與圓柱體(B)在對(duì)角線方向投影不重合干涉，高精度激光輪廓傳感器(3)和高精度激光輪廓傳感器(6)分別安裝在機(jī)體(1)上層的對(duì)角兩端，精度激光輪廓傳感器(6)接收高精度激光輪廓傳感器(3)發(fā)射出的光波，從而檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)上圓柱體(A)的位置精度；高精度激光輪廓傳感器(2)和高精度激光輪廓傳感器(5)分別安裝在機(jī)體(I)上層的對(duì)角兩端，精度激光輪廓傳感器(2)接收高精度激光輪廓傳感器(5)發(fā)射出的光波，從而檢測硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)上圓柱體(B)的位置精度；高精度激光輪廓傳感器(4)安裝在機(jī)體(I)上層右方中間處，硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)調(diào)整到合適位置之后，保證其Z軸與X軸方向坐標(biāo)不變，可三軸移動(dòng)的十字自動(dòng)滑臺(tái)裝置X軸部分(E)中的步進(jìn)電機(jī)(14)帶動(dòng)工作臺(tái)(10)在Y軸方向上緩慢移動(dòng)，每移動(dòng)一次，高精度激光輪廓傳感器(4)發(fā)射光波檢測一次，最終可得出硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)圓弧邊的深度曲線，從而可以檢測出硬盤磁頭驅(qū)動(dòng)器(9)圓弧邊的精度是否滿足要求。
【文檔編號(hào)】G01B11-00GK204286359SQ201420679715
【發(fā)明者】張洪, 孫春龍, 杜汶勵(lì) [申請(qǐng)人]江南大學(xué)