專利名稱：高亮度超光潔檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測照明裝置，尤其涉及一種高亮度超光潔檢測裝置。
背景技術(shù)：
在一些精密光學(xué)的表面加工和半導(dǎo)體集成電路板生產(chǎn)好以后，需對這些產(chǎn)品進行檢測。
目前，技術(shù)人員使用的檢測照明裝置一般采用市場上現(xiàn)成的各種照明燈或幻燈機，觀察其表面質(zhì)量。但由于其一般有效光通量僅1000流明以下，光照度僅達數(shù)千勒克斯，不能達到檢測的目的。如在檢測DVD母盤過程中，由于光照度不夠，實際上一些是次品的產(chǎn)品誤作為正品，嚴(yán)重影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是提供了一種高亮度超光潔檢測裝置，旨在解決目前還沒有能夠真正檢測出的精密光學(xué)的表面疵病的這種裝置的缺陷。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的本發(fā)明包括發(fā)光源，非球面聚光鏡，球面聚光鏡，投影物鏡；所述的發(fā)光源經(jīng)非球面聚光鏡和球面聚光鏡通過投影物鏡指向被照物體；所述的非球面聚光鏡的截面X和Y滿足方程式Y(jié)2＝AX-BX2+CX3；所述的系數(shù)A在大于等于40和小于等于50之間，系數(shù)B在大于0和小于等于1之間，系數(shù)C在大于0和小于等于0.002之間；所述的X為橫向值，Y為縱向值；其直徑(2Y)在4厘米到10厘米之間；所述的投影物鏡的相對孔徑＝1/Z，Z在1.2到2之間。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是如果采用的燈泡是250W/24V，有效光通量為2500流明以上150W/24V，有效光通量為2000流明以上；而局部的光照度可達到200000勒克斯，光線均勻度為60％以上，能清晰地觀察不同大小工件的表面質(zhì)量，如玻璃表面劃痕，氣泡，條紋，麻點，油跡，以及集成電路模塊的各類疵病一覽無遺，達到了檢測的目的。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意主視圖；其中發(fā)光源1非球面聚光鏡2投影物鏡3滑槽4濾熱器5球面聚光鏡6濾色片具體實施方式
下面結(jié)合附圖與具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細描述由圖1可見本發(fā)明包括發(fā)光源1，非球面聚光鏡2，球面聚光鏡6，投影物鏡3；所述的發(fā)光源1經(jīng)非球面聚光鏡2和球面聚光鏡6通過投影物鏡3指向被照物體；所述的非球面聚光鏡2的截面X和Y滿足方程式Y(jié)2＝AX-BX2+CX3；所述的系數(shù)A在大于等于40和小于等于50之間，系數(shù)B在大于0和小于等于1之間，系數(shù)C在大于0和小于等于0.002之間；所述的X為橫向值，Y為縱向值；其直徑(2Y)在4厘米到10厘米之間；所述的系數(shù)A等于42；B等于0.6；C等于0.0018；直徑等于5厘米；所述的投影物鏡3的相對孔徑＝1/Z，Z在1.2到2之間；Z＝1.5；所述的發(fā)光源1和非球面聚光鏡2之間還可以包括一個將發(fā)光源1安置在其上的滑槽4；所述的投影物鏡3是可調(diào)節(jié)的投影物鏡；所述的非球面聚光鏡2和球面聚光鏡6之間還可以安置濾熱器5；
所述的濾熱器5是紅外線濾熱玻璃片；所述的投影物鏡3之前還可以安置濾色片7；所述的發(fā)光源1是溴鎢燈。
下面對本發(fā)明的原理作如下描述由于本發(fā)明采用發(fā)光源和非球面聚光鏡之間采用滑槽及大口徑可調(diào)節(jié)投影物鏡，所以光照度特別強烈，且光強度和光照范圍都可以調(diào)節(jié)。
當(dāng)光線進入非球面聚光鏡，有效發(fā)光包容角達到110度；由于采用雙平凸聚光系統(tǒng)，可以保證綜合像差的最小量；采用對稱結(jié)構(gòu)，垂軸光學(xué)像差自動消除，以保證大口徑條件下的光能集中。
同時采用紅外線濾熱玻璃片隔溫措施以及濾色片可以降低被照物的溫度和控制不同光譜光線，并可以廣泛應(yīng)用在其它光照場合。
權(quán)利要求
1.一種高亮度超光潔檢測裝置，包括發(fā)光源(1)，非球面聚光鏡(2)，球面聚光鏡(6)，投影物鏡(3)；所述的發(fā)光源(1)經(jīng)非球面聚光鏡(2)和球面聚光鏡(6)通過投影物鏡(3)指向被照物體；其特征在于所述的非球面聚光鏡(2)的截面X和Y滿足方程式Y(jié)2＝AX-BX2+CX3；所述的系數(shù)A在大于等于40和小于等于50之間，系數(shù)B在大于0和小于等于1之間，系數(shù)C在大于0和小于等于0.002之間；所述的X為橫向值，Y為縱向值；其直徑(2Y)在4厘米到10厘米之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的系數(shù)A等于42；B等于0.6；C等于0.0018；直徑等于5厘米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的投影物鏡(3)的相對孔徑＝1/Z，Z在1.2到2之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的Z＝1.5。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的發(fā)光源(1)和非球面聚光鏡(2)之間還可以包括一個將發(fā)光源(1)安置在其上的滑槽(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的投影物鏡(3)是可調(diào)節(jié)的投影物鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的非球面聚光鏡(2)和球面聚光鏡(6)之間還可以安置濾熱器(5)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的濾熱器(5)是紅外線濾熱玻璃片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的投影物鏡(3)之前還可以安置濾色片7。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高亮度超光潔檢測裝置，其特征在于所述的發(fā)光源(1)是溴鎢燈。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高亮度超光潔檢測裝置，本發(fā)明包括發(fā)光源(1)，非球面聚光鏡(2)，球面聚光鏡(6)，投影物鏡(3)；所述的發(fā)光源(1)經(jīng)非球面聚光鏡(2)和球面聚光鏡(6)通過投影物鏡(3)指向被照物體；所述的非球面聚光鏡(2)的截面X和Y滿足方程式Y(jié)
文檔編號G01N21/84GK1553171SQ03128908
公開日2004年12月8日 申請日期2003年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月28日
發(fā)明者應(yīng)永偉, 周德林 申請人:上海申菲激光光學(xué)系統(tǒng)有限公司