專利名稱：真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置。
背景技術(shù)：
高清晰度大屏幕平板顯示已成為當(dāng)前信息技術(shù)發(fā)展的熱點和趨勢，采用高能量的真空紫外激發(fā)的彩色等離子體平板顯示(簡稱PDP)，已經(jīng)成為大屏幕平板顯示的佼佼者，也使掛壁彩電成為現(xiàn)實。PDP所用的關(guān)鍵材料之一是熒光粉，由于PDP技術(shù)的迅猛突起，所用的熒光粉及其相應(yīng)的測試急待完善。
由于PDP熒光粉采用光子能量較強的真空紫外線激發(fā)，而通常所用的光譜和光學(xué)參數(shù)測量儀器是在紫外一可見區(qū)，因此，無法使用。目前，可以用于測量真空紫外用熒光粉光學(xué)參數(shù)的方法，文獻中主要有三種。一是在高能同步輻射加速器上，利用某一節(jié)點輸出的真空紫外光激發(fā)熒光粉發(fā)光，再經(jīng)光譜儀測量熒光粉的發(fā)射光譜。此法不僅需要用同步加速器，而且要附加一整套光學(xué)引出系統(tǒng)，因此結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大，價格極其昂貴，難以在實際生產(chǎn)中獲得應(yīng)用；二是可利用高溫等離子體輻射源，在不斷注入所需惰性氣體并使其處于高溫等離子體狀態(tài)下電離，并發(fā)射出所需的真空紫外光，激發(fā)熒光粉發(fā)光，再經(jīng)光譜儀測量熒光粉光譜數(shù)據(jù)。此法的系統(tǒng)也較龐大，且需不斷注入惰性氣體和形成高溫等離子體，在實際應(yīng)用中也有許多不便；第三種方法是采用氘燈產(chǎn)生的真空紫外連續(xù)放電光譜，經(jīng)過真空紫外單色儀分光，獲得單一波長的真空紫外光譜，激發(fā)熒光粉。此方法中的真空紫外光經(jīng)過真空紫外單色儀分光后信號很弱，測量信噪比和穩(wěn)定性差。此外，該方法的測量光路長，真空度要求高。而上述這些測量方法，還只能獲得真空紫外熒光粉的部分光學(xué)參數(shù)，在實際應(yīng)用中存在不少問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在提供一種結(jié)構(gòu)簡單、價格低、體積小、測量參數(shù)較全、精度高、使用方便的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置。
發(fā)明的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置包括帶真空泵的真空箱，真空箱內(nèi)設(shè)有和驅(qū)動裝置聯(lián)接的托架，托架上分布有若干個放熒光粉的樣品盤，在驅(qū)動裝置伸出真空箱端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置，在真空箱上安裝有至少一個向樣品盤照射光的激發(fā)光源和至少一個接收樣品發(fā)射光的光電測量儀。
上述真空箱呈真空狀態(tài)或充有惰性氣體，如氦氣、氙氣、氖氣、氮氣等。
所說的光電測量儀可以是裝置在真空箱內(nèi)并與箱外的測量儀表連接的亮度探測器，或是插置在真空箱孔眼的亮度計，或是通過聚光鏡或光纖與真空箱相連的光譜輻射儀。
所說的激發(fā)光源可以是真空紫外燈、或是電子束激發(fā)源、或是離子束激發(fā)源、或是激光束激發(fā)源。
驅(qū)動裝置可以是蝸輪蝸桿傳動或齒輪傳動機構(gòu)，也可以是步進電機直接驅(qū)動。該驅(qū)動裝置驅(qū)動托架作旋轉(zhuǎn)或作直線運動。
為防止鏡面反射，通常，使激發(fā)光源垂直照射樣品盤中的樣品，光電測量儀從與樣品法線成45°角的方向接收樣品發(fā)射光，或者激發(fā)光源從與樣品法線成45°角的方向照射樣品，光電測量儀垂直于樣品盤方向接收樣品發(fā)射光。
本發(fā)明與已有技術(shù)相比取得的效果在于本發(fā)明由驅(qū)動裝置驅(qū)動托架運轉(zhuǎn)，使激發(fā)光源直接照射相應(yīng)編號樣品盤中的試樣，利用光電測量儀，接收處于真空或惰性氣體保護的熒光粉試樣的發(fā)射光，可測得真空紫外熒光粉的光譜分布，相對亮度、色品坐標(biāo)、色純度、色溫、峰值發(fā)射波長及輻射度、帶寬等諸多光學(xué)參數(shù)。它結(jié)構(gòu)簡單、價格低，測量參數(shù)較全，精度高，信號強，使用方便。


圖1是本發(fā)明一種具體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
參照圖1，本發(fā)明的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置包括帶真空泵10的真空箱5，圖中19為箱蓋，真空箱內(nèi)設(shè)有和驅(qū)動裝置8聯(lián)接的托架7，此例，驅(qū)動裝置采用蝸輪蝸桿傳動機構(gòu)，它通過真空密封軸8-1與轉(zhuǎn)盤式托架相連，驅(qū)動托架旋轉(zhuǎn)。在托架上分布有若干個用于放熒光粉的樣品盤6，真空密封軸8-1處于真空箱外一端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置9，這里，編碼裝置是由具有定位孔和編碼孔的編碼盤9-1和檢測編碼的光電中斷器9-2構(gòu)成，或者也可以采用光電軸角編碼器。在真空箱上安裝有向樣品盤照射光的激發(fā)光源1，圖示實例中，激發(fā)光源采用的是體積小、照射強度大的真空紫外燈，它包括具有氟化鎂前窗20的燈腔21，燈腔內(nèi)有兩個經(jīng)引線與電源2相連的放電電極22，腔體內(nèi)充有一種或幾種混合的惰性氣體，如充氦氣、氙氣或其它惰性氣體，在放電時產(chǎn)生較強的147nm，172nm或其它波長的真空紫外線。通常，將分別充有不同惰性氣體的數(shù)個真空紫外燈裝置在真空箱上，便于根據(jù)需要，選擇所需波長的真空紫外線照射試樣，給使用帶來方便。真空紫外燈燈腔內(nèi)的兩個放電電極可以是兩個平板電極，或是兩個桿狀電極或是中心為桿狀，外圈為圓筒狀的電極，或者是兩個同心式圓筒狀電極。此例中，接收樣品發(fā)射光的光電測量儀有兩個，一個是裝置在真空箱內(nèi)并與箱外的測量儀表3連接的亮度探測器4，另一個是通過插置在真空箱孔眼12的光纖13與真空箱相連的光譜輻射儀11。圖示發(fā)明裝置采用真空紫外燈垂直照射樣品盤的樣品，亮度探測器、光纖從與樣品法線成45°角的方向接收樣品反射光。其中光譜輻射儀11連接有計算機18，以利用計算機來接收測量數(shù)據(jù)及控制測量過程，對測量數(shù)據(jù)進行處理。本發(fā)明裝置可精確獲得真空紫外用熒光粉的光譜分布，相對亮度、色品坐標(biāo)、色純度、色溫、峰值發(fā)射波長及輻射度、帶寬等諸多光學(xué)參數(shù)。
權(quán)利要求
1.真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征在于它包括帶真空泵[10]的真空箱[5]，真空箱內(nèi)設(shè)有和驅(qū)動裝置[8]聯(lián)接的托架[7]，托架[7]上分布有若干個放熒光粉的樣品盤[6]，在驅(qū)動裝置伸出真空箱[5]端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置[9]，在真空箱上安裝有至少一個向樣品盤照射光的激發(fā)光源[1]和至少一個接收樣品發(fā)射光的光電測量儀。
2.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是真空箱[5]內(nèi)充有惰性氣體或呈真空狀態(tài)。
3.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的光電測量儀是裝置在真空箱內(nèi)并與箱外的測量儀表[3]連接的亮度探測器[4]，或是插置在真空箱孔眼[12]的亮度計，或是通過聚光鏡或光纖[13]與真空箱[5]相連的光譜輻射儀[11]。
4.按權(quán)利要求3所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的光譜輻射儀[11]連接有計算機[18]。
5.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的激發(fā)光源[1]是真空紫外燈，它包括具有氟化鎂前窗[20]的燈腔[21]，燈腔內(nèi)有兩個經(jīng)引線與電源相連的放電電極[22]，腔體內(nèi)充有一種或幾種混合的惰性氣體。
6.按權(quán)利要求5所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的放電電極[22]是兩個平板電極，或是兩個桿狀電極或是中心為桿狀，外圈為圓筒狀的電極，或者是兩個同心式圓筒狀電極。
7.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的激發(fā)光源[1]是電子束激發(fā)源，或是離子束激發(fā)源，或是激光束激發(fā)源。
8.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是激發(fā)光源[1]垂直照射樣品盤[6]中的樣品，光電測量儀從與樣品法線成45°角的方向接收樣品發(fā)射光，或者激發(fā)光源[1]從與樣品法線成45°角的方向照射樣品，光電測量儀垂直于樣品盤方向接收樣品發(fā)射光。
9.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的驅(qū)動裝置[8]是蝸輪蝸桿傳動或齒輪傳動機構(gòu)或是步進電機直接驅(qū)動。
10.按權(quán)利要求1所述的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置，其特征是所說的編碼裝置[9]是由具有定位孔和編碼孔的編碼盤[9-1]和檢測編碼的光電中斷器[9-2]構(gòu)成，或者是光電軸角編碼器。
全文摘要
本發(fā)明的真空紫外用熒光粉的光學(xué)參數(shù)測量裝置包括帶真空泵的真空箱，真空箱內(nèi)設(shè)有和驅(qū)動裝置聯(lián)接的托架，托架上分布有若干個放熒光粉的樣品盤，在驅(qū)動裝置伸出真空箱端裝有檢測樣品盤編號的編碼裝置，在真空箱上安裝有至少一個向樣品盤照射光的激發(fā)光源和至少一個接收樣品發(fā)射光的光電測量儀。本發(fā)明由驅(qū)動裝置驅(qū)動托架運轉(zhuǎn)，使激發(fā)光源直接照射相應(yīng)編號樣品盤中的試樣，利用光電測量儀，接收處于真空或惰性氣體保護的熒光粉試樣的發(fā)射光，可測得真空紫外熒光粉的光譜分布，相對亮度、色品坐標(biāo)、色純度、色溫、峰值發(fā)射波長及輻射度、帶寬等諸多光學(xué)參數(shù)。它結(jié)構(gòu)簡單、價格低，測量參數(shù)較全，精度高，信號強，使用方便。
文檔編號G01N21/62GK1412543SQ0113196
公開日2003年4月23日 申請日期2001年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月18日
發(fā)明者牟同升, 洪廣言, 王建平, 王立昌 申請人:浙江大學(xué)