一種光學(xué)真空鍍膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及材料表面處理技術(shù)領(lǐng)域，特指一種光學(xué)真空鍍膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜裝置能給金屬、半導(dǎo)體、絕緣體、塑料等表面上沉積一層不同的材料，工業(yè)上運(yùn)用范圍極其廣泛，而目前真空鍍膜能獲得有很好的附著力，在真空鍍膜過程中很多因素都會影響到鍍膜的效果，比如蒸發(fā)材料預(yù)熔時不清潔的蒸發(fā)物、整個機(jī)械的震動和放氣口異物在放氣時吸入蒸發(fā)室(5)內(nèi)等都會造成鍍膜的效果，而整個鍍膜裝置的維修和安裝也極為不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種光學(xué)真空鍍膜裝置，本實(shí)用新型維修方便，鍍膜效果好，安裝方便，能有效的防止異物進(jìn)入。
[0004]本實(shí)用新型一種光學(xué)真空鍍膜裝置是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種光學(xué)真空鍍膜裝置，包括機(jī)械泵(1)、羅茨泵(2)、擴(kuò)散泵(3)、高閥殼體(4)和蒸發(fā)室(5)，所述機(jī)械泵(I)放置在地面上，機(jī)械泵(I)直接與羅茨泵(2)連接，羅茨泵(2)設(shè)置在機(jī)架(13)上，羅茨泵(2)通過真空管道(17)分別與擴(kuò)散泵(3)和高閥殼體(4)連接，高閥殼體(4)設(shè)置在擴(kuò)散泵(3)的上端，真空管道(17)上設(shè)置有波紋管(18)，真空管道(17)與擴(kuò)散泵(3)連接處設(shè)置有預(yù)真空閥(6)，真空管道(17)與高閥殼體(4)連接處設(shè)置有低真空閥(7)，高閥殼體(4)的頂部設(shè)置有高閥氣缸(8)，高閥殼體(4)與蒸發(fā)室(5)連接，蒸發(fā)室(5)下端設(shè)置有四腳測量座(9)，蒸發(fā)室(5)的門體(11)上設(shè)置有兩個觀察窗口(10)，門體(11)的邊緣設(shè)置有壓緊裝置(14)，蒸發(fā)室(5)頂部的正中心設(shè)置有工轉(zhuǎn)引入(12)，蒸發(fā)室(5)的內(nèi)頂部設(shè)置有發(fā)熱裝置，蒸發(fā)室(5)的后方設(shè)置有室體放氣閥(19)，蒸發(fā)室(5)的側(cè)面設(shè)置有主機(jī)箱(15)。
[0006]所述真空管道(17)為三通管道，波紋管(18)設(shè)置在真空管道(17)與預(yù)真空閥(6)連接的分路端，烘烤裝置(16 )環(huán)繞分布在蒸發(fā)室(5 )內(nèi)頂部，壓緊裝置(14 )為氣缸推動。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型將機(jī)械泵安放在地面上，這樣機(jī)械泵的振動就不會傳遞給整機(jī)；四腳測量座作為備用的測量引線座，可用于對蒸發(fā)室內(nèi)的測量原件接線，也可用于其它測量接線；波紋管可以避免羅茨泵的震動傳給擴(kuò)散泵，壓緊裝置采用氣缸推動，使蒸發(fā)室的密封性更好，本實(shí)用新型對環(huán)境無污染，是綠色環(huán)保工藝，對操作者無傷害，膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強(qiáng)，膜厚均勻。
[0008]以下結(jié)合附圖所示實(shí)施例的【具體實(shí)施方式】，對本實(shí)用新型的上述內(nèi)容再作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型一種光學(xué)真空鍍膜裝置的側(cè)視圖，
[0010]圖2是本實(shí)用新型一種光學(xué)真空鍍膜裝置的主視圖，
[0011]圖3是本實(shí)用新型一種光學(xué)真空鍍膜裝置的俯視圖。
[0012]圖中標(biāo)記:I為機(jī)械泵，2為羅茨泵，3為擴(kuò)散泵，4為高閥殼體，5為蒸發(fā)室，6為預(yù)真空閥，7為低真空閥，8為高閥氣缸，9為四腳測量座，10為觀察窗口，11為門體，12為工轉(zhuǎn)引入，13為機(jī)架，14為壓緊裝置，15為主機(jī)箱，16為烘烤裝置，17為真空管道，18為波紋管，19為室體放氣閥。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型的一種光學(xué)真空鍍膜裝置，包括機(jī)械泵(1)、羅茨泵
(2)、擴(kuò)散泵(3)、高閥殼體(4)和蒸發(fā)室(5)，所述機(jī)械泵(I)放置在地面上，機(jī)械泵(I)直接與羅茨泵(2)連接，羅茨泵(2)設(shè)置在機(jī)架(13)上，羅茨泵(2)通過真空管道(17)分別與擴(kuò)散泵(3)和高閥殼體(4)連接，高閥殼體(4)設(shè)置在擴(kuò)散泵(3)的上端，真空管道(17)上設(shè)置有波紋管(18)，真空管道(17)與擴(kuò)散泵(3)連接處設(shè)置有預(yù)真空閥(6)，真空管道(17)與高閥殼體(4)連接處設(shè)置有低真空閥(7)，高閥殼體(4)的頂部設(shè)置有高閥氣缸(8)，高閥殼體(4)與蒸發(fā)室(5)連接，蒸發(fā)室(5)下端設(shè)置有四腳測量座(9)，蒸發(fā)室(5)的門體(11)上設(shè)置有兩個觀察窗口(10)，門體(11)的邊緣設(shè)置有壓緊裝置(14)，蒸發(fā)室(5)頂部的正中心設(shè)置有工轉(zhuǎn)引入(12)，蒸發(fā)室(5)的內(nèi)頂部設(shè)置有發(fā)熱裝置，蒸發(fā)室(5)的后方設(shè)置有室體放氣閥(19 )，蒸發(fā)室(5 )的側(cè)面設(shè)置有主機(jī)箱(15)。
[0014]首先抽取低真空，開啟機(jī)械泵(I) I?2分鐘，待泵油面平靜后開預(yù)真空閥(6)對擴(kuò)散泵(3)進(jìn)行抽低真空3?5分鐘待機(jī)械泵(I)油面平靜后開擴(kuò)散泵(3)，當(dāng)擴(kuò)散泵(3)處于正常工作狀態(tài)，真空度應(yīng)不低于I X KT3Pa時打開門體(11)進(jìn)行真空衛(wèi)生處理，檢查蒸發(fā)室(5)內(nèi)各配套件是否安裝到位，裝入蒸鍍工件及蒸發(fā)材料，關(guān)通過門體(11)上的壓緊裝置(14)對蒸發(fā)室(5)的門體(11)進(jìn)行壓緊關(guān)閉。這時關(guān)預(yù)真空閥(6)、開低真空閥(7)對蒸發(fā)室(5)抽低真空達(dá)到3Pa時，關(guān)低真空閥(7)、開預(yù)真空閥(6)再開高閥殼體(4)內(nèi)的高真空閥，對蒸發(fā)室(5)內(nèi)進(jìn)行抽高真空，達(dá)到工作真空度時間15分鐘以內(nèi)，首先清潔工件表面，再工件進(jìn)行烘烤除氣，檢查真空度，關(guān)閉烘烤待達(dá)到工作真空度5 X 10_3Pa后開始進(jìn)行工件鍍膜，通過工轉(zhuǎn)引入(12)的均勻轉(zhuǎn)動，使工件均勻蒸鍍，蒸鍍完成后，待蒸發(fā)室
(5)內(nèi)各配套件充分冷卻，打開室體放氣閥(19)開，待大氣平衡后再打開門體(11)，取出工件，最后開始停機(jī)操作，先關(guān)室體放氣閥(19)，再關(guān)閉門體(11)進(jìn)行保真空處理，關(guān)預(yù)真空閥(6)、開低真空閥(7)對蒸發(fā)室(5)抽低真空，抽真空至3Pa，保真空完畢。然后關(guān)低真空閥(7)、開預(yù)真空閥(6)、關(guān)擴(kuò)散泵(3)開始退熱，約I小時后關(guān)預(yù)真空閥(6)、關(guān)機(jī)械泵(I)。最后關(guān)閉主機(jī)箱(15)，打掃設(shè)備周圍清潔衛(wèi)生及設(shè)備自身清潔衛(wèi)生。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光學(xué)真空鍍膜裝置，包括機(jī)械泵(I)、羅茨泵(2)、擴(kuò)散泵(3)、高閥殼體(4)和蒸發(fā)室(5)，其特征在于:所述機(jī)械泵(I)放置在地面上，機(jī)械泵(I)直接與羅茨泵(2)連接，羅茨泵(2)設(shè)置在機(jī)架(13)上，羅茨泵(2)通過真空管道(17)分別與擴(kuò)散泵(3)和高閥殼體(4)連接，高閥殼體(4)設(shè)置在擴(kuò)散泵(3)的上端，真空管道(17)上設(shè)置有波紋管(18)，真空管道(17)與擴(kuò)散泵(3)連接處設(shè)置有預(yù)真空閥(6)，真空管道(17)與高閥殼體(4)連接處設(shè)置有低真空閥(7)，高閥殼體(4)的頂部設(shè)置有高閥氣缸(8)，高閥殼體(4)與蒸發(fā)室(5)連接，蒸發(fā)室(5)下端設(shè)置有四腳測量座(9)，蒸發(fā)室(5)的門體(11)上設(shè)置有兩個觀察窗口(10)，門體(11)的邊緣設(shè)置有壓緊裝置(14)，蒸發(fā)室(5)頂部的正中心設(shè)置有工轉(zhuǎn)引入(12)，蒸發(fā)室(5)的內(nèi)頂部設(shè)置有發(fā)熱裝置，蒸發(fā)室(5)的后方設(shè)置有室體放氣閥(19)，蒸發(fā)室(5)的側(cè)面設(shè)置有主機(jī)箱(15)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)真空鍍膜裝置，其特征在于:所述真空管道(17)為三通管道，波紋管(18)設(shè)置在真空管道(17)與預(yù)真空閥(6)連接的分路端，烘烤裝置(16)環(huán)繞分布在蒸發(fā)室(5)內(nèi)頂部，壓緊裝置(14)為氣缸推動。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及材料表面處理技術(shù)領(lǐng)域，特指一種光學(xué)真空鍍膜裝置；本實(shí)用新型包括機(jī)械泵1、羅茨泵2、擴(kuò)散泵3、高閥殼體4和蒸發(fā)室5，機(jī)械泵1與羅茨泵2連接，羅茨泵2通過真空管道17與擴(kuò)散泵3和高閥殼體4連接，真空管道17上設(shè)置波紋管18，真空管道17與擴(kuò)散泵3連接處設(shè)置有預(yù)真空閥6，真空管道17與高閥殼體4連接處設(shè)置有低真空閥7，高閥殼體4與蒸發(fā)室5連接，蒸發(fā)室5下端設(shè)置有四腳測量座9，蒸發(fā)室5的門體11上設(shè)置有兩個觀察窗口10，門體11上設(shè)置有壓緊裝置14，蒸發(fā)室5內(nèi)頂部設(shè)置有發(fā)熱裝置，蒸發(fā)室5頂部的正中心設(shè)置有工轉(zhuǎn)引入12，本實(shí)用新型維修方便，鍍膜效果好，安裝方便，能有效的防止異物進(jìn)入。
【IPC分類】C23C14-24
【公開號】CN204550694
【申請?zhí)枴緾N201520160200
【發(fā)明人】盧成, 王偉, 曹德
【申請人】成都國泰真空設(shè)備有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年3月21日