本技術(shù)涉及液體上料，具體涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置。

背景技術(shù)：

1、液體上料是指將液體原料或產(chǎn)品輸送到目標(biāo)位置的過(guò)程，涉及到液體的儲(chǔ)存、輸送、計(jì)量和控制等多個(gè)環(huán)節(jié)。液體上料技術(shù)廣泛應(yīng)用于化工、制藥、食品、飲料、汽車制造、電池制造、自動(dòng)化生產(chǎn)等領(lǐng)域，以實(shí)現(xiàn)液體物料的自動(dòng)上料、精確計(jì)量和自動(dòng)化控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。液體上料技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)包括：智能化、精準(zhǔn)化、自動(dòng)化、綠色環(huán)保、安全可靠等方向。未來(lái)，液體上料技術(shù)將不斷創(chuàng)新和完善，以適應(yīng)不同行業(yè)和領(lǐng)域的需求。針對(duì)液體的特性，液體上料裝置需解決的問(wèn)題:(1)液體粘度大；(2)上料精度要求高；(3)全自動(dòng)的上料控制。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，以解決液體上料中存在的液體粘度大、上料精度要求高以及如何實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的上料控制的問(wèn)題。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例中提供一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，所述裝置包括液體噸桶、稱重平臺(tái)、消氣過(guò)濾器、螺桿泵、質(zhì)量流量計(jì)以及電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥；

3、所述液體噸桶放置在稱重平臺(tái)上，所述稱重平臺(tái)上設(shè)置有稱重傳感器，所述稱重傳感器連接稱重傳感器控制器，所述液體噸桶的出液口通過(guò)管路連接消氣過(guò)濾器，所述消氣過(guò)濾器通過(guò)管路連接螺桿泵的入口，所述螺桿泵的出口通過(guò)管路連接罐體，所述質(zhì)量流量計(jì)和電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥依次設(shè)置在螺桿泵與罐體之間的管路上。

4、進(jìn)一步地，所述液體噸桶下方設(shè)置有噸桶托盤。

5、進(jìn)一步地，所述質(zhì)量流量計(jì)連接plc控制器。

6、進(jìn)一步地，所述電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥連接plc控制器。

7、進(jìn)一步地，所述消氣過(guò)濾器與螺桿泵的入口之間的管路上設(shè)置有電動(dòng)球閥。

8、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，所述裝置包括液體噸桶、稱重平臺(tái)、消氣過(guò)濾器、螺桿泵、質(zhì)量流量計(jì)以及電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥；所述液體噸桶放置在稱重平臺(tái)上，所述稱重平臺(tái)上設(shè)置有稱重傳感器，所述稱重傳感器連接稱重傳感器控制器，所述液體噸桶的出液口通過(guò)管路連接消氣過(guò)濾器，所述消氣過(guò)濾器通過(guò)管路連接螺桿泵的入口，所述螺桿泵的出口通過(guò)管路連接罐體，所述質(zhì)量流量計(jì)和電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥依次設(shè)置在螺桿泵與罐體之間的管路上。本申請(qǐng)選用螺桿泵，螺桿泵可以輸送高黏度、高含固量，對(duì)介質(zhì)的適應(yīng)性較強(qiáng)；采用稱重上料和質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量，兩種測(cè)量方式相互印證，防止傳感器損壞誤差變大從而導(dǎo)致上料精度不夠，上料精度高；通過(guò)控制泵、控制閥和傳感器等部件的工作，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化上料。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，其特征在于，所述裝置包括液體噸桶、稱重平臺(tái)、消氣過(guò)濾器、螺桿泵、質(zhì)量流量計(jì)以及電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥；

2.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，其特征在于，所述液體噸桶下方設(shè)置有噸桶托盤。

3.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，其特征在于，所述質(zhì)量流量計(jì)連接plc控制器。

4.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，其特征在于，所述電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥連接plc控制器。

5.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，其特征在于，所述消氣過(guò)濾器與螺桿泵的入口之間的管路上設(shè)置有電動(dòng)球閥。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種半導(dǎo)體行業(yè)高精度的液體上料裝置，所述裝置包括液體噸桶、稱重平臺(tái)、消氣過(guò)濾器、螺桿泵、質(zhì)量流量計(jì)以及電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥；所述液體噸桶放置在稱重平臺(tái)上，所述稱重平臺(tái)上設(shè)置有稱重傳感器，所述稱重傳感器連接稱重傳感器控制器，所述液體噸桶的出液口通過(guò)管路連接消氣過(guò)濾器，所述消氣過(guò)濾器通過(guò)管路連接螺桿泵的入口，所述螺桿泵的出口通過(guò)管路連接罐體，所述質(zhì)量流量計(jì)和電動(dòng)比例調(diào)節(jié)閥依次設(shè)置在螺桿泵與罐體之間的管路上。本申請(qǐng)選用螺桿泵，螺桿泵可以輸送高黏度、高含固量，對(duì)介質(zhì)的適應(yīng)性較強(qiáng)；采用稱重上料和質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量，兩種測(cè)量方式相互印證，防止傳感器損壞誤差變大從而導(dǎo)致上料精度不夠，上料精度高。

技術(shù)研發(fā)人員：聶磊森,張穎濤,唐良平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浩光科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2024/12/30