專利名稱：氣體供給方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體供給方法，具體涉及一種將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處的氣體供給方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體、化學(xué)制品的制造工序中，會(huì)使用各種各樣的氣體，這些氣體例如從填充了高壓氣體的氣體容器經(jīng)管道進(jìn)行供給。在需要連續(xù)地供給氣體的情況下，將多個(gè)氣體容器并聯(lián)地連接，一個(gè)氣體容器內(nèi)的剩余壓力降低到預(yù)先設(shè)定的下限值時(shí)，將氣體的供給切換到另一氣體容器，并將壓力降低的氣體容器更換為新的氣體容器以處于待機(jī)狀態(tài)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，分別對(duì)多個(gè)氣體容器內(nèi)的氣體的剩余量進(jìn)行檢測(cè)，并選擇氣體剩余量少的氣體容器進(jìn)行氣體的供給(例如，參照專利文獻(xiàn)2。)。專利文獻(xiàn)1 日本特許第2501913號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-107713號(hào)公報(bào)在從填充了高壓的壓縮氣體的氣體容器向使用處供給氣體的情況下，能夠從氣體容器向使用處供給的氣體流量因氣體供給設(shè)備的壓力損失、氣體的種類或使用處使用的氣體的壓力的不同而存在差異，為了以穩(wěn)定的流量供給氣體，氣體供給設(shè)備中的氣體容器側(cè)的壓力和使用處的壓力之間需要有對(duì)應(yīng)于氣體流量的壓力差。此外，一般情況下，供給至使用處的氣體流量的設(shè)定值以該使用處所使用的氣體流量的最大值作為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)定。例如，為了供給使用處所使用的最大氣體流量，需要的壓力差為0. 7MPa(表壓，以下相同)左右的情況下，氣體容器的剩余壓力的下限為IMI^a左右，在上述專利文獻(xiàn)1、2中的任一種情況下，當(dāng)剩余壓力變?yōu)镮MI^a時(shí)，則進(jìn)行容器更換。此情況下，在氣體容器內(nèi)，壓力IMPa的氣體也殘留有容器容積那樣的量，在大型的氣體容器的情況下，大量的氣體成為未使用的狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的是提供一種氣體供給方法，由于當(dāng)氣體使用處所使用的氣體的流量變動(dòng)時(shí)，氣體的供給中需要的壓力差也會(huì)變動(dòng)，所以在將氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處的情況下，該氣體供給方法通過根據(jù)氣體的流量變動(dòng)而準(zhǔn)備多個(gè)氣體供給系統(tǒng)等，從而能夠恰當(dāng)?shù)嘏c氣體的流量變動(dòng)相對(duì)應(yīng)，由此能夠降低容器更換時(shí)的剩余壓力， 能夠?qū)怏w容器內(nèi)的氣體進(jìn)行有效地利用。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的氣體供給方法的第一個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)和供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA) 向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低到第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給；切換后在從第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給切換至從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給，該剩余壓力(PA)范圍為低于第一設(shè)定壓力(Pl)，且為第二設(shè)定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力(P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器 (SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力(P》以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給，并進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；在第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)的情況下，從剩余壓力(PB)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)诙怏w容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低到第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、 QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。 本發(fā)明的氣體供給方法的第二個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB)的各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中， 當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)， 進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、 SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量(Ql)小的流量)。本發(fā)明的氣體供給方法的第三個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力 (PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl) 時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器 (SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時(shí)，停止來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給， 并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體，該剩余壓力(PA)范圍為低于第一設(shè)定壓力(Pl)，且為第二設(shè)定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力(P》以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)的這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P》時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q) 為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量 (QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。本發(fā)明的氣體供給方法的第四個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力 (PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl) 時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器 (SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給而供給氣體流量(Q)不發(fā)生變動(dòng)時(shí)，保持中斷來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給的狀態(tài)，并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器 (SB)的氣體供給而供給氣體流量(Q)變化時(shí)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB) 內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。 本發(fā)明的氣體供給方法的第五個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在一方的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)比另一方的第二氣體容器 (SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)低的情況下，當(dāng)供給氣體流量(Q)低于能夠從剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)供給的氣體流量(QPA)時(shí)，從剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；而當(dāng)供給氣體流量(Q)為能夠從剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換為從剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給，或者，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB) 內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
本發(fā)明的氣體供給方法的第六個(gè)技術(shù)方案是一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，該氣體供給方法的特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給檢測(cè)壓力(PT)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力 (PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處進(jìn)行氣體供給的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB) 向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給且供給檢測(cè)壓力(PT)不降低時(shí)，保持中斷來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給的狀態(tài)， 并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給而供給檢測(cè)壓力(PT)降低時(shí)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，或者， 剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述供給設(shè)定壓力(PQ為氣體使用處預(yù)先設(shè)定的壓力；所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給檢測(cè)壓力(PT)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的壓力；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。進(jìn)一步地，本發(fā)明的氣體供給方法的特征在于，在上述的各技術(shù)方案中，根據(jù)供給氣體的種類以及氣體供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)而預(yù)先設(shè)定氣體容器內(nèi)的剩余壓力和能夠供給的氣體流量之間的關(guān)系。按照本發(fā)明的氣體供給方法，根據(jù)使用流量、供給壓力的變動(dòng)而準(zhǔn)備多個(gè)氣體供給系統(tǒng)等，從而能夠恰當(dāng)?shù)嘏c上述流量變動(dòng)、上述壓力變動(dòng)對(duì)應(yīng)，在即使剩余壓力較低也能實(shí)現(xiàn)供給的狀態(tài)時(shí)，從剩余壓力較低的氣體容器供給氣體，所以能夠?qū)怏w容器中所填充的壓縮氣體進(jìn)行有效地利用。


圖1是表示能夠適用本發(fā)明的氣體供給方法的氣體供給設(shè)備的一例的說(shuō)明圖；圖2是表示氣體容器內(nèi)的剩余壓力和能夠供給的氣體流量之間的關(guān)系的圖；圖3是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第一實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖；圖4是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第二實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖5是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第三實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖；圖6是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第四實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖；圖7是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第五實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖；圖8是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第六實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖。
具體實(shí)施例方式圖1是表示能夠適用本發(fā)明的氣體供給方法的氣體供給設(shè)備的一例的說(shuō)明圖；圖 2是表示氣體容器內(nèi)的剩余壓力和能夠供給的氣體流量之間的關(guān)系的圖；圖3是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第一實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖。首先，如圖1所示，氣體供給設(shè)備具有雙系統(tǒng)的氣體供給系統(tǒng)A、B，各系統(tǒng)A、B的下游側(cè)匯合以連接到氣體使用處。在各系統(tǒng)A、B中分別設(shè)有壓力調(diào)整部lla、llb，該壓力調(diào)整部11a、lib用于將從在規(guī)定的高壓狀態(tài)下填充有壓縮氣體的氣體容器SA、SB供給的氣體的壓力減壓至預(yù)先設(shè)定的壓力，在各壓力調(diào)整部IlaUlb上，分別串聯(lián)地設(shè)有多個(gè)壓力調(diào)整器12a、12b。在壓力調(diào)整部IlaUlb的上游側(cè)與氣體容器SA、SB之間，分別設(shè)有高壓閥13a、13b 以及用于檢測(cè)氣體容器SA、SB內(nèi)的壓力(剩余壓力)的壓力計(jì)14a、14b，在壓力調(diào)整部11a、 lib的下游側(cè)分別設(shè)有低壓閥15a、15b。另外，在兩系統(tǒng)A、B匯合后的氣體供給路徑16中， 設(shè)有流量計(jì)17、壓力計(jì)(圖中未表示)。通過由此形成的氣體供給設(shè)備而實(shí)施本發(fā)明的方法時(shí)，首先，作為各種設(shè)定值，分別設(shè)定如下值作為氣體使用處預(yù)先設(shè)定了的最大流量的第一設(shè)定流量Q1、作為最小流量的第二設(shè)定流量Q2 ；第一設(shè)定壓力Pl，其用于對(duì)能夠供給與上述第一設(shè)定流量Ql對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定；同樣的，第二設(shè)定壓力P2，其用于對(duì)能夠供給與上述第二設(shè)定流量Q2對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定；第三設(shè)定壓力P3，其被設(shè)定成比上述第一設(shè)定壓力Pl高、且比填充壓力Pfull低的壓力。通常，第一設(shè)定壓力Pl能夠設(shè)定為與以往的氣體供給設(shè)備中的氣體容器更換壓力(剩余壓力的下限值)相同的壓力。第一設(shè)定流量Ql和第二設(shè)定流量Q2是對(duì)應(yīng)于氣體使用處的氣體使用流量的變動(dòng)而設(shè)置的，是Ql > Q2的關(guān)系。例如，在半導(dǎo)體薄膜制造裝置中的原料氣體的情況下，通過該半導(dǎo)體薄膜制造裝置在基板上制造半導(dǎo)體薄膜時(shí)，變?yōu)樽畲罅髁?，而不制造半?dǎo)體薄膜時(shí)，例如，在基板交換時(shí)，變?yōu)樽钚×髁?。另外，在設(shè)置有許多臺(tái)半導(dǎo)體薄膜制造裝置的情況下，根據(jù)半導(dǎo)體薄膜制造過程中的臺(tái)數(shù)，會(huì)產(chǎn)生流量變動(dòng)；而且，由于裝置運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間，例如白天和夜間、工作日和休息日、其它各種條件下，氣體使用流量是變動(dòng)的，所以要考慮這些因素來(lái)對(duì)第一設(shè)定流量Ql以及第二設(shè)定流量Q2進(jìn)行設(shè)定。另外，氣體使用處的氣體使用量的最小流量只在短時(shí)間變?yōu)榉浅Ｐ〉牧髁康那闆r下(也包含流量為0)，不將此值設(shè)為第二設(shè)定流量Q2，而希望將持續(xù)的、例如持續(xù)幾十分鐘以上的最小流量設(shè)為第二設(shè)定流量Q2。
第一設(shè)定壓力Pl和第二設(shè)定壓力P2是隨著上述第一設(shè)定流量Ql和第二設(shè)定流量Q2、供給氣體的種類以及氣體供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的決定而自動(dòng)決定的，例如，如圖2所示， 即使是相同結(jié)構(gòu)的氣體供給系統(tǒng)，在氣體A的情況下，剩余壓力為1. OMPa時(shí)的能夠供給的氣體流量約為310L/min，與此相對(duì)，在氣體B的情況下，即使剩余壓力為相同值1. OMPa,能夠供給的氣體流量約為200L/min。因此，第一設(shè)定流量為200L/min的情況下，氣體A的第一設(shè)定壓力Pl被設(shè)為0. 7MPa,而氣體B的第一設(shè)定壓力Pl被設(shè)為1. OMPa ；第二設(shè)定壓力 P2也同樣地根據(jù)氣體A、B的不同而被設(shè)定為適當(dāng)?shù)膲毫?。另外，上述第三設(shè)定壓力P3根據(jù)如下條件進(jìn)行設(shè)定氣體容器SA、SB的容積；以第一設(shè)定流量Ql進(jìn)行氣體供給時(shí)的氣體容器SA、SB內(nèi)的氣體的減少量；容器更換所需要的時(shí)間等。例如，P3設(shè)定為氣體容器SA能夠以第一設(shè)定流量Ql進(jìn)行M小時(shí)的氣體供給的壓力。各設(shè)定壓力的關(guān)系為，相對(duì)于氣體容器SA、SB的填充壓力Pfull，為Pfull > P3 > Pl > P2。另外，采用下述各量作為控制所必要的變動(dòng)值以上述壓力計(jì)14a、14b分別檢測(cè)到的各氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB ；以上述流量計(jì)17檢測(cè)到的供給氣體流量Q ； 以及能夠以各容器內(nèi)的剩余壓力PA、PB分別供給的氣體流量(能夠供給的氣體流量)QPA、 QPB0容器內(nèi)的剩余壓力PA、PB以壓力計(jì)14a、14b始終進(jìn)行監(jiān)測(cè)，供給氣體流量Q以流量計(jì) 17始終進(jìn)行監(jiān)測(cè)。而且，也可根據(jù)需要，對(duì)供給過程中的氣體的壓力進(jìn)行監(jiān)測(cè)。以下，基于圖3對(duì)氣體供給方法的第一實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明和各附圖中，在數(shù)值的大小的比較方面，在“以上”的情況下，也使用“>”或“〈”來(lái)表示。首先，在通常的使用狀態(tài)下，以氣體容器SA、SB的任何一方例如第一氣體容器SA 供給氣體過程中，另外一方的第二氣體容器SB更換為新的氣體容器后，剩余壓力(PB)變?yōu)樘畛鋲毫ful 1。兩個(gè)氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)超出上述第一設(shè)定壓力 P1，成為能夠供給相當(dāng)于上述第一設(shè)定流量Ql的流量的氣體的狀態(tài)。另外，此時(shí)的供給氣體流量Q為任意的流量。當(dāng)氣體使用處的氣體使用流量變動(dòng)時(shí)，供給氣體流量Q也當(dāng)然會(huì)變化，所以記載為任意的流量。如圖3的(a)和圖3的(b)所示，在時(shí)間Tl以前的期間內(nèi)，由于與任意的供給氣體流量Q相對(duì)應(yīng)的氣體從一方的第一氣體容器SA供給，所以第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA根據(jù)任意的供給氣體的流量Q經(jīng)過時(shí)間t，并逐漸地降低。當(dāng)經(jīng)過時(shí)間Tl，由于氣體供給，第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第一設(shè)定壓力Pl (PA = Pl)時(shí)，則將向氣體使用處供給氣體的氣體容器從第一氣體容器SA切換為另一方的第二氣體容器SB。氣體容器切換后，從第二氣體容器SB向氣體使用處供給氣體，然而，以流量計(jì)17 始終監(jiān)測(cè)的任意的供給氣體流量Q經(jīng)過時(shí)間T2時(shí)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器SA供給的氣體流量的情況下，即以剩余壓力PA低于第一設(shè)定壓力Pl且為第二設(shè)定壓力P2以上的范圍的第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA能夠供給的氣體流量QPA為任意的供給氣體流量Q以上的情況下⑴< QPA)，將向氣體使用處供給氣體的氣體容器從剩余壓力PB較高的第二氣體容器SB切換為剩余壓力PA較低的第一氣體容器SA。根據(jù)任意的供給氣體流量Q，檢測(cè)出隨著時(shí)間的經(jīng)過而降低的剩余壓力PA，經(jīng)常對(duì)以剩余壓力PA能夠供給的氣體流量QPA進(jìn)行更新，以新計(jì)算出的剩余壓力PA能夠供給的氣體流量QPA在任意的供給氣體流量Q以上的期間，繼續(xù)來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給。此期間，第二氣體容器SB內(nèi)的剩余壓力PB通過打開低壓閥15a并關(guān)閉低壓閥15b，來(lái)保持切換時(shí)的剩余壓力。而后，如圖3的(a)所示，當(dāng)經(jīng)過時(shí)間T3，第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力P2時(shí)(PA = P2)，即，即使任意的供給氣體流量Q為作為最小流量的第二設(shè)定流量Q2這樣的氣體流量，也無(wú)法從第一氣體容器SA供給時(shí)⑴(=Q2) > QPA)，將供給氣體的氣體容器從第一氣體容器SA切換至第二氣體容器SB，并發(fā)出催促更換第一氣體容器 SA的容器的警報(bào)，第一氣體容器SA被更換成新的氣體容器。因此，容器更換后的第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力(剩余壓力)為Pfull，變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)，第二氣體容器SB內(nèi)的剩余壓力PB成為隨著氣體的供給而逐漸地降低的狀態(tài)。第一氣體容器SA和新氣體容器的更換可以在能夠以第二氣體容器SB進(jìn)行供給的期間進(jìn)行。另外，如圖3的(b)所示，經(jīng)過時(shí)間Tl T2后，進(jìn)而經(jīng)過時(shí)間T4時(shí)，任意的供給氣體流量Q增加，在任意的供給氣體流量Q為以第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA能夠供給的氣體流量QPA以上的情況下⑴> QPA)，由于第二氣體容器SB的剩余壓力PB比第一氣體容器SA的剩余壓力PA高，所以將進(jìn)行氣體供給的氣體容器從第一氣體容器SA切換到第二氣體容器SB。根據(jù)以第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA能夠供給的能夠供給的氣體流量QPA同任意的供給氣體流量Q之間的關(guān)系而反復(fù)進(jìn)行氣體供給的氣體容器的切換，任意的供給氣體流量Q比較小的時(shí)間段中，優(yōu)先從比剩余壓力PB低的剩余壓力PA的第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給。另一方面，在來(lái)自剩余壓力PB比剩余壓力PA高的第二氣體容器SB的氣體供給過程中，當(dāng)經(jīng)過時(shí)間T5而第二氣體容器SB內(nèi)的剩余壓力PB降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)(PB =P3)，發(fā)出催促更換第一氣體容器SA的容器的警報(bào)，以將第一氣體容器SA更換為新的氣體容器，容器更換后的第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力(剩余壓力)變?yōu)镻full。由此，比剩余壓力PB低的第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA在第一設(shè)定壓力Pl以下的情況下，比剩余壓力PA高的第二氣體容器SB內(nèi)的剩余壓力PB在降低至第一設(shè)定壓力Pl之前(Pl < PB < P3)，通過進(jìn)行剩余壓力較低的第一氣體容器SA的容器更換，能夠避免兩氣體容器SA、SB 內(nèi)的剩余壓力PA、PB均降至不足第一設(shè)定壓力P1，即，能夠避免變得無(wú)法供給相當(dāng)于第一設(shè)定流量Ql的流量的氣體。第一氣體容器SA的容器更換后，繼續(xù)進(jìn)行來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，上述時(shí)間Tl中的第一氣體容器SA和第二氣體容器SB為可調(diào)換的狀態(tài)，以上述同樣的條件對(duì)進(jìn)行氣體供給的氣體容器進(jìn)行調(diào)換，任意的供給氣體流量Q、即氣體使用處的氣體使用流量為較小的期間內(nèi)，通過從剩余壓力較低的氣體容器進(jìn)行氣體供給，如果任意的供給氣體流量Q 較小、從剩余壓力較低的氣體容器進(jìn)行氣體供給的時(shí)間CH)較長(zhǎng)，就能夠?qū)怏w容器的剩余壓力降低至作為用于進(jìn)行氣體供給所必須的最小限度的壓力的第二設(shè)定壓力P2，所以能夠使容器更換時(shí)殘留在氣體容器內(nèi)的氣體的量變少，從而能夠?qū)μ畛涞綒怏w容器內(nèi)的壓縮氣體進(jìn)行有效的利用。例如，用于供給作為氣體使用處的最大流量的第一設(shè)定流量Ql所必須的剩余壓力(第一設(shè)定壓力Pl)為IMPa，而為了供給作為最小流量的第二設(shè)定流量Q2所必須的剩余壓力(第二設(shè)定壓力P2)為0. 5MPa的情況下，如圖3的(a)所示，如果在氣體容器內(nèi)的剩余壓力變至0. 之前進(jìn)行氣體供給，就能夠?qū)怏w容器內(nèi)殘存的未使用的氣體量變?yōu)橐酝拇蠹s二分之一。圖4是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第二實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖。另外，在以下的說(shuō)明中，氣體供給設(shè)備能夠采用如圖1所示的結(jié)構(gòu)；作為各種設(shè)定值，第一設(shè)定流量Q1、第二設(shè)定流量Q2、第一設(shè)定壓力P1、第二設(shè)定壓力P2、第三設(shè)定壓力P3與上述相同地進(jìn)行設(shè)定，且檢測(cè)兩氣體容器SA、SB的剩余壓力PA、PB作為變動(dòng)值。在兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)超過第一設(shè)定壓力，從一方的第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給的情況下，當(dāng)經(jīng)過時(shí)間Tl，第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第一設(shè)定壓力Pl (PA = Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變?yōu)閺膬蓚€(gè)氣體容器SA、SB這雙方同時(shí)向氣體使用處供給氣體的狀態(tài)。因此，兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB隨著時(shí)間t的推移逐漸地降低。此時(shí)，氣體使用處的氣體使用流量為來(lái)自第一氣體容器SA的供給流量和來(lái)自第二氣體容器SB的供給流量的總和。如圖4的(a)所示，當(dāng)經(jīng)過時(shí)間T6而第一氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力P2(PA = P2)、即使以作為最小流量的第二設(shè)定流量Q2的氣體流量也無(wú)法從第一氣體容器SA進(jìn)行供給時(shí)，將來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給停止，將氣體供給切換至僅從第二氣體容器SB進(jìn)行供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榕c時(shí)間Tl期間內(nèi)的第二氣體容器SB同樣的待機(jī)狀態(tài)。另外，如圖4的(b)所示，在從兩氣體容器SA、SB供給氣體的過程中，當(dāng)經(jīng)過時(shí)間 T7而剩余壓力較高的第二氣體容器SB內(nèi)的剩余壓力PB降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)(PB = P3)，將來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給停止，而繼續(xù)來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。在本實(shí)施例中，當(dāng)來(lái)自一方的氣體容器的剩余壓力降低至無(wú)法確保最大流量的壓力時(shí)，從兩氣體容器SA、SB這雙方進(jìn)行氣體供給，所以能夠根據(jù)供給氣體流量Q的變動(dòng)狀態(tài)，而將剩余壓力較低的氣體容器內(nèi)的氣體供給至使用處，能夠?qū)怏w容器內(nèi)的壓縮氣體進(jìn)行有效地利用。圖5是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第三實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖。在本實(shí)施例中，作為各種設(shè)定值，第一設(shè)定流量Q1、第二設(shè)定流量Q2、第一設(shè)定壓力P1、第二設(shè)定壓力P2、第三設(shè)定壓力P3與上述相同的設(shè)定，且檢測(cè)任意的供給氣體流量Q (氣體使用處的氣體使用流量)以及兩氣體容器SA、SB的剩余壓力PA、PB作為變動(dòng)值。在兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)超過第一設(shè)定壓力Pl而從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給的情況下，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第一設(shè)定壓力P1 (pa = Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變?yōu)閺膬蓚€(gè)氣體容器SA、SB這雙方同時(shí)向氣體使用處供給氣體的狀態(tài)，兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB隨著時(shí)間的推移逐漸地降低。此時(shí)，氣體使用處的氣體使用流量為來(lái)自第一氣體容器的供給流量和來(lái)自第二氣體容器的供給流量的總和。對(duì)由兩氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給的過程中檢測(cè)到的任意的供給氣體流量Q而言，在該時(shí)間點(diǎn)以剩余壓力較低的氣體容器SA內(nèi)的剩余壓力PA能夠供給的氣體流量QPA 為任意的供給氣體流量Q以上的情況下⑴< QPA)，停止來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器SB的氣體供給，而進(jìn)行只來(lái)自剩余壓力PA較低的第一氣體容器SA的氣體供給。從第一氣體容器SA能夠供給的氣體流量QPA根據(jù)隨氣體供給而降低的剩余壓力 PA經(jīng)常計(jì)算更新，更新后的能夠供給的氣體流量QPA為任意的供給氣體流量Q以上的期間， 繼續(xù)進(jìn)行僅來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給；然而當(dāng)能夠供給的氣體流量QPA低于任意的供給氣體流量Q⑴> QPA)時(shí)，則再度開啟來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變?yōu)閺膬蓺怏w容器SA、SB這雙方進(jìn)行氣體供給的狀態(tài)。而且，如圖5的(a)所示，當(dāng)從兩氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給時(shí)，或者，僅從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力 P2 (PA = P2)時(shí)，則停止來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給，切換至僅從第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。另外，如圖5的(b)所示，在從兩氣體容器SA、SB供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)诙怏w容器SB內(nèi)的剩余壓力PB降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)(PB = P3)，將來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給停止，而繼續(xù)來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。圖6是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第四實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖，在本實(shí)施例中，作為各種設(shè)定值，第一設(shè)定流量Q1、第二設(shè)定流量Q2、第一設(shè)定壓力P1、第二設(shè)定壓力P2、第三設(shè)定壓力P3與上述相同地設(shè)定，且檢測(cè)任意的供給氣體流量Q (氣體使用處的氣體使用流量)以及兩氣體容器SA、SB的剩余壓力PA、PB作為變動(dòng)值。在兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)超過第一設(shè)定壓力，從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給的情況下，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第一設(shè)定壓力 Pl (PA = Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變?yōu)閺膬蓚€(gè)氣體容器SA、SB這雙方同時(shí)向氣體使用處進(jìn)行氣體供給的狀態(tài)，兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB隨著時(shí)間的推移逐漸地降低。此時(shí)，氣體使用處的氣體使用流量為來(lái)自第一氣體容器SA的供給流量和來(lái)自第二氣體容器SB的供給流量的總和。從兩個(gè)氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給過程中的任意時(shí)刻，對(duì)于剩余壓力高的氣體容器，此情況下，和剩余壓力PA相比，剩余壓力PB的一方較高，所以暫時(shí)中斷來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，而僅從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給(圖6中的時(shí)間Ta)。而后，在檢測(cè)到的任意的供給氣體流量Q不發(fā)生變動(dòng)時(shí)(氣體使用處的氣體使用流量不發(fā)生變化時(shí))，即僅通過來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給來(lái)提供任意的供給氣體流量Q的期間內(nèi)，如圖6的(a)所示，繼續(xù)僅來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給。此后，當(dāng)僅由第一氣體容器SA 進(jìn)行氣體供給時(shí)，所檢測(cè)的任意的供給氣體流量Q發(fā)生變動(dòng)時(shí)(氣體使用處的氣體使用流量變化時(shí))(例如圖6中的時(shí)間Tb)，即靠?jī)H以來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給無(wú)法充分提供任意的供給氣體流量Q時(shí)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，從兩氣體容器 SA, SB這雙方進(jìn)行氣體供給。另一方面，來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給中斷時(shí)(圖6中的時(shí)間Ta)，檢測(cè)到的任意的供給氣體流量Q變化時(shí)(氣體使用處的氣體使用流量變化時(shí))，如圖6的(b)所示， 立即再次開啟來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，由兩個(gè)氣體容器SA、SB這雙方進(jìn)行供給。 在每個(gè)規(guī)定時(shí)間間隔、或者預(yù)先設(shè)定的時(shí)間內(nèi)、供給氣體流量Q不變化時(shí)，使來(lái)自剩余壓力PB較高的第二氣體容器SB的氣體供給暫時(shí)中斷(時(shí)間Tc)，根據(jù)任意的供給氣體流量Q的變動(dòng)狀態(tài)(根據(jù)氣體使用處的氣體使用流量)適當(dāng)?shù)刂貜?fù)上述操作。而且，如圖6的(a)所示，從兩氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給時(shí)，或者，僅從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力 P2 (PA = P2)時(shí)，停止來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給，切換至僅由第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。另外，如圖6的(b)所示，在由兩氣體容器SA、SB供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)诙怏w容器SB內(nèi)的剩余壓力PB降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)(PB = P3)，將來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給停止，而繼續(xù)來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，同時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。圖7是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第五實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖，在本實(shí)施例中，作為各種設(shè)定值，第一設(shè)定流量Q1、第二設(shè)定流量Q2、第一設(shè)定壓力P1、第二設(shè)定壓力P2、第三設(shè)定壓力P3與上述相同地設(shè)定，且檢測(cè)任意的供給氣體流量Q (氣體使用處的氣體使用流量)以及兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB作為
變動(dòng)值。首先，在通常的使用狀態(tài)中，氣體容器SA、SB的任何一方，例如第一氣體容器SA在氣體供給過程中，另一方的第二氣體容器SB更換為新的氣體容器后，其剩余壓力(PB)變?yōu)樘畛鋲毫ful 1。兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)超過了上述第一設(shè)定壓力 Pl，而變成能夠供給與上述第一設(shè)定流量Ql相當(dāng)?shù)牧髁康臍怏w的狀態(tài)。從兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB分別算出以各氣體容器SA、SB能夠供給的氣體流量QPA、QPB，并將計(jì)算出的能夠供給的氣體流量QPA、QPB和此時(shí)的供給氣體流量Q分別進(jìn)行比較。此時(shí)，在兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)為第一設(shè)定壓力 Pl以上的情況下，能夠從兩氣體容器SA、SB供給的氣體流量QPA、QPB同時(shí)為任意的供給氣體流量Q以上，所以對(duì)兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB進(jìn)行比較，由剩余壓力較低的氣體容器進(jìn)行氣體供給，例如，當(dāng)與剩余壓力PB相比，剩余壓力PA較低時(shí)，由第一氣體容器 SA進(jìn)行氣體供給。另外，剩余壓力PA、PB為相同的情況下，可以預(yù)先設(shè)定好優(yōu)先順序，并按照優(yōu)先順序選擇進(jìn)行氣體供給的氣體容器。當(dāng)從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，經(jīng)常對(duì)從依次變化的第一氣體容器SA能夠供給的氣體流量QPA和任意的供給氣體流量Q之間進(jìn)行比較，在由剩余壓力PA計(jì)算出的能夠供給的氣體流量QPA為檢測(cè)到的任意的供給氣體流量Q以上的期間⑴< QPA)，繼續(xù)來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給；而由剩余壓力PA計(jì)算出的能夠供給的氣體流量QPA低于檢測(cè)到的任意的供給氣體流量Q時(shí)⑴> QPA)，停止來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給，以開始來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給。在從第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給的期間，也經(jīng)常對(duì)從第一氣體容器SA能夠供給的氣體流量QPA和任意的供給氣體流量Q進(jìn)行比較，當(dāng)能夠供給的氣體流量QPA變?yōu)槿我獾墓┙o氣體流量Q以上0i<QPA)時(shí)，停止來(lái)自剩余壓力B較高的第二氣體容器SB的氣體供給，并再度開啟來(lái)自剩余壓力A較低的來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給。以下，根據(jù)剩余壓力較低的第一氣體容器SA能夠供給的氣體流量QPA和任意的供給氣體流量Q之間的關(guān)系，與上述同樣地對(duì)進(jìn)行氣體供給的氣體容器進(jìn)行切換。
而后，如圖7的(a)所示，當(dāng)從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器 SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力P2(PA = P2)時(shí)，停止來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給，切換至從第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。另外，如圖7的(b)所示，在從第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給時(shí)，當(dāng)?shù)诙怏w容器 SB內(nèi)的剩余壓力PB降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)(PB = P3)，繼續(xù)來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。圖8是表示用于說(shuō)明本發(fā)明的氣體供給方法的第六實(shí)施例的氣體容器內(nèi)的剩余壓力變化的圖，在本實(shí)施例中，作為各種設(shè)定值，第一設(shè)定流量Q1、第二設(shè)定流量Q2、第一設(shè)定壓力P1、第二設(shè)定壓力P2、第三設(shè)定壓力P3與上述相同地設(shè)定，并對(duì)氣體使用處預(yù)先設(shè)定的供給設(shè)定壓力(PQ進(jìn)行設(shè)定，且檢測(cè)來(lái)自氣體供給路徑16供給的過程中的氣體的壓力(供給檢測(cè)壓力)PT以及兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力ΡΑ、ΡΒ作為變動(dòng)值。在兩氣體容器SA、SB內(nèi)的剩余壓力PA、PB同時(shí)為第一設(shè)定壓力Pl以上，從第一氣體容器進(jìn)行氣體供給的情況下，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第一設(shè)定壓力P1 (pa = Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變?yōu)閺膬蓺怏w容器SA、SB這雙方同時(shí)向氣體使用處進(jìn)行氣體供給的狀態(tài)。從兩個(gè)氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給中的任意時(shí)刻，對(duì)于剩余壓力高的氣體容器，此情況下，和剩余壓力PA相比，剩余壓力PB的一方較高，所以暫時(shí)中斷來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，而僅由第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給(圖8中的時(shí)間Td)。而后，當(dāng)供給檢測(cè)壓力PT不降低時(shí)，即通過僅來(lái)自第一氣體容器SA的氣體的供給就能夠維持供給過程中的氣體的壓力的期間內(nèi)，繼續(xù)進(jìn)行僅來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給。此后，當(dāng)僅從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，供給檢測(cè)壓力PT降低時(shí)(例如圖8中的時(shí)間Te)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，變成從兩氣體容器SA、SB這雙方進(jìn)行氣體供給。另一方面，當(dāng)在時(shí)間Td處來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給中斷時(shí)，供給檢測(cè)壓力 PT降低的情況下，立即再次開啟來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，從兩個(gè)氣體容器SA、SB 這雙方進(jìn)行氣體供給。在每個(gè)規(guī)定時(shí)間間隔或者預(yù)先設(shè)定的時(shí)間內(nèi)，供給檢測(cè)壓力PT不發(fā)生變化時(shí)，進(jìn)行來(lái)自剩余壓力PB較高的第二氣體容器SB的氣體供給的暫時(shí)中斷(例如圖 8的(b)中的時(shí)間Tf)，根據(jù)供給檢測(cè)壓力PT的狀態(tài)適當(dāng)?shù)闹貜?fù)上述操作。而且，如圖8的(a)所示，從兩氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給時(shí)，或者，僅從第一氣體容器SA進(jìn)行氣體供給時(shí)，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器SA內(nèi)的剩余壓力PA降低至第二設(shè)定壓力 P2(PA = P2)時(shí)，停止來(lái)自第一氣體容器SA的氣體供給，以切換至從第二氣體容器SB進(jìn)行氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。另外，如圖8的(b)所示，在從兩氣體容器SA、SB進(jìn)行氣體供給的過程中，當(dāng)?shù)诙怏w容器SB內(nèi)的剩余壓力PB減少至第三設(shè)定壓力P3(PB = P3)時(shí)，將來(lái)自第一氣體容器 SA的氣體供給停止，而繼續(xù)來(lái)自第二氣體容器SB的氣體供給，并進(jìn)行第一氣體容器SA的容器更換，第一氣體容器SA變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)。如以上各實(shí)施例所示，當(dāng)一方的氣體容器內(nèi)的剩余壓力降低至無(wú)法供給第一設(shè)定流量Ql的第一設(shè)定壓力Pl時(shí)，以往是在此剩余壓力下進(jìn)行容器更換。然而，本發(fā)明中，通過從剩余壓力高的另一方的氣體容器進(jìn)行氣體供給，并根據(jù)供給至氣體使用處的供給氣體的流量Q的變化，而從剩余壓力低的氣體容器進(jìn)行氣體供給，從而能夠?qū)怏w容器內(nèi)的壓縮氣體供給到使用處直到變?yōu)楸纫酝偷氖Ｓ鄩毫?，能夠大幅地減少容器更換時(shí)氣體容器內(nèi)殘余的未使用的氣體量。此外，通過當(dāng)氣體容器內(nèi)的剩余壓力降低至無(wú)法供給第二設(shè)定流量Q2的壓力時(shí)， 進(jìn)行此氣體容器的容器更換，而當(dāng)一方的氣體容器內(nèi)的剩余壓力低于第一設(shè)定壓力Pl時(shí)， 并且另一方的氣體容器內(nèi)的剩余壓力降低至第三設(shè)定壓力P3時(shí)，對(duì)剩余壓力較低一方的氣體容器進(jìn)行更換，由此，兩方的氣體容器內(nèi)的剩余壓力能夠不低于第一設(shè)定壓力P1，并能夠可靠地供給作為最大流量的第一設(shè)定流量Ql的氣體。另外，氣體供給設(shè)備的結(jié)構(gòu)為任意，氣體容器的形態(tài)、供給氣體的種類也為任意。 此外，即便在設(shè)有三個(gè)以上氣體供給系統(tǒng)的氣體供給設(shè)備中，也可以進(jìn)行同樣的操作，也能夠?qū)⒍鄠€(gè)氣體容器連接至一個(gè)氣體供給系統(tǒng)。附圖標(biāo)記的說(shuō)明11a、lib、壓力調(diào)整部；l2a、l2b、壓力調(diào)整器；13a、13b、高壓閥；14a、14b、壓力計(jì)；15a、15b、低壓閥；16、氣體供給路徑；17、流量計(jì)；A、B、氣體供給系統(tǒng)；SA、SB、氣體容器。
權(quán)利要求
1.一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)和供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低到第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給；切換后在從第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給切換至從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給，該剩余壓力(PA)的范圍為低于第一設(shè)定壓力(Pl)，且為第二設(shè)定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力 (P2)以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力(P》以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換至從第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給，并進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；在第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)的情況下，從剩余壓力(PB)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的第二氣體容器 (SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)诙怏w容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低到第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oa)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
2.一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB)各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl) 時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器 (SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P》時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定為比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量； 所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
3. 一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB) 各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器 (SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)低于從具有如下范圍的剩余壓力(PA)的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時(shí)，停止來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體，該剩余壓力(PA) 范圍為低于第一設(shè)定壓力(Pl)，且為第二設(shè)定壓力(P2)以上；在從剩余壓力(PA)低于第一設(shè)定壓力(Pl)且為第二設(shè)定壓力(P》以上的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)供給氣體流量(Q)變?yōu)槟軌驈牡谝粴怏w容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器 (SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力 (PA)降低至第二設(shè)定壓力(P2)時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力 (PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oa)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
4. 一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器(SB) 各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器 (SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給而供給氣體流量(Q)不發(fā)生變動(dòng)時(shí)，保持中斷來(lái)自第二氣體容器(SB) 的氣體供給的狀態(tài)，并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給而供給氣體流量(Q)變化時(shí)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P》時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，所述第一設(shè)定流量Oa)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
5.一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量⑴)，在一方的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力 (PA)比另一方的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)低的情況下，當(dāng)供給氣體流量(Q) 低于從剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)能夠供給的氣體流量(QPA)時(shí)，從剩余壓力低的第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；而當(dāng)供給氣體流量(Q)為能夠從剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)供給的氣體流量(QPA)以上時(shí)，將向使用處的氣體供給由從第一氣體容器(SA)進(jìn)行供給切換為從剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)進(jìn)行供給，或者，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P》時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給氣體流量(Q)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的氣體流量；所述各氣體流量(QPA、QPB)為以氣體容器內(nèi)的所述各剩余壓力(PA、PB)能夠供給的氣體流量；其中，第一設(shè)定流量Oa)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量；第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)O
6.一種氣體供給方法，其用于將被填充到與多個(gè)氣體供給系統(tǒng)分別連接的氣體容器中的壓縮氣體供給至氣體使用流量變動(dòng)的氣體使用處，其特征在于監(jiān)測(cè)所述各氣體容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)以及供給檢測(cè)壓力(PT)，在第一氣體容器(SA)以及第二氣體容器 (SB)各容器內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)同時(shí)為第一設(shè)定壓力(Pl)以上的情況下，從一方的第一氣體容器(SA)向氣體使用處進(jìn)行氣體供給的過程中，當(dāng)?shù)谝粴怏w容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第一設(shè)定壓力(Pl)時(shí)，開始來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；在從第一氣體容器 (SA)和第二氣體容器(SB)向氣體使用處供給氣體的過程中，當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給且供給檢測(cè)壓力(PT)不降低時(shí)，保持中斷來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給的狀態(tài)，并從第一氣體容器(SA)向氣體使用處供給氣體；當(dāng)中斷來(lái)自剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)的氣體供給且供給檢測(cè)壓力(PT)降低時(shí)，再度開啟來(lái)自第二氣體容器(SB)的氣體供給，從而從第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)這雙方向氣體使用處供給氣體；當(dāng)剩余壓力較低的第一氣體容器(SA)內(nèi)的剩余壓力(PA)降低至第二設(shè)定壓力(P》時(shí)，或者，剩余壓力較高的第二氣體容器(SB)內(nèi)的剩余壓力(PB)降低至第三設(shè)定壓力(P； )時(shí)，進(jìn)行第一氣體容器(SA)的容器更換；(此處，所述供給設(shè)定壓力(PQ為氣體使用處預(yù)先設(shè)定的壓力； 所述第一設(shè)定壓力(Pl)為用于對(duì)能夠供給與第一設(shè)定流量Oil)對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第二設(shè)定壓力(P》為用于對(duì)能夠供給與第二設(shè)定流量對(duì)應(yīng)的流量的氣體的氣體容器內(nèi)的剩余壓力進(jìn)行設(shè)定的壓力；所述第三設(shè)定壓力(P； )為被設(shè)定成比所述第一設(shè)定壓力(Pl)高且比填充壓力低的壓力這樣的壓力；所述各剩余壓力(PA、PB)為對(duì)所述各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的剩余壓力；所述供給檢測(cè)壓力(PT)為對(duì)供給至氣體使用處過程中的氣體的壓力進(jìn)行檢測(cè)所檢測(cè)到的壓力；其中，所述第一設(shè)定流量Oil)為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的流量； 所述第二設(shè)定流量為在氣體使用處預(yù)先設(shè)定的、比所述第一設(shè)定流量Oil)小的流量)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的氣體供給方法，其特征在于根據(jù)供給氣體的種類以及氣體供給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)而預(yù)先設(shè)定氣體容器內(nèi)的剩余壓力和能夠供給的氣體流量之間的關(guān)系。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠?qū)怏w容器內(nèi)的氣體進(jìn)行有效利用的氣體供給方法。本發(fā)明基于氣體使用處的最大流量(第一設(shè)定流量(Q1))和最小流量(第二設(shè)定流量(Q2))、能夠以第一設(shè)定流量(Q1)供給氣體的第一設(shè)定壓力(P1)、能夠以第二設(shè)定流量(Q2)供給氣體的第二設(shè)定壓力(P2)、比第一設(shè)定壓力(P1)高的第三設(shè)定壓力(P3)、各氣體容器(SA、SB)內(nèi)的剩余壓力(PA、PB)、供給氣體流量(Q)以及剩余壓力(PA、PB)和能夠供給的氣體流量(QPA、QPB)之間的關(guān)系，對(duì)剩余壓力(PA、PB)以及供給氣體流量(Q)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而對(duì)來(lái)自第一氣體容器(SA)和第二氣體容器(SB)的氣體供給進(jìn)行切換。
文檔編號(hào)F17C7/00GK102239359SQ20098014873
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2009年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月3日
發(fā)明者伊藤吉?jiǎng)t, 坂根誠(chéng), 米田隆 申請(qǐng)人:大陽(yáng)日酸株式會(huì)社