單軸電動執(zhí)行器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種應(yīng)用在與半導體/液晶、汽車制造相關(guān)聯(lián)設(shè)備等的工業(yè)機械設(shè)備上的單軸電動執(zhí)行器。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，通過電機來進行動作控制。其具有對滑塊原點和越程(overrun)的檢測精度不夠準確的課題。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型通過如下的構(gòu)造來解決所述課題。
[0004](I)提供一種單軸電動執(zhí)行器，具有:與長度方向垂直的截面為U字狀的導軌；配置于所述導軌的呈U字狀凹部內(nèi)的滑塊；配置于由所述導軌滾道和所述滑塊滾道之間所形成的滾道腔室里的多個滾珠；與所述導軌平行地形成在所述滑塊內(nèi)的螺母；貫穿所述螺母的絲杠軸；和配置于由所述螺母的螺旋槽與所述絲杠軸的螺旋槽所形成的滾道腔室里的多個滾珠，其特征在于，所述導軌通過與所述滑塊的各側(cè)面相對應(yīng)的各內(nèi)側(cè)面而與所述滑塊抵接，所述滑塊具有將所述滾珠從所述滾道的終點返回至起點的返回通道、和所述滾道與所述返回通道相連接的方向轉(zhuǎn)換道，并在所述滑塊的上部配置有使所述滾珠從所述滾道的終點返回至起點的循環(huán)部件，通過對所述絲杠軸的旋轉(zhuǎn)，而使所述絲杠軸的旋轉(zhuǎn)力借助著所述滾珠向所述螺母傳遞，而所述滾動體一邊在所述滾道內(nèi)以承載狀態(tài)滾動，一邊在所述循環(huán)通道內(nèi)循環(huán)，由此，就能夠使所述滑塊沿著所述導軌進行移動，
[0005]在所述滑塊的側(cè)面上，具有與其呈平行的傳感器安裝軌，并在所述傳感器安裝軌的外側(cè)，設(shè)有分別至少各為一個的傳感器和傳感器檢測部件。
[0006]按照所述構(gòu)造，因在單軸電動執(zhí)行器上設(shè)有傳感器、傳感器安裝軌、傳感器檢測部件，所以就能夠高精度地檢測出滑塊的位置，檢測原點、防止越程，以避免碰撞。
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的實施方式的單軸電動執(zhí)行器的概略圖。
[0008]附圖標記說明
[0009]1.導軌
[0010]3.滑塊
[0011]5.滾珠絲杠
[0012]7.傳感器安裝軌
[0013]9.傳感器
[0014]11.傳感器檢測部件
【具體實施方式】
[0015]圖1是本實施方式的單軸電動執(zhí)行器的側(cè)視圖。如圖1所示，帶傳感器的單軸電動執(zhí)行器以滾珠絲杠機構(gòu)和直線導軌機構(gòu)的組合為其基本構(gòu)造，具有與長度方向垂直的截面上，呈U字狀的導軌1，并在導軌I的U字狀的凹部內(nèi)設(shè)有滑塊3。在滑塊3的內(nèi)部配置有滾珠絲杠5。并在滑塊3的側(cè)面上，通過傳感器安裝軌7配置有傳感器9以及傳感器檢測部件11。
[0016]如此這般，因在單軸電動執(zhí)行器上設(shè)有傳感器、傳感器安裝軌、傳感器檢測部件，所以就能夠高精度地檢測出滑塊的位置，達到檢測原點、防止越程，避免碰撞之目的。
【主權(quán)項】
1.一種單軸電動執(zhí)行器，具有: 與長度方向垂直的截面為U字狀的導軌； 配置于所述導軌的U字狀的凹部內(nèi)的滑塊； 配置于由所述導軌滾道和所述滑塊滾道之間所形成的滾道腔室里的多個滾珠； 與所述導軌平行地形成在所述滑塊內(nèi)的螺母； 貫穿所述螺母的絲杠軸；和 配置于由所述螺母的螺旋槽與所述絲杠軸的螺旋槽形成的滾道腔室里的多個滾珠， 所述導軌通過與所述滑塊的各側(cè)面相對應(yīng)的各內(nèi)側(cè)面而與所述滑塊抵接， 所述滑塊具有將所述滾珠從所述滾道的終點返回至起點的返回通道、和所述滾道與所述返回通道相連接的方向轉(zhuǎn)換道， 并在所述滑塊的上部配置有使所述滾珠從所述滾道的終點返回至起點的循環(huán)部件，通過對所述絲杠軸的旋轉(zhuǎn)，而使所述絲杠軸的旋轉(zhuǎn)力借助著所述滾珠向所述螺母傳遞，而所述滾珠一邊在所述滾道內(nèi)以承載狀態(tài)滾動，一邊在所述循環(huán)通道內(nèi)循環(huán)，由此，就能夠使所述滑塊沿著所述導軌進行移動，其特征在于， 在所述滑塊的側(cè)面上，具有與其呈平行的傳感器安裝軌，并在所述傳感器安裝軌的外偵牝設(shè)有分別至少各為一個的傳感器和傳感器檢測部件。
【專利摘要】本實用新型提供一種單軸電動執(zhí)行器，通過在U字型截面形狀的導軌的內(nèi)側(cè)，配設(shè)有使滑塊與滾珠絲杠為一體構(gòu)造的內(nèi)置模塊，而使結(jié)構(gòu)更為小型化，且高剛性化。單軸電動執(zhí)行器以滾珠絲杠機構(gòu)和直線導軌機構(gòu)的組合為其基本結(jié)構(gòu)，還具有與長度方向垂直的截面上，呈U字狀的導軌(1)，并在導軌(1)的U字狀的凹部內(nèi)配設(shè)有滑塊(3)。在滑塊(3)的內(nèi)部配設(shè)有滾珠絲杠(5)。在滑塊(3)的側(cè)面通過傳感器安裝軌(7)，配設(shè)有傳感器(9)以及傳感器檢測部件(11)。在本單軸電動執(zhí)行器上，因具有傳感器、傳感器安裝軌、傳感器檢測部件，便能夠及時地檢測出滑塊的位置，達到檢測原點、防止越程，避免碰撞的目的。
【IPC分類】F16H25/22
【公開號】CN204828525
【申請?zhí)枴緾N201520160801
【發(fā)明人】松原大輔
【申請人】日本精工株式會社
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年3月20日