一種新型單晶爐頂部安全閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種新型單晶爐頂部安全閥。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料，單晶爐在硅單晶拉制過(guò)程中，當(dāng)爐體漏水等異常情況發(fā)生時(shí)，爐壓會(huì)突然增大時(shí)，爐內(nèi)會(huì)從真空變更高壓狀態(tài)，這時(shí)需要通過(guò)安全閥打開放氣，泄壓，從而減少安全隱患，而且在硅單晶拉制過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生大量的氧化物，順著真空管道排放，拉晶結(jié)束后，需要打開真空管道清掃，現(xiàn)有的單晶爐安全閥直接與爐體真空管道連接，打開麻煩清掃不便，而且在閥體打開時(shí)外部氣體或污染物容易進(jìn)入單晶爐內(nèi)部造成污染影響晶體生長(zhǎng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種新型單晶爐頂部安全閥，該閥在爐壓升高時(shí)能自動(dòng)打開放氣，避免了爐體爆裂危險(xiǎn)，保證了安全生產(chǎn)，并且可以通過(guò)鎖緊扣打開閥，清掃方便，避免外部氣體或污染物進(jìn)入到爐內(nèi)。
[0004]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，所述閥芯和彈簧均設(shè)在閥體內(nèi)部，彈簧設(shè)置在閥芯后端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內(nèi)部與閥芯工作面相對(duì)處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設(shè)在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接。
[0005]所述閥體內(nèi)部彈簧后端設(shè)有支撐凸臺(tái)，支撐凸臺(tái)中間設(shè)有錐形通孔，錐形通孔口徑小的一端向后，所述閥體后端設(shè)有向內(nèi)的錐面，錐面上設(shè)有均布的通孔，錐面前端設(shè)有與凸臺(tái)通孔配合的彈性空心橡膠球。
[0006]所述鉸接法蘭與安裝法蘭接合面設(shè)有錐形凸起，安裝法蘭一側(cè)設(shè)有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設(shè)有密封O型圈，所述鉸接法蘭與安裝法蘭側(cè)邊設(shè)有鎖緊扣。
[0007]所述彈性空心橡膠球與支撐凸臺(tái)錐形通孔緊密貼合。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:采用上述方案，當(dāng)爐壓升高時(shí)，閥芯打開釋放氣體減壓，進(jìn)入閥體的氣體再經(jīng)閥體內(nèi)部的支撐凸臺(tái)的錐形通孔聚能，使后端的彈性空心橡膠球發(fā)生形變，氣體經(jīng)通孔釋放出，降低爐內(nèi)壓力，閥芯常態(tài)閉合，彈性空心橡膠球只有在一定的壓力下才會(huì)形變，使外部的氣體和污染物進(jìn)入不到單晶爐內(nèi)部，避免影響晶體生長(zhǎng)，鉸接法蘭與安裝法蘭側(cè)邊設(shè)置的鎖緊扣，可以快捷的打開，方便清掃在硅單晶拉制過(guò)程中，產(chǎn)生大量的氧化物。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明的截面圖。
[0010]圖2為本發(fā)明的打開示意圖。
[0011]其中:1為閥體，2為閥芯，3為彈簧，4為鉸接法蘭，5為安裝法蘭，6為支撐凸臺(tái)，7為錐形通孔，8為彈性空心橡膠球，9為鎖緊扣，10為O型圈。
【具體實(shí)施方式】
[0012]如圖1，一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體1、閥芯2、彈簧3、鉸接法蘭4、安裝法蘭5，安裝法蘭5與單晶爐爐體的真空管道連接，鉸接法蘭4與安裝法蘭5鉸接，鉸接法蘭4與安裝法蘭5側(cè)邊設(shè)有鎖緊扣9，打開鎖緊扣9鉸接法蘭4可以連動(dòng)閥體I以鉸接處為軸旋轉(zhuǎn)打開，從而方便清掃在硅單晶拉制過(guò)程中，產(chǎn)生大量的氧化物，鉸接法蘭4與安裝法蘭5接合面設(shè)有錐形凸起，安裝法蘭5 —側(cè)設(shè)有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設(shè)有密封O型圈，有效的保證了氣密性，閥芯2和彈簧3均設(shè)在閥體I內(nèi)部，彈簧3設(shè)置在閥芯2后端，閥芯2前端工作面為錐面，閥體I內(nèi)部與閥芯2工作面相對(duì)處為與閥芯2錐面配合的錐面，閥體I內(nèi)部彈簧3后端設(shè)有支撐凸臺(tái)6，支撐凸臺(tái)6中間設(shè)有錐形通孔7，錐形通孔7 口徑小的一端向后，I閥體I后端設(shè)有向內(nèi)的錐面，錐面上設(shè)有均布的通孔，錐面前端設(shè)有與凸臺(tái)通孔配合的彈性空心橡膠球8，彈性空心橡膠球8與支撐凸臺(tái)6錐形通孔7緊密貼合，當(dāng)爐壓升高時(shí)，閥芯2打開釋放氣體減壓，氣體進(jìn)入閥體1，再經(jīng)閥體I內(nèi)部的支撐凸臺(tái)6的錐形通孔7聚能，使后端的彈性空心橡膠球8發(fā)生形變，然后氣體經(jīng)通孔釋放出，降低爐內(nèi)壓力，閥芯I常態(tài)閉合，彈性空心橡膠球8只有在一定的壓力下才會(huì)形變，使外部的氣體和污染物進(jìn)入不到單晶爐內(nèi)部，避免影響晶體生長(zhǎng)。
[0013]本發(fā)明并不局限于所述的實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，其特征是:所述閥芯和彈簧均設(shè)在閥體內(nèi)部，彈簧設(shè)置在閥芯后端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內(nèi)部與閥芯工作面相對(duì)處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設(shè)在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特征在于，所述閥體內(nèi)部彈簧后端設(shè)有支撐凸臺(tái)，支撐凸臺(tái)中間設(shè)有錐形通孔，錐形通孔口徑小的一端向后，所述閥體后端設(shè)有向內(nèi)的錐面，錐面上設(shè)有均布的通孔，錐面前端設(shè)有與凸臺(tái)通孔配合的彈性空心橡膠球。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特征在于，所述鉸接法蘭與安裝法蘭接合面設(shè)有錐形凸起，安裝法蘭一側(cè)設(shè)有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設(shè)有密封O型圈，所述鉸接法蘭與安裝法蘭側(cè)邊設(shè)有鎖緊扣。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特征在于，所述彈性空心橡膠球與支撐凸臺(tái)錐形通孔緊密貼合。
【專利摘要】本發(fā)明涉及單晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種新型單晶爐頂部安全閥，一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，所述閥芯和彈簧均設(shè)在閥體內(nèi)部，彈簧設(shè)置在閥芯后端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內(nèi)部與閥芯工作面相對(duì)處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設(shè)在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接，該閥在爐壓升高時(shí)能自動(dòng)打開放氣，避免了爐體爆裂危險(xiǎn)，保證了安全生產(chǎn)，并且可以通過(guò)鎖緊扣打開閥，清掃方便，避免外部氣體或污染物進(jìn)入到爐內(nèi)。
【IPC分類】F16K17-04, C30B15-00, F16K17-164
【公開號(hào)】CN104712797
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310683496
【發(fā)明人】潘燕萍
【申請(qǐng)人】常州市天龍光電設(shè)備有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2013年12月12日