本技術(shù)涉及閥門，具體涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥。

背景技術(shù)：

1、降壓閥作為一種自動(dòng)調(diào)壓裝置，能夠調(diào)節(jié)管道中的壓力，在一定的范圍內(nèi)保持流體壓力的穩(wěn)定性；在相關(guān)技術(shù)中，現(xiàn)有的降壓閥在調(diào)節(jié)壓力過程中，通常是以恒定的壓力進(jìn)行降壓，在需要微調(diào)壓力時(shí)，難以更為精確地進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)不方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，包括：

2、閥體，所述閥體具有第一內(nèi)腔；

3、第一調(diào)節(jié)件，所述第一調(diào)節(jié)件可移動(dòng)地設(shè)在所述第一內(nèi)腔，以調(diào)節(jié)所述第一內(nèi)腔的內(nèi)腔壓力，且所述第一調(diào)節(jié)件包括第二內(nèi)腔，所述第二內(nèi)腔與所述第一內(nèi)腔之間可相互連通或相互封閉，所述第一內(nèi)腔的容積大于所述第二內(nèi)腔的容積；

4、調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)在所述閥體內(nèi)，并與所述第二內(nèi)腔相連，以調(diào)節(jié)所述第二內(nèi)腔和所述第一內(nèi)腔相互連通或相互封閉。

5、優(yōu)選地，所述閥體包括底殼和上殼，所述調(diào)節(jié)組件的一端設(shè)于所述底殼內(nèi)，另一端設(shè)于所述上殼內(nèi)。

6、優(yōu)選地，所述底殼的內(nèi)周壁具有止擋部，且所述止擋部位于所述第一內(nèi)腔的頂部，用于限制所述第一調(diào)節(jié)件的移動(dòng)位置。

7、優(yōu)選地，所述第一調(diào)節(jié)件底部具有貫穿孔，所述貫穿孔將所述第一內(nèi)腔和所述第二內(nèi)腔相互導(dǎo)通。

8、優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)組件包括：

9、驅(qū)動(dòng)件，所述驅(qū)動(dòng)件設(shè)在所述上殼內(nèi)；

10、第二調(diào)節(jié)件，所述第二調(diào)節(jié)件的一端與所述驅(qū)動(dòng)件相連，另一端延伸至與所述第二內(nèi)腔滑動(dòng)連接。

11、優(yōu)選地，所述第二調(diào)節(jié)件包括：

12、連接桿，所述連接桿的一端與所述驅(qū)動(dòng)件相連；

13、橡膠頭，所述橡膠頭設(shè)于所述連接桿的另一端，且所述橡膠頭與所述第二內(nèi)腔過盈配合。

14、優(yōu)選地，所述上殼頂部設(shè)有操作件，所述操作件與所述第二調(diào)節(jié)件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述第二調(diào)節(jié)件軸向移動(dòng)。

15、優(yōu)選地，所述底殼和所述上殼之間設(shè)有密封圈，所述密封圈用于密封所述底殼和所述上殼之間的間隙。

16、優(yōu)選地，所述底殼的底部設(shè)有輸入通道，且所述底殼的側(cè)面設(shè)有輸出通道，所述輸入通道和所述輸出通道共同連通于所述第一內(nèi)腔。

17、本實(shí)用新型的上述方案至少包括以下有益效果：

18、本實(shí)用新型提供的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，在調(diào)節(jié)壓力時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)組件帶動(dòng)第一調(diào)節(jié)件移動(dòng)，使第一調(diào)節(jié)件調(diào)節(jié)后可以降低第一內(nèi)腔的壓力，在第一內(nèi)腔的壓力降低至最低后，第一調(diào)節(jié)件可以被限位進(jìn)而通過調(diào)節(jié)組件對(duì)第二內(nèi)腔進(jìn)行微調(diào)，使得第一內(nèi)腔和第二內(nèi)腔連通后的壓力可以共同降低，從而可以更精確地進(jìn)行調(diào)節(jié)降壓，調(diào)節(jié)更簡單方便。

19、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述閥體包括底殼和上殼，所述調(diào)節(jié)組件的一端設(shè)于所述底殼內(nèi)，另一端設(shè)于所述上殼內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述底殼的內(nèi)周壁具有止擋部，且所述止擋部位于所述第一內(nèi)腔的頂部，用于限制所述第一調(diào)節(jié)件的移動(dòng)位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)件底部具有貫穿孔，所述貫穿孔將所述第一內(nèi)腔和所述第二內(nèi)腔相互導(dǎo)通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述第二調(diào)節(jié)件包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述上殼頂部設(shè)有操作件，所述操作件與所述第二調(diào)節(jié)件相連，用于驅(qū)動(dòng)所述第二調(diào)節(jié)件軸向移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述底殼和所述上殼之間設(shè)有密封圈，所述密封圈用于密封所述底殼和所述上殼之間的間隙。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，其特征在于，所述底殼的底部設(shè)有輸入通道，且所述底殼的側(cè)面設(shè)有輸出通道，所述輸入通道和所述輸出通道共同連通于所述第一內(nèi)腔。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的降壓閥，包括閥體、第一調(diào)節(jié)件及調(diào)節(jié)組件，所述閥體具有第一內(nèi)腔；所述第一調(diào)節(jié)件可移動(dòng)地設(shè)在所述第一內(nèi)腔，以調(diào)節(jié)所述第一內(nèi)腔的內(nèi)腔壓力，且所述第一調(diào)節(jié)件包括第二內(nèi)腔，所述第二內(nèi)腔與所述第一內(nèi)腔之間可相互連通或相互封閉；所述調(diào)節(jié)組件設(shè)在所述閥體內(nèi)，并與所述第二內(nèi)腔滑動(dòng)連接，以調(diào)節(jié)所述第二內(nèi)腔和所述第一內(nèi)腔相互連通或相互封閉。本技術(shù)可以更精確地進(jìn)行調(diào)節(jié)降壓，調(diào)節(jié)更簡單方便。

技術(shù)研發(fā)人員：楊潔輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市立興高精科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240530
技術(shù)公布日：2025/1/9