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一種二維高精度檢測平臺的制作方法

文檔序號:11924191閱讀:835來源:國知局
一種二維高精度檢測平臺的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于精密儀器設備領域,具體是一種用于進行二維高精度檢測的檢測平臺。



背景技術:

二維高精度檢測平臺主要用于精密儀器的二維精度檢測、與二維位置相關的機械、電學、聲學等性能的檢測和標定,檢測平臺自身的位置精度至關重要。

目前,用于檢測平臺方位軸的轉動和定位主要是采用齒輪傳動配合大直徑軸承進行支撐及轉動。但軸承自身會存在間隙,導致方位軸晃動,而且齒輪和軸承的精度決定了方位軸的精度,這就需要很高精度的軸承,其成本高,加工難度大。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術的上述不足,提出了一種二維高精度檢測平臺,其體積輕便,便于安裝調整,并且能夠實現(xiàn)方位軸在360°范圍內任意圈轉動,定位及精度可調。

本專利的二維高精度檢測平臺,包括底座、軌道、軌道調整機構、滾輪機構和平臺,軌道調整機構布置不少于3組、沿軌道的長度方向等間距布置固設在底座上,軌道放置在軌道調整機構上,所述的平臺通過滾輪機構放置在軌道上。

上述的二維高精度檢測平臺,所述的軌道為環(huán)形,平臺為圓盤形,軌道與平臺同心布置,滾輪機構沿平臺的圓周方向布置放置在環(huán)形的軌道上,底座正對環(huán)形軌道圓心位置設置有轉軸,平臺與轉軸可轉動連接。軌道調整機構沿軌道圓周方向布置不少于8組。

上述的二維高精度檢測平臺,還包括橋式水平儀,橋式水平儀布置在軌道上且位于每兩個相鄰的軌道調整機構之間。

上述的二維高精度檢測平臺,所述的軌道調整機構包括精密調整斜塊和調節(jié)螺桿,精密調整斜塊放置在底座上,軌道放置在精密調整斜塊上,軌道或底座設置有與精密調整斜塊相互配合的斜面,調節(jié)螺桿能夠驅動精密調整斜塊沿水平方向位移。

上述的二維高精度檢測平臺,所述的滾輪機構包括滾輪,所述的滾輪具體為圓錐滾輪。

上述的二維高精度檢測平臺,滾輪機構上還設置有驅動電機,所述的驅動電機驅動滾輪轉動。

上述的二維高精度檢測平臺,還包括方位微調機構,所述的方位微調機構由搖臂、定位滾輪、定位滾輪鎖止裝置、精密絲桿、絲桿螺母、絲桿驅動電機、固定座組成;絲桿驅動電機通過固定座安裝在平臺上,搖臂一端可轉動安裝在轉軸上、另一端安裝絲桿螺母,精密絲桿安裝在絲桿驅動電機上與絲桿螺母配合連接,所述的定位滾輪可轉動安裝在搖臂上,定位滾輪鎖止裝置可鎖止定位滾輪。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點:

1、本專利的二維高精度檢測平臺,最大的創(chuàng)新在于并不是檢測時實時對檢測平臺進行調整,而是在開始檢測時,為檢測平臺建立高精度的水平基準平面。本專利通過對多組軌道調整機構逐一調整高度,將軌道整體調整至水平,并與滾動機構相配合,從而使檢測平臺能夠保持在其所在的平面上并實現(xiàn)運動,為二維高精度檢測提供可靠的基準平面。

2、本專利特別應用于一種基于環(huán)形軌道的檢測平面建立。本專利建立一套環(huán)形軌道,將檢測平臺布置在環(huán)形軌道上。在進行高精度平面建立時,以往通過水平儀檢測,即使發(fā)現(xiàn)平臺不水平,調平難度很大,因為無法確定應該分別在哪個角度進行多少調整量。而本專利中,通過環(huán)形布置的軌道調整機構,將平面的水平調整,轉化為逐段線段的水平調整,并且由于是環(huán)形布置,軌道調整機構最終首尾相連,在逐線段的水平調整后,每個線段之間的誤差能夠累積體現(xiàn)在調整起始點與調整終點之間,從而通過反復的線段調整,最終能夠獲得極高精度的水平平面。軌道調整機構沿軌道圓周方向一般布置不少于8組,優(yōu)選12組,能夠既達到極高的調整精度,也能夠合理的控制調整工作量。

3、在進行檢測時,通過滾輪機構滾動實現(xiàn)平臺運動,因此平臺本身的跳動近乎為零,保證檢測過程中的平臺穩(wěn)定。并且滾輪機構的設計保證滾輪只發(fā)生滾動摩擦,沒有滑動摩擦,這就保證了方位沒有晃動。

4、本專利檢測平臺通過軸承與底座上的轉軸相連,軸承只用于保持平臺轉動時的平臺中心位置,因此軸承本身的精度對平臺在二維平面內的運動不產生影響,從而提高平臺的運行精度。

5、本專利在軌道上每兩個相鄰的軌道調整機構之間設置橋式水平儀,通過逐一調整軌道調整機構的高度,使軌道上的每個橋式水平儀呈水平狀態(tài),進而使軌道整體的水平高度一致,實現(xiàn)水平基準平面的建立。

6、本專利的軌道調整機構包括精密調整斜塊和調節(jié)螺桿,通過螺桿頂拉精密調整斜塊,調整軌道對應的精密調整斜塊的位置,通過改變軌道在斜面上的位置,實現(xiàn)軌道高度的精確調節(jié)。

7、本專利的滾輪上安裝驅動電機,采用摩擦傳動(作為粗定位用),從而不需要另設計傳動機構。

附圖說明

圖1為二維高精度檢測平臺整體結構示意圖。

圖2為環(huán)形軌道結構示意圖。

圖3為軌道調整機構結構示意圖。

圖4為滾輪機構結構示意圖。

圖5為采用直線軌道的二維高精度檢測平臺整體結構示意圖。

圖6為直線軌道結構示意圖。

圖7為方位微調機構定位滾輪位置局部結構示意圖。

圖8為方位微調機構結構示意圖。

具體實施方式

為進一步了解本專利的內容,下面結合實施例和附圖對本專利作詳細描述。

實施例1

本實施例為采用了環(huán)形軌道的具體實施例,如圖1、圖2所示,本實施例的二維高精度檢測平臺,包括底座3、軌道4、軌道調整機構5、滾輪機構2和平臺1,軌道調整機構5布置不少于3組、沿軌道4的長度方向等間距布置固設在底座3上,軌道4放置在軌道調整機構5上,所述的平臺1通過滾輪機構2放置在軌道4上。

軌道4為環(huán)形,平臺1為圓盤形,軌道4與平臺1同心布置,滾輪機構2沿平臺1的圓周方向布置放置在環(huán)形的軌道4上,底座3正對環(huán)形軌道4圓心位置設置有轉軸7,平臺1與轉軸7之間設置有軸承8,平臺1可轉動連接安裝在轉軸7上。

如圖4所示,滾輪機構2包括滾輪,所述的滾輪為圓錐滾輪11,還包括滾輪框架13、框架支撐塊12,框架支撐塊12與滾輪框架13固定連接,框架支撐塊12將平臺1與滾輪框架13固定連接在一起,圓錐滾輪11安裝在滾輪框架13上,還包括驅動電機14,驅動電機14安裝在滾輪框架13上且能夠驅動圓錐滾輪11轉動。

如圖2所示,環(huán)形的軌道4上還安裝有橋式水平儀6,橋式水平儀6布置在軌道4上且位于每兩個相鄰的軌道調整機構5之間。

實施例2

如圖3所示,作為實施例1的更進一步方案,本實施例中采用的軌道調整機構5如圖3所示,包括精密調整斜塊9和調節(jié)螺桿10,精密調整斜塊9放置在底座3上,軌道4放置在精密調整斜塊9上,精密調整斜塊9通過斜面調整高度,接觸在精密調整斜塊9斜面的不同位置,可以實現(xiàn)不同高度的調整。軌道4或底座3均可以設置有與精密調整斜塊9相互配合的斜面,本實施例中軌道4的底面與精密調整斜塊9的斜面相配合設置,調節(jié)螺桿10能夠驅動精密調整斜塊9沿水平方向位移,從而調整軌道4的高度。

沿軌道4圓周方向布置軌道調整機構5不少于3組,為實現(xiàn)更高的精度,可以增加軌道調整機構5的數(shù)量,可設置8~16組,軌道調整機構5布置的數(shù)量越多,軌道4的調整精度越高。

實施例3

如圖5、圖6所示,為本專利設置使用在直線軌道的結構圖。包括底座3、直線軌道15、軌道調整機構5、滾輪機構2和平臺1,底座3、軌道調整機構5、滾輪機構2與前述實施例相同,圖6是直線軌道15和軌道調整機構5布置的結構示意圖,軌道調整機構5沿軌道的直線方向等間距布置不少于3組、固設在底座3上,直線軌道15放置在軌道調整機構5上,所述的平臺1通過滾輪機構2放置在直線軌道15上。橋式水平儀6布置在直線軌道15上、且位于每兩個相鄰的軌道調整機構5之間。

實施例4

為實現(xiàn)更高精度的平臺方位調整,本實施例設置了方位微調機構16,如圖1、圖7、圖8所示,圖1是方位微調機構16安裝在整個系統(tǒng)內的位置示意圖,圖7、圖8具體顯示了方位微調機構16的結構。方位微調機構16由搖臂17、定位滾輪18、定位滾輪鎖止裝置19、精密絲桿20、絲桿螺母21、絲桿驅動電機22、固定座23組成;絲桿驅動電機22通過固定座23安裝在平臺1上,搖臂17一端可轉動安裝在轉軸上、另一端安裝絲桿螺母21,精密絲桿20安裝在絲桿驅動電機22上與絲桿螺母21配合連接,定位滾輪18通過定位滾輪軸承24可轉動安裝在搖臂17上,定位滾輪鎖止裝置19可鎖止定位滾輪18。本實施例中,定位滾輪鎖止裝置19采用的是電磁離合器,當定位滾輪鎖止裝置19呈鎖止狀態(tài)時,定位滾輪18無法轉動,此時絲桿驅動電機22驅動精密絲桿20轉動,即可帶動平臺1相對于定位滾輪18相對運動,從而實現(xiàn)平臺1的方位微調。

如圖8所示,可以在搖臂17與平臺1之間設置彈簧25,通過彈簧25的作用力將定位滾輪18下壓更好的貼合軌道4,從而實現(xiàn)定位滾輪18更好的定位效果,與軌道4的貼合更緊密,同時定位滾輪鎖止裝置19鎖止時位置更加穩(wěn)固。

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