專利名稱：用于箱體間的密封定位臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及密封定位臺的設(shè)計領(lǐng)域，尤其涉及用于箱體間的密封定位臺。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體基本一般采用半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)完成，由于半導(dǎo)體的制造過程中每一道工序均需在密封條件下完成，且在完成每一工序后無需取出，且對取出后的環(huán)境同樣的密封的嚴(yán)格要求，因此造成設(shè)備廠房規(guī)模較大，制造難度較大和成本較高。目前半導(dǎo)體制造企業(yè)一般都要耗費大量的人力和物力建設(shè)廠房，投資建設(shè)一個完整的半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)通常要花費幾千萬乃至上億的投資，且廠房的建設(shè)周期通常要耗時幾年。因此半導(dǎo)體制造行業(yè)入行門檻較高，且投資風(fēng)險巨大。要避免因建設(shè)大型廠房而造成投資風(fēng)險，可采用將半導(dǎo)體制造過程中的每一工序變成由若干箱體串接而成的模塊化處理，由每一個密封箱體完成一個工序，由若干個串接的密封箱體完成一個完整的工藝流程。因此，如何構(gòu)建相互串接的箱體間的密封連接及定位成為構(gòu)建半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)模塊化的首要問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，旨在提供用于箱體間的密封定位臺，同時降低整個定位臺的制造成本，為實現(xiàn)半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)的模塊化提供必要的準(zhǔn)備。本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，用于箱體間的密封定位臺，包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設(shè)有可放置并排設(shè)置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側(cè)壁契合待定位箱體底部的側(cè)邊，所述定位槽寬度方向的兩側(cè)壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側(cè)邊，所述定位槽長度方向的兩側(cè)壁相對的位置設(shè)有若干成對布置的卡槽，位于同一側(cè)壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側(cè)邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內(nèi)的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側(cè)壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側(cè)壁相對設(shè)置的第二側(cè)壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構(gòu)連接。具體地，所述扣緊機構(gòu)包括固定于所述第一夾緊板上的扣座和固定于所述第二夾緊板上的扣臺，所述扣座和扣臺位于待定位箱體的同一側(cè)壁，所述扣座上設(shè)有扣位，所述扣臺上設(shè)有可相對于所述扣臺轉(zhuǎn)動的第一旋轉(zhuǎn)件，所述第一旋轉(zhuǎn)件上設(shè)有可相對于所述第一旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn)動的第二旋轉(zhuǎn)件，所述第二旋轉(zhuǎn)件一端扣合于所述扣座的扣位。具體地，所述扣座的扣位背向所述扣臺。具體地，所述第一旋轉(zhuǎn)件背向所述扣座由其本體上延伸出一松緊手柄。具體地，所述第一夾緊板的一端具有貼合于所述第二夾緊板的一端表面的貼合部，所述貼合部與所述第一夾緊板主體之間設(shè)有一斷面呈弧形的過渡折邊。具體地，所述第一夾緊板、第二夾緊板與待定位的兩相鄰箱體相接觸處共同形成一凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有密封膠條。具體地，所述定位槽由固定于所述定位座上的凸條組件圍合而成，所述第一夾緊板和第二夾緊板分別固定于所述凸條組件長度方向的兩側(cè)。具體地，所述凸條組件包括分別位于所述定位座兩側(cè)向的兩限位凸條及分別位于所述定位座兩長度方向的若干密封凸條，位于同一側(cè)的兩相鄰的密封凸條之間設(shè)有形成所述卡槽的間隙。具體地，各所述密封凸條上設(shè)有供所述第一夾緊板的一端和第二夾緊板的一端插入的定位開槽，該定位開槽的側(cè)向上設(shè)有凸條通孔，所述第一夾緊板和第二夾緊板上分別設(shè)有與所述凸條通孔適配的夾緊通孔，相互對應(yīng)的凸條通孔與所述夾緊通孔設(shè)有緊固件。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明提供的用于箱體間的密封定位臺，針對半導(dǎo)體集成制造過程中各個工序依次串接，半導(dǎo)體集成制造系統(tǒng)模塊化設(shè)計后各箱體之間優(yōu)先采用并排設(shè)置的特點，設(shè)置長條狀的定位槽與之適應(yīng)，同時在所述定位槽長度方向的兩側(cè)壁設(shè)置成對設(shè)置的卡槽，并配備一可卡合于任一對所述卡槽內(nèi)的卡條，且位于同一側(cè)壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側(cè)邊的長度，因此在設(shè)計所述定位槽長度方向上的尺寸時，可預(yù)留比較多對的卡槽，如此使構(gòu)成半導(dǎo)體集成制造系統(tǒng)的各模塊化的箱體的數(shù)量可以依據(jù)設(shè)計的需要進行適當(dāng)?shù)脑鰷p，而無需更換不同的定位臺；顯然當(dāng)兩箱體并排設(shè)置后，兩箱體相接觸的接觸面必存在細微的縫隙，由于半導(dǎo)體集成制造過程中對密封有特殊的要求，對此，本發(fā)明通過在兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍設(shè)置第一夾緊板和第二夾緊板，通過第一、第二夾緊板的密封作用，實現(xiàn)兩相鄰的箱體之間的密封，同時通過扣緊機構(gòu)提高所述第一夾緊板和第二夾緊板之間連接的緊固程度。


圖1是本發(fā)明一優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1安裝箱體后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖1的局部放大圖A ;圖4是扣緊機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖1的右向側(cè)視圖；圖6是箱頂板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。請參照圖2，本實施例以對七個外輪廓大小相等的立方體結(jié)構(gòu)的箱體的密封定位為例，介紹本發(fā)明的特點。其中，各所述箱體3并排設(shè)置，各所述箱體3依次為第一隔離艙31、清洗模塊32、第二隔離艙33、干燥模塊34、第三隔離艙35、PVD模塊36及第四隔離艙37。請參照圖廣2，用于箱體間的密封定位臺，包括定位座I和若干密封夾緊組件2，所述定位座I上設(shè)有可放置并排設(shè)置的若干待定位箱體3的定位槽11，所述定位槽11為長條狀，所述定位槽11長度方向的兩側(cè)壁契合待定位箱體3底部的側(cè)邊，所述定位槽11寬度方向的兩側(cè)壁契合若干并排放置后的待定位箱體3底部的側(cè)邊，具體地，所述定位槽11為長條狀的矩形槽，所述第一隔離艙31底面的三側(cè)邊分別抵頂所述定位槽11的一橫向側(cè)壁及兩縱向側(cè)壁，如此，實現(xiàn)對所述第一隔離艙31三側(cè)邊及底面的定位，從而達到對所述第一隔離艙31的定位。此后，其余各箱體按照清洗模塊32、第二隔離艙33、干燥模塊34、第三隔離艙35、PVD模塊36及第四隔離艙37的次序依次安裝到所述定位座I上，至此便完成了各所述箱體3的基本定位。請參照圖f 2，為防止位于側(cè)邊的第四隔離艙37沿如圖所示的左側(cè)滑移，所述定位槽11長度方向的兩側(cè)壁相對的位置設(shè)有若干成對布置的卡槽12，位于同一側(cè)壁上的兩相鄰所述卡槽12的間距等于一待定位箱體3側(cè)邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽12內(nèi)的卡條4。如此，在完成所述第四隔離艙37的定位安裝后，可以通過所述卡條4卡合位于所述第四隔離艙37右側(cè)的卡槽12內(nèi)，從而實現(xiàn)各所述箱體3的夾緊定位。在半導(dǎo)體的制造過程中，常常會對不同的產(chǎn)品需求而調(diào)整工藝流程，而工藝流程的調(diào)整則勢必導(dǎo)致工藝步驟的增刪。在本發(fā)明的工作臺中，為適應(yīng)上述調(diào)整需求，所述定位槽11長度方向的兩側(cè)壁相對的位置設(shè)有若干成對布置的卡槽12，位于同一側(cè)壁上的兩相鄰所述卡槽12的間距等于一待定位箱體3側(cè)邊的長度，并配置一可卡合于任一對所述卡槽12內(nèi)的卡條4。如此，無論所述箱體3的數(shù)量如何變化，只要適當(dāng)?shù)挠嗔糨^多的成對設(shè)置卡槽12，即可使本發(fā)明的工作臺適應(yīng)不同箱體3數(shù)量的變化，由此可見本發(fā)明通常采用簡潔設(shè)計方式，使工作臺獲得良好的定位夾緊效果，同時具備較大的適應(yīng)性。請參照圖f 2，由于各所述箱體3并排設(shè)置后，相鄰兩箱體之間必存在一定的連接縫隙，而半導(dǎo)體的制造過程中每一道工序均需在密封條件下完成，為此，各所述密封夾緊組件2包括第一夾緊板21和第二夾緊板22，所述第一夾緊板21的一端固定于所述定位槽11長度方向的第一側(cè)壁，所述第二夾緊板22的一端固定于所述定位槽11長度方向的第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對，所述第一夾緊板21和第二夾緊板22圍合于兩相鄰的待定位箱體3相接觸處的外圍，所述第一夾緊板21與第二夾緊板22之間通過扣緊機構(gòu)5連接。如此，通過第一夾緊板21和第二夾緊板22圍合于兩相鄰的所述箱體3相接觸處，實現(xiàn)了相鄰兩箱體之間連接縫隙的密封，此外為方便操作人員的處理，采用扣緊機構(gòu)5以實現(xiàn)所述第一夾緊板21與第二夾緊板22之間的快速連接。綜上所述，本發(fā)明的工作臺采用結(jié)構(gòu)簡潔的設(shè)計方式，實現(xiàn)了并排設(shè)置的箱體間的定位和密封的設(shè)計效果，同時可適應(yīng)不同工藝需求的半導(dǎo)體制造流程的要求，為實現(xiàn)半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)的模塊化提供必要的準(zhǔn)備與前提。請參照圖4，在本實施例中，所述扣緊機構(gòu)5包括固定于所述第一夾緊板21上的扣座51和固定于所述第二夾緊板22上的扣臺52，所述扣座51和扣臺52位于待定位箱體3的同一側(cè)壁，所述扣座51上設(shè)有扣位511，所述扣臺52上設(shè)有可相對于所述扣臺52轉(zhuǎn)動的第一旋轉(zhuǎn)件53，所述第一旋轉(zhuǎn)件53上設(shè)有可相對于第一旋轉(zhuǎn)件53轉(zhuǎn)動的第二旋轉(zhuǎn)件54，所述第二旋轉(zhuǎn)件54 —端扣合于所述扣座51的扣位511。如此，可通過改變所述第一旋轉(zhuǎn)件53與所述扣臺52的角度關(guān)系，達到控制所述第二旋轉(zhuǎn)件54對所述扣座51的扣位511的扣緊程度，以控制所述第一夾緊板21與第二夾緊板22之間的夾緊關(guān)系。具體地，所述扣座51的扣位511背向所述扣臺52，如此可使所述第二旋轉(zhuǎn)件53與所述扣位511獲得較佳的扣緊角度，從而獲得較大的扣緊力。其中，所述扣位511為一開口弧形結(jié)構(gòu)，且該弧形結(jié)構(gòu)開口背向所述扣臺52，如此能夠保證所述第二旋轉(zhuǎn)件53與所述扣座51具有較佳扣緊效果。更具體地，為方便操作人員對所述扣緊機構(gòu)5松緊狀態(tài)的調(diào)整，所述第一旋轉(zhuǎn)件53背向所述扣座51由其本體上延伸出一松緊手柄531，如此操作人員可通過操控所述松緊手柄531，從而達到對所述扣緊機構(gòu)5的松緊狀態(tài)的控制。請參照圖5，在本實施例中，所述第一夾緊板21的一端具有貼合于所述第二夾緊板22的一端表面的貼合部211，所述貼合部211與所述第一夾緊板21主體之間設(shè)有一斷面呈弧形的過渡折邊212。如此，當(dāng)所述扣緊機構(gòu)5處于夾緊狀態(tài)時，能夠保證所述第一夾緊板21與所述第二夾緊板22相互連接處表面呈自然過渡。當(dāng)然，如果亦進一步加強所述第一夾緊板21與所述第二夾緊板22對相鄰兩箱體的密封效果，可使所述扣緊機構(gòu)5處于夾緊狀態(tài)時，所述第二夾緊板22的末端抵頂所述過渡折邊212，如此可以避免第一夾緊板21與第二夾緊板22相互連接處出現(xiàn)未曾密封的間隙。請參照圖5和圖6，其中，所述第一夾緊板21由與所述第一側(cè)壁連接的側(cè)壁板213、設(shè)于所述箱體3上方的箱頂板214及與所述第二夾緊板22連接的連接板215組成，所述側(cè)壁板213、箱頂板214及所述連接板依次相互連接，且各段相互連接點位于所述箱體3兩側(cè)面與頂面的轉(zhuǎn)折處。同時，為保證所述側(cè)壁板213與所述箱頂板214相互連接處、所述箱頂板214與連接板215相互連接處具有良好的密封效果，所述箱頂板214的寬度大于所述側(cè)壁板213和連接板215的寬度，所述箱頂板214兩端的中間位置分別開設(shè)有與所述側(cè)壁板213和連接板215的寬度相等的開口 2141，各所述開口 2141的兩側(cè)彎圈成圓形的第一定位孔2142 ;與此適應(yīng)的，所述側(cè)壁板213和連接板215與所述箱頂板214連接的一端分別彎圈成圓形的第二定位孔2143，安裝時，所述側(cè)壁板213和連接板215由所述箱頂板214的開口 2141穿過并抵頂所述開口 2141的側(cè)壁，且所述第二定位孔2143與所述第一定位孔2142對齊，并向所述第一定位孔2142與所述第二定位孔2143內(nèi)插入連接銷(圖中未畫出)。如此，一方面可方便所述第一連接件21的制作，另一方面可使所述第一連接件21的各組成部分獲得良好的密封效果。請參照圖2，在本實施例中，所述第一夾緊板21、第二夾緊板22與待定位的兩相鄰箱體相接觸處共同形成一凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有密封膠條。具體地，相鄰兩所述箱體相接觸的側(cè)面的周邊分別設(shè)有大小相等、位置相同的半槽，所述凹槽結(jié)構(gòu)由相鄰兩所述箱體的半槽拼合而成。在安裝時，密封膠涂抹于所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)以形成所述密封膠條。如此，可以加強所述第一夾緊板21和第二夾緊板22對兩相鄰箱體接觸側(cè)面的密封效果。 請參照圖f 3，在本實施例中，所述定位槽11由固定于所述定位座I上的凸條組件13圍合而成，所述第一夾緊板21和第二夾緊板22分別固定于所述凸條組件13長度方向的兩側(cè)。具體地，所述凸條組件13包括分別位于所述定位座I兩側(cè)向的兩限位凸條131及分別位于兩長度方向的若干密封凸條132，同于一側(cè)兩相鄰的密封凸條132之間設(shè)有形成所述卡槽12的間隙。當(dāng)然，所述定位槽11的形成方式亦可以采用在所述定位座I上采用去除材料的加工方式獲得，在本發(fā)明中對此沒有限定。本發(fā)明采用凸條組件13圍合而成，是基于對加工成本的控制考慮的。請參照圖3，在本實施例中，各所述密封凸條132上設(shè)有供所述第一夾緊板21的一端和第二夾緊板22的一端插入的定位開槽1321，設(shè)定位開槽1321的側(cè)向上設(shè)有凸條通孔1322，所述第一夾緊板21和第二夾緊板22上分別設(shè)有與所述凸條通孔1322適配的夾緊通孔(圖中未畫出)，相互對應(yīng)的凸條通孔1322與所述夾緊通孔設(shè)有緊固件(圖中未畫出)。如此，可通過簡易可行的方式，實現(xiàn)所述第一夾緊板21和第二夾緊板22分別與所述密封凸條132的固定連接。其中，所述定位開槽1321設(shè)于所述密封凸條132緊貼所述箱體3的槽壁上，如此可使所述第一夾緊板21和第二夾緊板22插入后其端部與各所述箱體3的側(cè)面緊貼，以達到更佳的密封效果。以上所述僅為本發(fā)明較佳的實施例而已，其結(jié)構(gòu)并不限于上述列舉的形狀，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設(shè)有可放置并排設(shè)置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側(cè)壁契合待定位箱體底部的側(cè)邊，所述定位槽寬度方向的兩側(cè)壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側(cè)邊，所述定位槽長度方向的兩側(cè)壁相對的位置設(shè)有若干成對布置的卡槽，位于同一側(cè)壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側(cè)邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內(nèi)的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側(cè)壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側(cè)壁相對設(shè)置的第二側(cè)壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構(gòu)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述扣緊機構(gòu)包括固定于所述第一夾緊板上的扣座和固定于所述第二夾緊板上的扣臺，所述扣座和扣臺位于待定位箱體的同一側(cè)壁，所述扣座上設(shè)有扣位，所述扣臺上設(shè)有可相對于所述扣臺轉(zhuǎn)動的第一旋轉(zhuǎn)件，所述第一旋轉(zhuǎn)件上設(shè)有可相對于所述第一旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn)動的第二旋轉(zhuǎn)件，所述第二旋轉(zhuǎn)件一端扣合于所述扣座的扣位。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述扣座的扣位背向所述扣臺。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述第一旋轉(zhuǎn)件背向所述扣座由其本體上延伸出一松緊手柄。
5.根據(jù)權(quán)利要 求2所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述第一夾緊板的一端具有貼合于所述第二夾緊板的一端表面的貼合部，所述貼合部與所述第一夾緊板主體之間設(shè)有一斷面呈弧形的過渡折邊。
6.根據(jù)權(quán)利要求Γ5任一項所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述第一夾緊板、第二夾緊板與待定位的兩相鄰箱體相接觸處共同形成一凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)有密封膠條。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述定位槽由固定于所述定位座上的凸條組件圍合而成，所述第一夾緊板和第二夾緊板分別固定于所述凸條組件長度方向的兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:所述凸條組件包括分別位于所述定位座兩側(cè)向的兩限位凸條及分別位于所述定位座兩長度方向的若干密封凸條，位于同一側(cè)的兩相鄰的密封凸條之間設(shè)有形成所述卡槽的間隙。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于箱體間的密封定位臺，其特征在于:各所述密封凸條上設(shè)有供所述第一夾緊板的一端和第二夾緊板的一端插入的定位開槽，該定位開槽的側(cè)向上設(shè)有凸條通孔，所述第一夾緊板和第二夾緊板上分別設(shè)有與所述凸條通孔適配的夾緊通孔，相互對應(yīng)的凸條通孔與所述夾緊通孔設(shè)有緊固件。
全文摘要
本發(fā)明涉及密封定位臺的設(shè)計領(lǐng)域，尤其涉及用于箱體間的密封定位臺。本發(fā)明提供了用于箱體間的密封定位臺，包括定位座和若干密封夾緊組件，在所述定位座上設(shè)置定位槽，通過定位槽實現(xiàn)對并排的各箱體的基本定位；在所述定位槽上開設(shè)成對設(shè)置于定位槽兩側(cè)壁的卡槽，配合卡條的使用，一方面可實現(xiàn)對各箱體的夾緊定位作用，一方面可使本發(fā)明的密封定位臺能夠適應(yīng)不同箱體個數(shù)的定位需求；此外，通過密封夾緊組件的密封作用，實現(xiàn)兩相鄰箱體之間縫隙的密封。其采用結(jié)構(gòu)簡潔的設(shè)計方式，實現(xiàn)了并排設(shè)置的箱體間的定位和密封的設(shè)計效果，可適應(yīng)不同工藝需求的半導(dǎo)體制造流程的要求，為實現(xiàn)半導(dǎo)體集成密封制造系統(tǒng)的模塊化提供必要的準(zhǔn)備與前提。
文檔編號F16J15/06GK103075515SQ201210570548
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月25日
發(fā)明者王奉瑾 申請人:王奉瑾