專(zhuān)利名稱(chēng):用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池加工技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路。
背景技術(shù):
由于人類(lèi)對(duì)能源的不斷需求及地球上能源地不斷減少,促使人們致力于開(kāi)發(fā)新型能源。太陽(yáng)在四十分鐘內(nèi)照射到地球表面的能量可供全球目前能源消費(fèi)的速度使用一年, 合理地利用好太陽(yáng)能將是人類(lèi)解決能源問(wèn)題的長(zhǎng)期發(fā)展戰(zhàn)略,是新能源中最受矚目的研究項(xiàng)目之一。太陽(yáng)能電池是一種能有效地吸收太陽(yáng)輻射能,并使之轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿陌雽?dǎo)體器件, 由于其利用各種勢(shì)壘的光生伏特效應(yīng),所以也稱(chēng)為光伏電池,其核心是可釋放電子的半導(dǎo)體。最常用的半導(dǎo)體材料是硅,地殼硅儲(chǔ)量豐富,可以說(shuō)是取之不盡用之不竭。太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝中,硅片的清洗是不可缺少的一道工序。目前,硅片的清洗工藝過(guò)程中,需采用冷柜設(shè)備制備硅片清洗工藝中必須的冷凝液。由于冷柜制備冷凝液的過(guò)程中,其產(chǎn)生大量的熱,故冷柜需具有較好的散熱系統(tǒng)。請(qǐng)參考圖1,圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路示意圖。由水站引進(jìn)的冷卻水經(jīng)由管路01進(jìn)入冷柜入口,冷卻水能夠較好地吸收冷柜制備冷凝液時(shí)產(chǎn)生的熱量。需要說(shuō)明的是,進(jìn)入冷柜的冷卻水需具有一定的純凈度,以規(guī)避冷柜的冷卻系統(tǒng)易堵塞的問(wèn)題。故現(xiàn)有技術(shù)中,在管路01的側(cè)壁上設(shè)有濾網(wǎng)安裝部011,濾網(wǎng)通過(guò)該濾網(wǎng)安裝部011伸入至管路01內(nèi)部,以使得流經(jīng)管路01的冷卻水得到過(guò)濾作用。 當(dāng)然,為了防止冷卻水由濾網(wǎng)安裝部011的濾網(wǎng)安裝口流出,濾網(wǎng)安裝口配有密封蓋012。 待濾網(wǎng)安裝至管路01之后,將密封蓋012旋緊于濾網(wǎng)安裝口即可。為了防止管路01阻塞,工作人員需經(jīng)常將過(guò)濾網(wǎng)拆下進(jìn)行清洗?,F(xiàn)有技術(shù)中,在拆卸過(guò)濾網(wǎng)時(shí),需將管路01上設(shè)置的濾網(wǎng)安裝部011前端的閥門(mén)013關(guān)閉,同時(shí),需使冷柜停止工作,以免使得冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)部的水由濾網(wǎng)安裝口流出。因此,現(xiàn)有技術(shù)中,當(dāng)對(duì)濾網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗時(shí),需停止冷柜的工作,進(jìn)而導(dǎo)致冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。因此,如何規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題,成為本領(lǐng)域技術(shù)人員所要解決的重要技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此,本實(shí)用新型提供了一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,以規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案本實(shí)用新型提供的一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,包括供水干路、并列連接于所述供水干路之間的第一支路與和第二支路;所述第一支路與所述第二支路均設(shè)有[0013]具有過(guò)濾網(wǎng)安裝口的過(guò)濾網(wǎng)安裝部;設(shè)于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部前端的第一閥門(mén);設(shè)于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部后端的第二閥門(mén);通過(guò)所述過(guò)濾網(wǎng)安裝口插裝于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部的過(guò)濾網(wǎng),且所述過(guò)濾網(wǎng)安裝口設(shè)有密封蓋。優(yōu)選地,所述第一閥門(mén)為球閥。優(yōu)選地,所述第一閥門(mén)為碟閥。優(yōu)選地,所述第二閥門(mén)為碟閥。優(yōu)選地,所述第二閥門(mén)為球閥。本實(shí)用新型提供的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,包括供水干路、第一支路及第二支路,其中第一支路和第二支路通過(guò)并聯(lián)的方式連接于供水干路之間。需要說(shuō)明的是,上述第一支路和第二支路均具有過(guò)濾網(wǎng)安裝部、第一閥門(mén)及第二閥門(mén),且第一支路和第二支路的第一閥門(mén)均設(shè)置于過(guò)濾網(wǎng)安裝部的前端,第二閥門(mén)均設(shè)置于過(guò)濾網(wǎng)安裝部的后端。需要說(shuō)明的是,上述“過(guò)濾網(wǎng)安裝部的前端”和“過(guò)濾網(wǎng)安裝部的后端”系指沿供水流方向,水流首先經(jīng)過(guò)的管路部分為前端,其次經(jīng)過(guò)的管路部分為后端。此外,過(guò)濾網(wǎng)通過(guò)過(guò)濾網(wǎng)安裝口插裝于過(guò)濾網(wǎng)安裝部,且過(guò)濾網(wǎng)安裝口設(shè)有密封蓋。如此設(shè)置,當(dāng)供水裝置處于正常供水狀態(tài)時(shí),第一支路(第二支路)的第一閥門(mén)和第二閥門(mén)只需保持導(dǎo)通狀態(tài)即可,而第二支路(第一支路)的第一閥門(mén)和第二閥門(mén)可保持截止?fàn)顟B(tài),進(jìn)而,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第一支路(第二支路)、供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。當(dāng)?shù)谝恢?第二支路)的過(guò)濾網(wǎng)需要清洗時(shí),只需打開(kāi)第二支路(第一支路) 的第一閥門(mén)和第二閥門(mén),同時(shí),關(guān)閉第一支路(第二支路)的第一閥門(mén)和第二閥門(mén),如此,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第二支路(第一支路)、供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。進(jìn)而,工作人員可對(duì)第一支路(第二支路)的過(guò)濾網(wǎng)拆下并進(jìn)行清洗,且冷卻水不會(huì)從其過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出,冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)的水也不會(huì)產(chǎn)生逆流從過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出。顯然,本實(shí)用新型提供的一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,可有效規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路示意圖;圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
中用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供的一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,可有效規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本領(lǐng)域人員可以理解的是,為了防止冷柜供水管路阻塞,工作人員需經(jīng)常將過(guò)濾網(wǎng)拆下進(jìn)行清洗?,F(xiàn)有技術(shù)中,在拆卸過(guò)濾網(wǎng)時(shí),需將供水管路上設(shè)置的濾網(wǎng)安裝部前端的閥門(mén)關(guān)閉,同時(shí),需使冷柜停止工作,以免使得冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)部的水產(chǎn)生逆流,進(jìn)而由濾網(wǎng)安裝口流出。鑒于此,本具體實(shí)施方式
提供了一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,可有效規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。請(qǐng)參考圖2,圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
中用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路示意圖。本具體實(shí)施方式
所提供的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,包括供水干路11、第一支路12及第二支路13,其中第一支路12和第二支路13通過(guò)并聯(lián)的方式連接于供水干路 11之間。需要說(shuō)明的是,上述第一支路12和第二支路13均具有過(guò)濾網(wǎng)安裝部14、第一閥門(mén) 15及第二閥門(mén)16,且第一支路12和第二支路13的第一閥門(mén)15均設(shè)置于過(guò)濾網(wǎng)安裝部14 的前端,第二閥門(mén)16均設(shè)置于過(guò)濾網(wǎng)安裝部14的后端。需要說(shuō)明的是,上述“過(guò)濾網(wǎng)安裝部14的前端”和“過(guò)濾網(wǎng)安裝部14的后端”系指沿供水流方向,水流首先經(jīng)過(guò)的管路部分為前端,其次經(jīng)過(guò)的管路部分為后端。此外,過(guò)濾網(wǎng)(圖中未示出)通過(guò)設(shè)置于過(guò)濾網(wǎng)安裝部14的過(guò)濾網(wǎng)安裝口插裝于過(guò)濾網(wǎng)安裝部14, 且過(guò)濾網(wǎng)安裝口設(shè)有密封蓋17。應(yīng)當(dāng)理解,待過(guò)濾網(wǎng)安裝于過(guò)濾網(wǎng)安裝部14之后,需將密封蓋17安裝于過(guò)濾網(wǎng)安裝口,以免冷卻水由過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出。如此設(shè)置,當(dāng)供水裝置處于正常供水狀態(tài)時(shí),第一支路12的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16只需保持導(dǎo)通狀態(tài)即可,而第二支路13的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16可保持截止?fàn)顟B(tài),進(jìn)而,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第一支路12、供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。當(dāng)?shù)谝恢?2的過(guò)濾網(wǎng)需要清洗時(shí),只需打開(kāi)第二支路13的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16,同時(shí),關(guān)閉第一支路12的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16,如此,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第二支路13、 供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。進(jìn)而,工作人員可對(duì)第一支路12的過(guò)濾網(wǎng)拆下并進(jìn)行清洗,且冷卻水不會(huì)從其過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出,冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)的水也不會(huì)產(chǎn)生逆流從過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出。當(dāng)然,當(dāng)供水裝置處于征程供水狀態(tài)時(shí),第二支路13的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16 也可保持導(dǎo)通狀態(tài),而第一支路12的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16可保持截止?fàn)顟B(tài),進(jìn)而,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第二支路13、供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。當(dāng)?shù)诙?3的過(guò)濾網(wǎng)需要清洗時(shí),只需打開(kāi)第一支路12的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16,同時(shí),關(guān)閉第二支路 13的第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16,如此,冷卻水可經(jīng)由供水干路、第一支路12、供水干路流至冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)。進(jìn)而,工作人員可對(duì)第二支路13的過(guò)濾網(wǎng)拆下并進(jìn)行清洗,且冷卻水不會(huì)從其過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出,冷柜的冷卻系統(tǒng)內(nèi)的水也不會(huì)產(chǎn)生逆流從過(guò)濾網(wǎng)安裝口流出ο顯然,本具體實(shí)施方式
所提供的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,可有效規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而使冷柜停止工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。本具體方式的優(yōu)選方案中,第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16可均為球閥,當(dāng)然,也可為其它類(lèi)型的閥門(mén),比如,碟閥、閘閥等。本具體實(shí)施方式
對(duì)第一閥門(mén)15和第二閥門(mén)16的具體類(lèi)型不作限定。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,其特征在于,包括供水干路、并列連接于所述供水干路之間的第一支路與和第二支路;所述第一支路與所述第二支路均設(shè)有具有過(guò)濾網(wǎng)安裝口的過(guò)濾網(wǎng)安裝部; 設(shè)于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部前端的第一閥門(mén); 設(shè)于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部后端的第二閥門(mén);通過(guò)所述過(guò)濾網(wǎng)安裝口插裝于所述過(guò)濾網(wǎng)安裝部的過(guò)濾網(wǎng),且所述過(guò)濾網(wǎng)安裝口設(shè)有S封蓋。
2.如權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,其特征在于,所述第一閥門(mén)為球閥。
3.如權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,其特征在于,所述第一閥門(mén)為碟閥。
4.如權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,其特征在于,所述第二閥門(mén)為碟閥。
5.如權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,其特征在于,所述第二閥門(mén)為球閥。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,包括供水干路、并列連接于供水干路之間的第一支路與和第二支路;第一支路與第二支路均設(shè)有具有過(guò)濾網(wǎng)安裝口的過(guò)濾網(wǎng)安裝部;設(shè)于過(guò)濾網(wǎng)安裝部前端的第一閥門(mén);設(shè)于過(guò)濾網(wǎng)安裝部后端的第二閥門(mén);通過(guò)過(guò)濾網(wǎng)安裝口插裝于過(guò)濾網(wǎng)安裝部的過(guò)濾網(wǎng),且過(guò)濾網(wǎng)安裝口設(shè)有密封蓋。如此設(shè)置,本實(shí)用新型公開(kāi)的一種用于硅片清洗的冷柜進(jìn)水管路,可有效規(guī)避因?qū)V網(wǎng)進(jìn)行拆卸清洗,而停止冷柜的工作,進(jìn)而造成冷柜生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。
文檔編號(hào)F16L55/07GK202192066SQ201120318678
公開(kāi)日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月29日
發(fā)明者華佳, 陳廣洲 申請(qǐng)人:浚鑫科技股份有限公司