專利名稱：一種真空鍍膜機(jī)的光柵閥控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種閥門控制裝置，更具體地說，涉及一種真空鍍膜機(jī)的光柵 閥控制裝置。
背景技術(shù)：
當(dāng)鍍膜室抽氣達(dá)到本底真空度后，在充入工作氣體(如氬)和反應(yīng)氣體(如氮、 氧和乙炔等)進(jìn)行鍍膜時(shí)，為了保證鍍膜工藝參數(shù)穩(wěn)定，特別是要保證鍍膜室內(nèi)氣氛穩(wěn) 定，離子鍍膜機(jī)的真空鍍室與抽氣管接口處一般都設(shè)有光柵閥，以約束平衡供氣流量與 抽氣速度的關(guān)系使鍍室穩(wěn)定在預(yù)定的爐壓范圍內(nèi)，目前使用的光柵閥多采用百葉窗形式 的閥板結(jié)構(gòu)或可轉(zhuǎn)動(dòng)的擋板形式，其功能以調(diào)節(jié)閥板或可轉(zhuǎn)動(dòng)擋板的開啟角來控制抽氣 管道的開閉程度，實(shí)現(xiàn)控制抽氣速率，穩(wěn)定鍍室內(nèi)氣體壓力?，F(xiàn)有調(diào)節(jié)光柵閥的閥板或 可轉(zhuǎn)動(dòng)擋板的開啟角度的裝置，一般是通過閥門的轉(zhuǎn)動(dòng)軸延伸至室外，再連接轉(zhuǎn)動(dòng)把手 或曲柄一拉桿或凸輪與限開關(guān)組合等機(jī)構(gòu)，以手動(dòng)，電動(dòng)或氣動(dòng)等牽引驅(qū)動(dòng)，來控制 光柵閥開啟角度。手動(dòng)控制多采用外設(shè)轉(zhuǎn)角刻度盤，手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄轉(zhuǎn)到相應(yīng)角度處以 銷-孔定位；電動(dòng)裝置是預(yù)先調(diào)好行程開關(guān)在相應(yīng)轉(zhuǎn)角位置上，由電機(jī)-減速箱系統(tǒng)帶動(dòng) 光柵閥轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，其軸上設(shè)有凸輪，轉(zhuǎn)動(dòng)到預(yù)置行程開關(guān)處定位；氣動(dòng)裝置以壓縮空氣 推動(dòng)氣缸活塞，再牽引拉桿-曲柄機(jī)構(gòu)，去轉(zhuǎn)動(dòng)光柵閥主軸。其拉桿上有螺紋、螺母， 可調(diào)整拉桿工作部分長(zhǎng)短，從而改變曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)角度實(shí)現(xiàn)定位。以上這些實(shí)質(zhì)上都是采用 機(jī)械式的定位或限位裝置，十分粗糙，往復(fù)空位大，誤差大。同時(shí)由于機(jī)械磨損或氣缸 壓力不足等因素影響，閥門轉(zhuǎn)角定位不準(zhǔn)確，重復(fù)性差，因而導(dǎo)致爐之爐之間工藝參數(shù) 不能準(zhǔn)確再現(xiàn)，致使鍍層質(zhì)量不一致或者顏色有差異。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種控制精度高，可以精確重復(fù)鍍膜工藝參數(shù)，以 保證鍍膜質(zhì)量，并且可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制光柵閥開啟角度的真空鍍膜機(jī)的光柵閥控制裝置。本實(shí)用新型的上述目的是通過如下的技術(shù)手段加以實(shí)現(xiàn)的一種真空鍍膜機(jī)的 光柵閥控制裝置，其特征在于它包括電氣控制系統(tǒng)、步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)，步進(jìn) 電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)均與電氣控制系統(tǒng)電氣連接，通過電氣控制系統(tǒng)控制步進(jìn)電機(jī)和光 電限位機(jī)構(gòu)動(dòng)作，所述步進(jìn)電機(jī)的電機(jī)軸通過連接軸與光柵閥的主軸相連接，所述光電 限位機(jī)構(gòu)由兩個(gè)光電感應(yīng)器和固定安裝在所述連接軸上的遮光盤構(gòu)成，所述遮光盤上開 有透光窄縫，所述的兩個(gè)光電感應(yīng)器以相互垂直方式分別固定安裝在真空設(shè)備上，兩個(gè) 光電感應(yīng)器均為U型感應(yīng)器，U型開口涵蓋遮光盤開有透光窄縫的盤體，其中，一個(gè)光 電感應(yīng)器處于水平安裝位置，其對(duì)應(yīng)于光柵閥完全打開的狀態(tài)，另一個(gè)感應(yīng)器處于豎直 安裝位置，其對(duì)應(yīng)于光柵閥完全關(guān)閉的狀態(tài)，所述光電感應(yīng)器的內(nèi)置紅外光源安裝在面 對(duì)遮光盤的一側(cè)，感應(yīng)件安裝在面對(duì)遮光盤的另一側(cè)，并且與所述光源位置相對(duì)。步進(jìn)電機(jī)可以在電氣控制系統(tǒng)的信號(hào)控制下轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)光柵閥的閥板轉(zhuǎn)動(dòng)，光電限位裝置可 以對(duì)步進(jìn)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的極限角度加以限制，從而對(duì)閥板的轉(zhuǎn)動(dòng)極限角度加以限制。所述電氣控制系統(tǒng)包括信號(hào)輸入裝置、直流電源、上位機(jī)、下位機(jī)和步進(jìn)電機(jī) 細(xì)分驅(qū)動(dòng)器，所述下位機(jī)為PLC，其中設(shè)有步進(jìn)電機(jī)控制模塊，所述信號(hào)輸入裝置與上 位機(jī)或者下位機(jī)電氣連接，所述直流電源與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器之間、上位機(jī)和下位機(jī) 之間、下位機(jī)與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器之間、下位機(jī)和所述光電感應(yīng)器之間、步進(jìn)電機(jī)細(xì) 分驅(qū)動(dòng)器和所述步進(jìn)電機(jī)之間分別電氣連接。信號(hào)輸入裝置輸入信號(hào)給上位機(jī)或下位 機(jī)，經(jīng)上位機(jī)或下位機(jī)運(yùn)算處理后發(fā)送信號(hào)給步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器，由步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū) 動(dòng)器驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)指定的角度。所述信號(hào)輸入裝置為可以數(shù)字顯示轉(zhuǎn)角的手動(dòng)操作面板，所述手動(dòng)操作面板與 所述下位機(jī)電氣連接。操作人員可以通過手動(dòng)操作面板輸入需要轉(zhuǎn)動(dòng)的閥板角度，然后 經(jīng)下位機(jī)運(yùn)算處理后發(fā)送信號(hào)給步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器。所述信號(hào)輸入裝置為觸摸屏，所述觸摸屏與所述上位機(jī)電氣連接。操作人員可 以通過觸摸屏輸入指令給上位機(jī)，然后經(jīng)上位機(jī)運(yùn)算處理后發(fā)送下行信號(hào)給下位機(jī)，再 有下位機(jī)發(fā)送信號(hào)給步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器。所述信號(hào)輸入裝置包括觸摸屏、質(zhì)量流量控制儀、真空度測(cè)量?jī)x、質(zhì)量流量控 制器和真空傳感控制器，所述觸摸屏與上位機(jī)、下位機(jī)與質(zhì)量流量控制儀、下位機(jī)與真 空度測(cè)量?jī)x、質(zhì)量流量控制儀和質(zhì)量流量控制器、真空度測(cè)量?jī)x與真空傳感控制器之間 分別電氣連接。在這種操作模式下，光柵閥的開閉角度不是預(yù)置的。先啟動(dòng)計(jì)算機(jī)控 制系統(tǒng)，鍍膜機(jī)運(yùn)行進(jìn)入計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制程序。除光柵閥驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)連接步進(jìn)電機(jī)控 制模塊外，供氣系統(tǒng)和真空測(cè)量系統(tǒng)都連接下位機(jī)相應(yīng)的控制模塊。在觸摸屏鍍膜工藝 參數(shù)欄內(nèi)預(yù)置時(shí)序和輸入氣體種類和流量值，再預(yù)置時(shí)序和爐內(nèi)真空度，光柵閥設(shè)定自 動(dòng)。鍍膜機(jī)運(yùn)行由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，按時(shí)序向爐內(nèi)輸入預(yù)定氣體和流量，實(shí)際是在恒定 供氣流量的條件下運(yùn)行，爐內(nèi)真空度受抽氣速度的變化而變化，而光柵閥門的開閉程度 是調(diào)節(jié)抽氣速度的方法。當(dāng)真空測(cè)量控制模塊接收到的真空測(cè)量?jī)x測(cè)量數(shù)值若與預(yù)置值 有差異，通知計(jì)算機(jī)對(duì)步進(jìn)電機(jī)控制模塊發(fā)出命令，輸出相應(yīng)的脈沖數(shù)到驅(qū)動(dòng)器，修正 光柵閥的開閉角，以調(diào)節(jié)抽節(jié)速，最終讓爐內(nèi)氣壓回復(fù)到預(yù)置值。這過程是全自動(dòng)化運(yùn) 行實(shí)現(xiàn)的。本實(shí)用新型的有益之處在于(1)閥門張角定位機(jī)構(gòu)采用步進(jìn)電機(jī)與光電限位 的組合機(jī)構(gòu)，由于這種定位機(jī)構(gòu)對(duì)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度的測(cè)量與定位是非接觸式的，沒有空 位和磨損等因素影響，所以非常精確且重復(fù)性好；(2)可以手動(dòng)或觸屏式自動(dòng)控制光柵 閥的開啟角度，以調(diào)節(jié)抽氣速度；(3)通過編程，預(yù)置供氣種類和流量，並設(shè)定爐內(nèi)氣 壓值，可通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)自動(dòng)控制光柵閥的開啟角來調(diào)節(jié)抽氣速率，實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)氣壓維持 預(yù)置的范圍內(nèi)。
以下結(jié)合
與具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。圖1為本實(shí)用新型光柵閥控制裝置用在真空設(shè)備中的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型光柵閥控制裝置中電氣控制系統(tǒng)的框圖；[0013]圖3為本實(shí)用新型光柵閥控制裝置的電氣控制系統(tǒng)一個(gè)結(jié)構(gòu)的框圖， 制系統(tǒng)以手動(dòng)操作面板為信號(hào)輸入裝置；圖4為本實(shí)用新型光柵閥控制裝置的電氣控制系統(tǒng)另一結(jié)構(gòu)的框圖， 制系統(tǒng)以觸摸屏為信號(hào)輸入裝置；圖5為本實(shí)用新型光柵閥控制裝置的電氣控制系統(tǒng)又一結(jié)構(gòu)的框圖， 制系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
具體實(shí)施方式
如圖1所示的光柵閥安裝在真空設(shè)備上，光柵閥是由多個(gè)通過活動(dòng)連桿彼此相 互連接的平行閥板構(gòu)成的百葉窗式結(jié)構(gòu)的節(jié)流閥，它包括光柵主軸4、從動(dòng)轉(zhuǎn)軸7、主動(dòng) 閥板5、連桿6和從動(dòng)閥板8，光柵閥主軸4通過密封座組件14橫向架設(shè)在真空室15的 側(cè)壁16上，端部通過軸承9支撐，主動(dòng)閥板5固定安裝在光柵閥主軸4上，并且在光柵 閥主軸4轉(zhuǎn)動(dòng)過程中同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述從動(dòng)轉(zhuǎn)軸7也橫向架設(shè)在真空室15的側(cè)壁16上，并 且位于光柵閥主軸4的下方(或上方)，所述的從動(dòng)閥板8套裝在從動(dòng)轉(zhuǎn)軸7上，從動(dòng)閥 板8與從動(dòng)轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動(dòng)而一起轉(zhuǎn)動(dòng)，所述連桿6豎向設(shè)置在主動(dòng)閥板5、和從動(dòng)閥板8之 間，其兩端分別與主動(dòng)閥板5和從動(dòng)閥板8固定相連。光柵閥的開閉過程如下光柵閥主軸4在外力作用下轉(zhuǎn)動(dòng)，如圖1中的主動(dòng)閥板 5和從動(dòng)閥板8均處于水平位置，對(duì)應(yīng)的光柵閥處于全打開狀態(tài)，光柵閥主軸4逆時(shí)針轉(zhuǎn) 動(dòng)時(shí)，主動(dòng)閥板5向上翻轉(zhuǎn)，通過連桿6帶動(dòng)從動(dòng)閥板8也向上翻轉(zhuǎn)，逐漸擋住抽氣口， 當(dāng)光柵閥主軸4逆時(shí)針轉(zhuǎn)至90度角，主動(dòng)閥板5和從動(dòng)閥板8均上翻至垂直位置，此時(shí) 光柵閥處于全關(guān)閉狀態(tài)。此后若要打開光柵閥只需順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)光柵閥主軸4即可。如圖1至圖3所示的本實(shí)用新型的具體實(shí)施例一，光柵閥是由多個(gè)通過活動(dòng)連桿 6彼此相互連接的平行閥板構(gòu)成的百葉窗式結(jié)構(gòu)的節(jié)流閥，所述真空鍍膜機(jī)的光柵閥控制 裝置，包括主動(dòng)轉(zhuǎn)軸4和從動(dòng)軸7，主動(dòng)轉(zhuǎn)軸4與光柵閥的主動(dòng)閥板5固定連接并可以驅(qū) 動(dòng)主動(dòng)閥板5轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)軸7與光柵閥的其余閥板8固定連接、可以隨閥板8轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn) 動(dòng)；所述光柵閥控制裝置還包括電氣控制系統(tǒng)、步進(jìn)電機(jī)1和光電限位機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電機(jī)1 和光電限位機(jī)構(gòu)均與電氣控制系統(tǒng)電氣連接，步進(jìn)電機(jī)1的電機(jī)軸2通過連接軸3與光柵 閥主軸4相連接，所述光電限位機(jī)構(gòu)由光電感應(yīng)器11、光電感應(yīng)器13和固定安裝在連接 軸3上的遮光盤10構(gòu)成，遮光盤10上刻有透光窄縫12，兩個(gè)光電感應(yīng)器都固定安裝在 光柵閥閥體安裝板上，其中光電感應(yīng)器11安裝在光柵閥完全張開即主動(dòng)閥板5處于水平 狀態(tài)時(shí)相應(yīng)的位置上，另一個(gè)光電感應(yīng)器13安裝在光柵閥完全閉合即主動(dòng)閥板5處于垂 直狀態(tài)時(shí)相應(yīng)的位置上，兩個(gè)光電感應(yīng)器的內(nèi)置紅外光源安置在面對(duì)遮光盤的一側(cè)，其 感應(yīng)件安置在與光源位置相對(duì)的面對(duì)遮光盤的另一側(cè)。所述電氣控制系統(tǒng)包括作為信號(hào) 輸入裝置的手動(dòng)操作面板21、直流電源22、上位機(jī)23、下位機(jī)24和步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng) 器25，下位機(jī)24為PLC，其中設(shè)有步進(jìn)電機(jī)控制模塊，手動(dòng)操作面板21與下位機(jī)電氣 連接，直流電源22與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器25之間、上位機(jī)23和下位機(jī)24之間、下位機(jī) 24與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器25之間、下位機(jī)24和光電感應(yīng)器12和光電感應(yīng)器13之間、步 進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器25和步進(jìn)電機(jī)之間分別電氣連接。手動(dòng)操作面板21上有“進(jìn)”按鈕和“退”按鈕和一個(gè)數(shù)字顯示器。它們分別
該電氣控 該電氣控 該電氣控與下位機(jī)24連接，在下位機(jī)24的PLC中進(jìn)行了相應(yīng)的編程，當(dāng)操作人員每按一下“進(jìn)” 按鈕，下位機(jī)24的步進(jìn)電機(jī)控制模塊輸出相應(yīng)數(shù)量脈沖至步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器25，驅(qū)動(dòng) 步進(jìn)電機(jī)使光柵閥逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)5度角，顯示器顯示出相應(yīng)的光柵閥實(shí)時(shí)關(guān)閉角度，每按 一下“退”按鈕，控制模塊輸出相應(yīng)數(shù)量脈沖至驅(qū)動(dòng)器，就可以使光柵閥順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)5 度角，顯示器也同時(shí)顯示實(shí)時(shí)光柵閥張啓角度。當(dāng)圖1中的主動(dòng)閥板5和閥板8均處于水平位置時(shí)，對(duì)應(yīng)光柵閥全打開狀態(tài)，此 時(shí)遮光盤10的透光窄縫12位于水平位置，即零度位置，光電感應(yīng)器11的內(nèi)置紅外線光 源發(fā)射的紅外線穿過透光窄縫12射到遮光盤10的另一側(cè)，被光電感應(yīng)器11的感應(yīng)接收 件接收。光電感應(yīng)器11發(fā)出信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)的步進(jìn)電機(jī)控制模塊，只允許電機(jī)1逆時(shí) 針轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)步進(jìn)電機(jī)1逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，主動(dòng)閥板5會(huì)向上翻轉(zhuǎn)，通過活動(dòng)連桿6帶動(dòng)閥 板8也向上翻轉(zhuǎn)，逐漸擋住抽氣口；當(dāng)步進(jìn)電機(jī)1牽動(dòng)主動(dòng)轉(zhuǎn)軸4逆時(shí)針轉(zhuǎn)90度角，主 動(dòng)閥板5和閥板8上翻至垂直位置，相應(yīng)光柵閥全關(guān)閉狀態(tài)，此時(shí)遮光盤10也逆時(shí)針轉(zhuǎn) 動(dòng)90度角，則透光窄縫12進(jìn)入光電感應(yīng)器13缺口感應(yīng)區(qū)，光電感應(yīng)器13的內(nèi)置紅外線 光源發(fā)射的紅外線穿過透光窄縫12射到遮光盤10另一側(cè)，被光電感應(yīng)器13的感應(yīng)接收 件接收，光電感應(yīng)器13將信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)的步進(jìn)電機(jī)控制模塊，只允許電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn) 動(dòng)；在光柵閥處于全關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，若步進(jìn)電機(jī)1順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)則光柵閥將會(huì)逐漸打開。由于透光窄縫和紅外光束都很細(xì)，測(cè)量又是非接觸式的，沒有空位和磨損等因 素影響，這種光電感應(yīng)限位裝置非常精確且重復(fù)性好。而通過PLC和細(xì)分控制，步進(jìn)電 機(jī)的轉(zhuǎn)角非常準(zhǔn)確，故可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵閥開啟和關(guān)閉角度的精確調(diào)節(jié)。如圖4所示，具體實(shí)施例二與實(shí)施例一的區(qū)別在于其信號(hào)輸入裝置為觸摸屏 26，觸摸屏26與上位機(jī)23電氣連接。操作時(shí)先啟動(dòng)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，鍍膜機(jī)運(yùn)行進(jìn)入 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制程序。在觸摸屏鍍膜工藝的光柵閥控制參數(shù)攔上預(yù)置時(shí)序和光柵閥 開啟角度參數(shù)，上位機(jī)23依據(jù)觸摸屏上輸入的指令，將發(fā)出下行命令，下位機(jī)24則按時(shí) 序逐項(xiàng)執(zhí)行，即自動(dòng)地按時(shí)序命令步機(jī)電機(jī)控制模塊輸出脈沖到驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電機(jī)按預(yù)置 角度轉(zhuǎn)動(dòng)，開閉光柵閥。如圖5所示，具體實(shí)施例三與具體實(shí)施例二的差別在于其信號(hào)輸入裝置包括觸 摸屏26、質(zhì)量流量控制儀27、真空度測(cè)量?jī)x29、質(zhì)量流量控制器28和真空傳感控制器 30，所述觸摸屏26與上位機(jī)23、下位機(jī)24與質(zhì)量流量控制儀27、下位機(jī)24與真空度測(cè) 量?jī)x27、質(zhì)量流量控制儀27和質(zhì)量流量控制器28、真空度測(cè)量?jī)x29與真空傳感控制器 30之間分別電氣連接。在這種操作模式下，光柵閥的開閉角度不是預(yù)置的。先啟動(dòng)計(jì)算 機(jī)控制系統(tǒng)，鍍膜機(jī)運(yùn)行進(jìn)入計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制程序。除光柵閥驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)連接步進(jìn)電 機(jī)控制模塊外，供氣系統(tǒng)和真空測(cè)量系統(tǒng)都連接下位機(jī)相應(yīng)的控制模塊。在觸摸屏鍍膜 工藝參數(shù)欄內(nèi)預(yù)置時(shí)序和輸入氣體種類和流量值，再預(yù)置時(shí)序和爐內(nèi)真空度，光柵閥設(shè) 定為自動(dòng)。鍍膜機(jī)運(yùn)行由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制，按時(shí)序向爐內(nèi)輸入預(yù)定氣體和流量，實(shí)際是 在恒定供氣流量的條件下運(yùn)行，爐內(nèi)真空度受抽氣速度的變化而變化，光柵閥門的開閉 程度是調(diào)節(jié)抽氣速度的方法。當(dāng)真空測(cè)量控制模塊接收到的真空測(cè)量?jī)x測(cè)量數(shù)值若與預(yù) 置值有差異，通知計(jì)算機(jī)對(duì)步進(jìn)電機(jī)控制模塊發(fā)出命令，輸出相應(yīng)的脈沖數(shù)到驅(qū)動(dòng)器， 修正光柵閥的開閉角，以調(diào)節(jié)抽速，最終讓爐內(nèi)氣壓回復(fù)到預(yù)置值。這過程是全自動(dòng)化 運(yùn)行實(shí)現(xiàn)的。[0024] 以上實(shí)施例是供理解本實(shí)用新型之用，并非是對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)領(lǐng)域 的普通技術(shù)人員，在權(quán)利要求所述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可以作出多種變化或變型，這 些變化或變型應(yīng)當(dāng)理解為仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種真空鍍膜機(jī)的光柵閥控制裝置，其特征在于它包括電氣控制系統(tǒng)、步進(jìn)電 機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)均與電氣控制系統(tǒng)電氣連接，通過電氣控 制系統(tǒng)控制步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)動(dòng)作，所述步進(jìn)電機(jī)的電機(jī)軸通過連接軸與光柵閥 的主軸相連接，所述光電限位機(jī)構(gòu)由兩個(gè)光電感應(yīng)器和固定安裝在所述連接軸上的遮光 盤構(gòu)成，所述遮光盤上開有透光窄縫，它隨連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述的兩個(gè)光電感應(yīng)器以相互 垂直方式安裝，分別對(duì)應(yīng)光柵閥全開和全閉狀態(tài)，兩個(gè)光電感應(yīng)器均為U型感應(yīng)器，U 型開口涵蓋遮光盤開有透光窄縫的盤體，其中，一個(gè)光電感應(yīng)器處于水平安裝位置，其 對(duì)應(yīng)于光柵閥完全打開的狀態(tài)，另一個(gè)感應(yīng)器處于豎直安裝位置，其對(duì)應(yīng)于光柵閥完全 關(guān)閉的狀態(tài)，所述光電感應(yīng)器的內(nèi)置紅外線光源安置在面對(duì)遮光盤的一側(cè)，感應(yīng)件安置 在面對(duì)遮光盤的另一側(cè)，并且與所述光源位置相對(duì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵閥控制裝置，其特征在于所述電氣控制系統(tǒng)包括信 號(hào)輸入裝置、直流電源、上位機(jī)、下位機(jī)和步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器，所述下位機(jī)為PLC， 其中設(shè)有步進(jìn)電機(jī)控制模塊，所述信號(hào)輸入裝置與上位機(jī)或者下位機(jī)電氣連接，所述直 流電源與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器之間、上位機(jī)和下位機(jī)之間、下位機(jī)與步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng) 器之間、下位機(jī)和所述光電感應(yīng)器之間、步進(jìn)電機(jī)細(xì)分驅(qū)動(dòng)器和所述步進(jìn)電機(jī)之間分別 電氣連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光柵閥控制裝置，其特征在于所述信號(hào)輸入裝置為可以 數(shù)字顯示轉(zhuǎn)角的手動(dòng)操作面板，所述手動(dòng)操作面板與所述下位機(jī)電氣連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光柵閥控制裝置，其特征在于所述信號(hào)輸入裝置為觸摸 屏，所述觸摸屏與所述上位機(jī)電氣連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光柵閥控制裝置，其特征在于所述信號(hào)輸入裝置包括觸 摸屏、質(zhì)量流量控制儀、真空度測(cè)量?jī)x、質(zhì)量流量控制器和真空傳感控制器，所述觸摸 屏與上位機(jī)、下位機(jī)與質(zhì)量流量控制儀、下位機(jī)與真空度測(cè)量?jī)x、質(zhì)量流量控制儀和質(zhì) 量流量控制器、真空度測(cè)量?jī)x與真空傳感控制器之間分別電氣連接。
專利摘要一種真空鍍膜機(jī)的光柵閥控制裝置，包括電氣控制系統(tǒng)、步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)均與電氣控制系統(tǒng)電氣連接，通過電氣控制系統(tǒng)控制步進(jìn)電機(jī)和光電限位機(jī)構(gòu)動(dòng)作，所述步進(jìn)電機(jī)的電機(jī)軸通過連接軸與光柵閥的主軸相連接，所述光電限位機(jī)構(gòu)由兩個(gè)光電感應(yīng)器和固定安裝在所述連接軸上的遮光盤構(gòu)成，所述遮光盤上開有透光窄縫，它隨連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述的兩個(gè)光電感應(yīng)器以相互垂直方式安裝，分別對(duì)應(yīng)光柵閥全開和全閉狀態(tài)。這種光柵閥控制裝置控制精度高，可以精確重復(fù)真空鍍膜工藝參數(shù)以保證鍍膜質(zhì)量，并且可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制光柵閥開啟角度。
文檔編號(hào)F16K31/04GK201801574SQ201020525409
公開日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月9日
發(fā)明者李志方, 李志榮, 李秋霞, 羅志明 申請(qǐng)人:東莞市匯成真空科技有限公司