專(zhuān)利名稱(chēng)：氣體閥門(mén)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體閥門(mén)，特別是涉及一種活塞式氣體閥門(mén)。
背景技術(shù)：
在日常生活或制造產(chǎn)業(yè)中，閥門(mén)的應(yīng)用非常廣泛。閥門(mén)可用以開(kāi)啟一通道，使得通道兩端的氣體或液體可相互流通；閥門(mén)也可用以封閉此通道，使得通道兩端的氣體或液體被隔絕。尤其是在半導(dǎo)體設(shè)備中，氣體閥門(mén)的應(yīng)用極為廣泛，氣體閥門(mén)可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備的反應(yīng)室與抽氣泵之間，用以開(kāi)啟或封閉反應(yīng)室與抽氣泵之間的通道，使得反應(yīng)室之間形成真空狀態(tài)或非真空狀態(tài)。
參照?qǐng)D1，其表示傳統(tǒng)的氣體閥門(mén)的示意圖。氣體閥門(mén)301裝設(shè)在一機(jī)臺(tái)101中，并連接一抽氣泵11和一反應(yīng)室12。氣體閥門(mén)301包括一殼體20和一密封組件40，殼體20具有一第一開(kāi)口21a、一第二開(kāi)口22a及一第三開(kāi)口23a，第一開(kāi)口21a設(shè)置于殼體20的一側(cè)壁21，并與抽氣泵11相通；第二開(kāi)口22a設(shè)置于殼體20的一底板22，并與反應(yīng)室12相通；第三開(kāi)口23a設(shè)置于殼體20的一頂板23，并與第二開(kāi)口22a的位置對(duì)應(yīng)。密封組件40包括一密封元件41和一滑動(dòng)桿42。密封元件41設(shè)置在殼體20的一內(nèi)部空間24，并與第二開(kāi)口22a相對(duì)應(yīng)，滑動(dòng)桿42的一端連接密封元件41，另一端穿越第三開(kāi)口23a并凸出在空間24之外，滑動(dòng)桿42帶動(dòng)密封元件41在空間24內(nèi)滑動(dòng)，使得密封元件41可密封或開(kāi)啟第二開(kāi)口22a。
同時(shí)參照?qǐng)D2和圖3，圖2表示圖1中當(dāng)密封元件滑動(dòng)至第二開(kāi)口處的示意圖。圖3表示圖2中滑動(dòng)桿的正?；瑒?dòng)方向和傾斜后的示意圖。傳統(tǒng)氣體閥門(mén)301在使用多次后常會(huì)造成滑動(dòng)桿42傾斜，如圖3所示，虛線為滑動(dòng)桿42在未傾斜時(shí)的正常位置，此時(shí)滑動(dòng)桿42與頂板23呈垂直狀態(tài)；實(shí)線為使用多次后產(chǎn)生傾斜的滑動(dòng)桿42，此時(shí)滑動(dòng)桿42的中心線方向L42與頂板23的法線方向N形成一夾角θ。因此當(dāng)傾斜的滑動(dòng)桿42帶動(dòng)密封元件41下降至第二開(kāi)口22a處時(shí)，密封元件41相對(duì)底板22傾斜，使得密封元件41不能順利密合第二開(kāi)口22a，如圖2所示。這一故障將使得機(jī)臺(tái)101不能正常運(yùn)作，生產(chǎn)線必須因此停止，在重新定位滑動(dòng)桿42使密封元件41可順利密合第二開(kāi)口22a后，生產(chǎn)線才能啟動(dòng)。這樣不僅造成維修人力的浪費(fèi)和維修時(shí)間成本的增加，也嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的就在于提供一種氣體閥門(mén)，利用滑動(dòng)桿及密封組件搭配夾持件的設(shè)計(jì)，使得氣體閥門(mén)在多次使用后，滑動(dòng)桿的中心線方向與頂板的法線方向仍可維持平行，由此可使滑動(dòng)桿順利密封第二開(kāi)口以維持機(jī)臺(tái)的正常運(yùn)作。這不僅減少了維修的人力和維修材料成本，還可維持良好的生產(chǎn)效率。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種氣體閥門(mén)，裝設(shè)在一機(jī)臺(tái)中，用以達(dá)成機(jī)臺(tái)的一真空狀態(tài)或一非真空狀態(tài)。氣體閥門(mén)包括一殼體及一密封組件。殼體具有一第一開(kāi)口、第二開(kāi)口及一第三開(kāi)口。第一開(kāi)口與一抽氣泵連通，第二開(kāi)口與一反應(yīng)室連通，第三開(kāi)口與第二開(kāi)口的位置對(duì)應(yīng)并貫穿殼體。密封組件組裝在殼體處，密封組件包括一密封元件、一滑動(dòng)桿及一夾持件。密封元件設(shè)置在殼體的一內(nèi)部空間中并與第二開(kāi)口相對(duì)應(yīng)。一滑動(dòng)桿的一端連接于密封元件，另一端穿越第三開(kāi)口并凸出于空間之外，滑動(dòng)桿帶動(dòng)密封元件在空間內(nèi)滑動(dòng)，使得密封元件可密封或開(kāi)啟第二開(kāi)口。夾持件設(shè)置在頂板上，用以?shī)A持滑動(dòng)桿，使得滑動(dòng)桿與頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
為使本發(fā)明的上述目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易于理解，下面特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。


圖1表示傳統(tǒng)的氣體閥門(mén)示意圖；圖2表示圖1中當(dāng)密封元件滑動(dòng)至第二開(kāi)口處的示意圖；圖3表示圖2中滑動(dòng)桿的正?；瑒?dòng)方向與傾斜后的示意圖；圖4表示依照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的氣體閥門(mén)示意圖；圖5表示圖4中當(dāng)密封元件滑動(dòng)至第二開(kāi)口處的示意圖；圖6表示圖5中夾持件與滑動(dòng)桿的示意圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D4，其表示依照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的氣體閥門(mén)示意圖。氣體閥門(mén)30包括一殼體20和一密封組件40。殼體20包括一側(cè)壁21、一底板22、一頂板23。密封組件40包括一密封元件41、一滑動(dòng)桿42及一夾持件44。側(cè)壁21具有一第一開(kāi)口21a，底板22連接于側(cè)壁21，底板22具有一第二開(kāi)口22a，頂板23具有一第三開(kāi)口23a，頂板23連接于側(cè)壁21。頂板23、側(cè)壁21及底板22形成一空間24。密封元件41與第二開(kāi)口22a相對(duì)應(yīng)設(shè)置?；瑒?dòng)桿42的一端連接于密封元件41，另一端穿越第三開(kāi)口23a并凸出于空間24之外，滑動(dòng)桿42帶動(dòng)密封元件41在空間24內(nèi)滑動(dòng)，使得密封元件41可密封或開(kāi)啟第二開(kāi)口22a。夾持件44設(shè)置在頂板23上，用以?shī)A持滑動(dòng)桿42，使得滑動(dòng)桿42與頂板23之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
參照?qǐng)D5，其表示圖4中當(dāng)密封元件滑動(dòng)至第二開(kāi)口處的示意圖。在本實(shí)施例中，滑動(dòng)桿42為一等直徑的圓柱體，當(dāng)滑動(dòng)桿42向上滑動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)密封元件41向上滑動(dòng)，此時(shí)密封元件41離開(kāi)第二開(kāi)口22a；當(dāng)滑動(dòng)桿42向下滑動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)密封元件41向下滑動(dòng)至第二開(kāi)口22a處。密封元件41滑動(dòng)至第二開(kāi)口22a處時(shí)，滑動(dòng)桿42由夾持件44與頂板23之間維持一預(yù)設(shè)的角度，使得密封元件可確實(shí)的密封第二開(kāi)口22a。
參照?qǐng)D6，其表示圖5中夾持件與滑動(dòng)桿的示意圖。夾持件44套接于滑動(dòng)桿42，并設(shè)置在頂板23上。夾持件44設(shè)置的方式有很多種，在本實(shí)施例中是借助二螺絲60將夾持件44鎖定在頂板23上。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，夾持件44的內(nèi)徑D44約等于滑動(dòng)桿42的直徑D42，且?jiàn)A持件44具有一定的厚度。通過(guò)夾持件44夾持滑動(dòng)桿42，滑動(dòng)桿42即使在多次使用后仍然不易傾斜，使得滑動(dòng)桿42的中心線方向L42與頂板23的法線方向N維持平行。由此當(dāng)滑動(dòng)桿42帶動(dòng)密封元件41滑動(dòng)至第二開(kāi)口22a處時(shí)，密封元件41可平行底板22，并確實(shí)密封第二開(kāi)口22a。另外，夾持件44是選用耐高溫、不易碎裂且不易變形的材料，例如是金屬銅或其合金。
氣體閥門(mén)30可應(yīng)用在二機(jī)構(gòu)之間的氣體通道，用以開(kāi)啟通道或關(guān)閉通道。在本實(shí)施例中，氣體閥門(mén)30是以應(yīng)用于一抽氣泵11及一半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的反應(yīng)室12之間的氣體閥門(mén)為例進(jìn)行說(shuō)明。第一開(kāi)口21a與抽氣泵11相通，第二開(kāi)口22a與反應(yīng)室12相通。在本實(shí)施例中抽氣泵11不斷進(jìn)行抽氣，當(dāng)?shù)诙_(kāi)口22a開(kāi)啟時(shí)，反應(yīng)室12將被抽至真空狀態(tài)。反之當(dāng)?shù)诙_(kāi)口22a封閉時(shí)，抽氣泵11不能對(duì)反應(yīng)室12抽氣，此時(shí)可在反應(yīng)室12注入外界氣體，使反應(yīng)室12回復(fù)到非真空狀態(tài)。
另外，密封組件40還可包括一彈性體43，在本實(shí)施例中彈性體43以一彈簧為例進(jìn)行說(shuō)明。彈性體43設(shè)置在滑動(dòng)桿42處，并位于頂板23與密封元件41之間。彈性體43用以提供一朝向第二開(kāi)口22a的彈力，使得密封元件41可緊密地密封第二開(kāi)口22a。
氣體閥門(mén)30還包括一電磁閥70和一進(jìn)氣口70a。進(jìn)氣口70a設(shè)置在頂板23處，電磁閥70則用以控制滑動(dòng)桿42下降或上升，使密封元件41可密封或開(kāi)啟第二開(kāi)口22a。利用電磁閥70控制滑動(dòng)桿42動(dòng)作的方式有兩種一種控制方式是當(dāng)電磁閥70開(kāi)啟進(jìn)氣口70a，并注入氮?dú)釴2時(shí)，將使滑動(dòng)桿42上升，反之當(dāng)電磁閥70停止注入氮?dú)釴2時(shí)將使滑動(dòng)桿42下降。另一種控制方式則是停止注入氮?dú)鈺r(shí)滑動(dòng)桿42上升，注入氮?dú)鈺r(shí)滑動(dòng)桿42則下降。當(dāng)然，具有普通技術(shù)知識(shí)的人員可理解，電磁閥70的實(shí)際動(dòng)作方式并不在本發(fā)明的限制范圍內(nèi)。
另外，根據(jù)以上實(shí)施例，雖然夾持件44是以一環(huán)狀體為例進(jìn)行說(shuō)明，但在實(shí)際應(yīng)用時(shí)夾持件44可以是任意形狀的物體，只要是能夾持滑動(dòng)桿42，使滑動(dòng)桿42在長(zhǎng)時(shí)間使用下其中心線方向L42仍可以與頂板23的法線方向N維持平行即可，這些都不脫離本發(fā)明的技術(shù)范圍。
雖然上述實(shí)施例的夾持件44以鎖定于頂板23為例進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明的夾持件44也可以與頂板23一體成型。只要是利用一結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得滑動(dòng)桿42在長(zhǎng)時(shí)間使用下其中心線方向L42仍可以與頂板23的法線方向N維持平行即可，這些都不脫離本發(fā)明的技術(shù)范圍。
本發(fā)明上述實(shí)施例所揭示的氣體閥門(mén)，其以滑動(dòng)桿及密封元件搭配夾持件的設(shè)計(jì)，使得氣體閥門(mén)在長(zhǎng)時(shí)間使用后，滑動(dòng)桿的中心線方向與頂板的法線方向仍可維持平行。由此可順利密封第二開(kāi)口維持機(jī)臺(tái)的正常運(yùn)作，這不但減少了維修的人力和維修材料的成本，還維持了良好的生產(chǎn)效率。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以?xún)?yōu)選實(shí)施例揭示，但其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍，可作出各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以后附的權(quán)利要求所界定。
權(quán)利要求
1.一種氣體閥門(mén)，裝設(shè)在一機(jī)臺(tái)中，用以達(dá)成所述機(jī)臺(tái)的一真空狀態(tài)或一非真空狀態(tài)，所述氣體閥門(mén)包括一殼體，具有；一第一開(kāi)口，與一抽氣泵連通；一第二開(kāi)口，與一反應(yīng)室連通；和一第三開(kāi)口，與所述第二開(kāi)口的位置對(duì)應(yīng)并貫穿所述殼體；以及一密封組件，組裝在所述殼體處，所述密封組件包括一密封元件，設(shè)置在所述殼體的一內(nèi)部空間中并與所述第二開(kāi)口相對(duì)應(yīng)；一滑動(dòng)桿，一端連接于所述密封元件，另一端穿越所述第三開(kāi)口并凸出于所述空間之外，所述滑動(dòng)桿帶動(dòng)所述密封元件在所述空間內(nèi)滑動(dòng)，使得所述密封元件可密封或開(kāi)啟所述第二開(kāi)口；以及一夾持件，設(shè)置在所述頂板上，用以?shī)A持所述滑動(dòng)桿，使得所述滑動(dòng)桿與所述頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中當(dāng)所述密封元件開(kāi)啟第二開(kāi)口時(shí)，反應(yīng)室內(nèi)的氣體自第二開(kāi)口經(jīng)由第一開(kāi)口以抽氣泵抽出至外界，使得反應(yīng)室內(nèi)形成真空狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述氣體閥門(mén)還具有一非真空閥，用以控制一通氣口，當(dāng)密封元件關(guān)閉第二開(kāi)口時(shí)且非真空閥開(kāi)啟通氣口時(shí)，外界的氣體自通氣口進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)，使得反應(yīng)室內(nèi)形成非真空狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述密封組件還包括一彈性體設(shè)置在滑動(dòng)桿處，該彈性體位于頂板與密封元件之間。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述滑動(dòng)桿為具有相同圓周直徑的圓柱體。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述夾持件具有一內(nèi)徑，該內(nèi)徑實(shí)質(zhì)上接近并略大于滑動(dòng)桿的直徑。
7.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述夾持件的材料為一耐高溫、不易碎裂且不易變形的材料。
8.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述夾持件的材料為一金屬銅或其合金。
9.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述夾持件以一螺絲鎖定在頂板上。
10.如權(quán)利要求1所述的氣體閥門(mén)，其中所述夾持件與頂板一體成型。
全文摘要
一種氣體閥門(mén)，用以裝設(shè)在一機(jī)臺(tái)中。氣體閥門(mén)包括一側(cè)壁、一底板、一頂板、一密封元件、一滑動(dòng)桿及一夾持件。側(cè)壁具有一第一開(kāi)口，底板連接于側(cè)壁，底板具有一第二開(kāi)口，頂板具有一第三開(kāi)口，頂板連接于側(cè)壁，頂板、側(cè)壁及底板形成一空間。密封元件與第二開(kāi)口相對(duì)應(yīng)設(shè)置?；瑒?dòng)桿的一端連接于密封元件，另一端穿越第三開(kāi)口并凸出于空間之外?；瑒?dòng)桿帶動(dòng)密封元件在空間內(nèi)滑動(dòng)，使得密封元件可密封或開(kāi)啟第二開(kāi)口。夾持件設(shè)置在頂板上，用以?shī)A持滑動(dòng)桿，使得滑動(dòng)桿與頂板之間維持一預(yù)設(shè)的角度。
文檔編號(hào)F16K1/32GK1948792SQ20051010862
公開(kāi)日2007年4月18日 申請(qǐng)日期2005年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月10日
發(fā)明者郝鴻虎, 曾國(guó)邦, 周志能 申請(qǐng)人:旺宏電子股份有限公司