一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅單晶直拉爐正常運(yùn)行期間，是從爐子上端通入氬氣，從爐子下端抽走硅料及摻雜劑在1500度高溫狀態(tài)下?lián)]發(fā)的廢氣，爐內(nèi)一直處于氬氣保護(hù)狀態(tài)，工作壓力穩(wěn)定在15Torr左右的真空狀態(tài)下，保護(hù)爐內(nèi)的石墨加熱器及各種石墨器件和硅料等不因接觸外界空氣而發(fā)生氧化。這一工作狀態(tài)，要靠真空栗聯(lián)系不斷的工作來保證該條件的實(shí)現(xiàn)，每一爐次處于連續(xù)的加熱狀態(tài)的時(shí)間要在平均要在60個(gè)小時(shí)左右，真空栗栗油里會(huì)滲入大量的揮發(fā)物，拉制2-3爐次后，真空栗栗油性能會(huì)明顯下降，變得粘稠，需要更換新的栗油保證下一爐次的正常生產(chǎn)，現(xiàn)在更換栗油是靠員工手動(dòng)將栗油從放油口放出，用小油桶接油，放完后將廢油提到廢油存放處倒入大的廢油桶內(nèi)，在此期間經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)不同程度的廢栗油泄漏和灑落，就需要員工用手去清理，栗油里面有很多有毒有害的物質(zhì)，并且有揮發(fā)性，不可避免的要對(duì)人體和環(huán)境造成傷害和污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)中真空栗的栗油需要人工進(jìn)行更換所導(dǎo)致的一系列問題，本實(shí)用新型提供了一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，將廢真空栗油封閉環(huán)境下抽出并集中輸送到大廢油桶內(nèi)，避免人為更換栗油過程中的各種泄漏和灑落風(fēng)險(xiǎn)，最大限度的降低換廢油過程對(duì)人體和環(huán)境的傷害和污染。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，包括氣動(dòng)隔膜栗、廢油桶和廢油收集管道，其中，廢油收集管道通過若干支管道分別與每個(gè)真空栗的放油口連接，并通過廢油輸送管道與氣動(dòng)隔膜栗的進(jìn)口連接，氣動(dòng)隔膜栗的出口通過排油管與廢油桶連接，在每條支管道上均設(shè)置有閥門I，在廢油輸送管道上設(shè)置閥門II，在排油管和氣動(dòng)隔膜栗的壓縮空氣管道上分別設(shè)置有控制閥。
[0005]所述真空栗的放油口與支管道之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內(nèi)層的鋼絲管嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。
[0006]所述廢油輸送管道與氣動(dòng)隔膜栗的進(jìn)口之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內(nèi)層的鋼絲管嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。
[0007]所述排油管與氣動(dòng)隔膜栗的出口之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內(nèi)層的鋼絲管嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。
[0008]所述廢油收集管道上設(shè)置有阻斷其與廢油輸送管道連通的控制閥。
[0009]有益效果:本實(shí)用新型通過采用氣動(dòng)隔膜栗、廢油收集管道和若干支管道，實(shí)現(xiàn)了利用氣動(dòng)隔膜栗將真空栗中的廢油自動(dòng)抽送到廢油桶內(nèi)儲(chǔ)存，避免人為更換栗油過程中的各種泄漏和灑落風(fēng)險(xiǎn)，最大限度的降低更換廢油過程對(duì)人體和環(huán)境的傷害、污染；同時(shí)，采用特殊的連接軟管進(jìn)行連接，能夠克服真空栗運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為連接軟管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖標(biāo)記:1、真空栗，2、廢油收集管道，3、支管道，4、閥門I，5、控制閥，6、閥門II，
7、廢油輸送管道，8、氣動(dòng)隔膜栗，9、排油管，10、廢油桶，11、壓縮空氣管道，12、連接軟管，1201、塑料軟管，1202、鋼絲管。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖所示，一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，包括氣動(dòng)隔膜栗8、廢油桶10和廢油收集管道2，其中，廢油收集管道2通過若干支管道3分別與每個(gè)真空栗I的放油口連接，并通過廢油輸送管道7與氣動(dòng)隔膜栗8的進(jìn)口連接，氣動(dòng)隔膜栗8的出口通過排油管9與廢油桶10連接，在每條支管道3上均設(shè)置有閥門I 4 (處于常閉狀態(tài))，在廢油輸送管道7上設(shè)置閥門II 6 (該閥門處于常開狀態(tài))，在排油管9和氣動(dòng)隔膜栗8的壓縮空氣管道11上分別設(shè)置有控制閥(處于常閉狀態(tài))。
[0014]以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)和優(yōu)化:
[0015]如，所述真空栗I的放油口與支管道3之間通過連接軟管12連接，該連接軟管12為外層的塑料軟管1201和內(nèi)層的鋼絲管1202嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗I運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌的鋼絲管1202還具有防止因內(nèi)部真空引起的塑料軟管1201變形的作用；
[0016]或者，所述廢油輸送管道7與氣動(dòng)隔膜栗8的進(jìn)口之間通過連接軟管12連接，該連接軟管12為外層的塑料軟管1201和內(nèi)層的鋼絲管1202嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗I運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌的鋼絲管1202還具有防止因內(nèi)部真空引起的塑料軟管1201變形的作用；
[0017]或者，所述排油管9與氣動(dòng)隔膜栗8的出口之間通過連接軟管12連接，該連接軟管12為外層的塑料軟管1201和內(nèi)層的鋼絲管1202嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)，能夠克服真空栗I運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌的鋼絲管1202還具有防止因內(nèi)部真空引起的塑料軟管1201變形的作用；
[0018]又如，所述廢油收集管道2上設(shè)置有阻斷其與廢油輸送管道7連通的控制閥5，該閥門處于常開狀態(tài)。
[0019]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的闡述:
[0020]根據(jù)本公司的現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際需求情況，選用QBY3-20PF型不銹鋼體氣動(dòng)隔膜栗8作為栗油抽取設(shè)備，該栗吸程高達(dá)5米，揚(yáng)程達(dá)50米，出口壓力3 0.8Mpa，流動(dòng)寬敞，通過性能好。抽送廢油、雜質(zhì)時(shí)，對(duì)栗磨損甚微；揚(yáng)程、流量可通過氣閥開度實(shí)現(xiàn)無級(jí)調(diào)節(jié)(氣壓調(diào)節(jié)在l-7bar之間)所輸送的介質(zhì)不會(huì)向外泄漏，所以抽送有毒、易揮發(fā)或腐蝕性介質(zhì)時(shí)，不會(huì)造成環(huán)境污染和危害人身安全；使用方便、工作可靠、開停只需簡(jiǎn)單地打開和關(guān)閉氣體閥門，可輸送較粘的液體(粘度在I萬厘泊以下)，完全能滿足現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況需要。用厚壁PVC管道作為廢油收集管道2、廢油輸送管道7、排油管9和支管道3，并按圖1所示的結(jié)構(gòu)和位置連接至每一臺(tái)真空栗I放油口位置。氣動(dòng)隔膜栗8的進(jìn)出口、真空栗I放油口和PVC管道之間用連接軟管12進(jìn)行連接，可克服真空栗I運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。當(dāng)某一臺(tái)真空栗I需要更換廢油時(shí)，先將氣動(dòng)隔膜栗8的壓縮空氣管道11上的控制閥打開1/4左右，讓氣動(dòng)隔膜栗8工作，然后將廢油輸送管道7上設(shè)置閥門II 6和排油管9上的控制閥打開，將該真空栗I對(duì)應(yīng)的支管道3上的閥門I 4打開，此時(shí)廢栗油開始源源不斷的被抽出，并送至廢油桶10，此時(shí)可根據(jù)流速適當(dāng)再次通過調(diào)整壓空進(jìn)氣量來調(diào)整氣動(dòng)隔膜栗8工作負(fù)荷，調(diào)整廢栗油流速到一個(gè)合適速度。當(dāng)該真空栗I的廢油收集完畢后，讓氣動(dòng)隔膜栗8再多運(yùn)轉(zhuǎn)1-2分鐘，將管道中的廢油盡可能多的送到廢油桶10里，然后關(guān)閉該真空栗I對(duì)應(yīng)的管道閥門，關(guān)閉廢油輸送管道7上設(shè)置閥門II 6和排油管9上的控制閥，并關(guān)閉氣動(dòng)隔膜栗8的壓縮空氣管道11上的控制閥，廢油收集過程結(jié)束。整個(gè)過程人體不直接接觸廢栗油，廢栗油在管道中封閉流動(dòng)，直接從真空栗I流動(dòng)到廢栗油桶10，加快了廢栗油的收集速度，因?yàn)橛胸?fù)壓效應(yīng)，能更多的從栗腔抽出廢栗油，廢栗油清除更徹底，延長(zhǎng)真空栗的使用壽命，避免手動(dòng)更換栗油過程中的各種泄漏和灑落風(fēng)險(xiǎn)，最大限度的降低換廢油過程對(duì)人體和環(huán)境的傷害和污染。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，其特征在于:包括氣動(dòng)隔膜栗(8)、廢油桶(10)和廢油收集管道(2)，其中，廢油收集管道(2)通過若干支管道(3)分別與每個(gè)真空栗(I)的放油口連接，并通過廢油輸送管道(7)與氣動(dòng)隔膜栗(8)的進(jìn)口連接，氣動(dòng)隔膜栗(8)的出口通過排油管(9)與廢油桶(10)連接，在每條支管道(3)上均設(shè)置有閥門I (4)，在廢油輸送管道(7)上設(shè)置閥門II (6)，在排油管(9)和氣動(dòng)隔膜栗(8)的壓縮空氣管道(11)上分別設(shè)置有控制閥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，其特征在于:所述真空栗(I)的放油口與支管道(3)之間通過連接軟管(12)連接，該連接軟管(12)為外層的塑料軟管(1201)和內(nèi)層的鋼絲管(1202)嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，其特征在于:所述廢油輸送管道(7)與氣動(dòng)隔膜栗(8)的進(jìn)口之間通過連接軟管(12)連接，該連接軟管(12)為外層的塑料軟管(1201)和內(nèi)層的鋼絲管(1202)嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，其特征在于:所述排油管(9 )與氣動(dòng)隔膜栗(8 )的出口之間通過連接軟管(12)連接，該連接軟管(12 )為外層的塑料軟管(1201)和內(nèi)層的鋼絲管(1202)嵌套而成的雙層結(jié)構(gòu)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐真空栗廢油收集系統(tǒng)，其特征在于:所述廢油收集管道(2 )上設(shè)置有阻斷其與廢油輸送管道(7 )連通的控制閥(5 )。
【專利摘要】一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)，包括氣動(dòng)隔膜泵、廢油桶和廢油收集管道，廢油收集管道通過若干支管道分別與每個(gè)真空泵的放油口連接，并通過廢油輸送管道與氣動(dòng)隔膜泵的進(jìn)口連接，氣動(dòng)隔膜泵的出口通過排油管與廢油桶連接。本實(shí)用新型通過采用氣動(dòng)隔膜泵、廢油收集管道和若干支管道，實(shí)現(xiàn)了利用氣動(dòng)隔膜泵將真空泵中的廢油自動(dòng)抽送到廢油桶內(nèi)儲(chǔ)存，避免人為更換泵油過程中的各種泄漏和灑落風(fēng)險(xiǎn)，最大限度的降低更換廢油過程對(duì)人體和環(huán)境的傷害、污染；同時(shí)，采用特殊的連接軟管進(jìn)行連接，能夠克服真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械震動(dòng)對(duì)管道的損壞，內(nèi)嵌鋼絲管還具有防止因內(nèi)部真空引起的軟管變形的作用。
【IPC分類】F04B39/00, C30B15/00
【公開號(hào)】CN204851592
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520609234
【發(fā)明人】張明亮, 趙險(xiǎn)峰, 王松濤, 司鵬輝
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日