真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具備可旋轉(zhuǎn)地配置于栗座上的轉(zhuǎn)子和將通過該轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)吸入的氣體排出的氣體流路的真空栗。
【背景技術(shù)】
[0002]—直以來，作為這種真空栗，已知例如專利文獻(xiàn)1所記載的復(fù)合分子栗。該文獻(xiàn)1的復(fù)合分子栗構(gòu)成為，通過轉(zhuǎn)子^、3a)的旋轉(zhuǎn)來從吸氣口(la)吸入氣體，將吸入的氣體從排氣口(lb)排出(參照該文獻(xiàn)1的段落0024的記載)。
[0003]另外，參照該文獻(xiàn)1的圖1和圖2，在該文獻(xiàn)1所記載的復(fù)合分子栗中，在如前所述地將吸入的氣體排出的氣體流路中，上游側(cè)氣體流路由多個旋轉(zhuǎn)葉片(2a)和固定葉片(2b)形成，下游側(cè)氣體流路由轉(zhuǎn)子(3a)和定子(7a)形成為螺紋槽形狀的流路。
[0004]而且，在該文獻(xiàn)1所記載的復(fù)合分子栗中，作為防止如前所述地以定子(7a)作為固定零件而形成的下游側(cè)氣體流路上的生成物的堆積的機構(gòu)，通過絕熱件(支撐體9a、9b、9c)來將定子(7a)絕熱，而且，利用來自轉(zhuǎn)子(3a)的放射所導(dǎo)致的熱和流動于下游側(cè)氣體流路的氣體的摩擦所導(dǎo)致的熱來加熱定子(7a)(參照該文獻(xiàn)1的段落0025和0026的記載)。
[0005]然而，在前述方式對定子(7a)的加熱中，由于利用來自轉(zhuǎn)子(3a)的放射所導(dǎo)致的熱和流動于下游側(cè)氣體流路的氣體的摩擦所導(dǎo)致的熱，因而隨著通過下游側(cè)氣體流路而排出的氣體的流量，加熱量變化，定子(7a)的溫度變動是不可避免的。特別地，在該氣體的流量小時，不能使定子(7a)的溫度升溫至既定的溫度，存在不能有效地抑制下游側(cè)氣體流路上的生成物的堆積這一問題點。
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本專利第3098140號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
本發(fā)明是為了解決前述問題點而作出的，其目的是，提供如下的真空栗:不受到排出的氣體的流量的影響，能夠只對出于防止生成物堆積的觀點而需要高溫化的排氣側(cè)氣體流路的固定零件集中地效率良好地穩(wěn)定地進(jìn)行加熱，能夠通過該加熱來防止排氣側(cè)氣體流路上的生成物的堆積，并且，能夠謀求栗排氣性能的提高。
[0008]用于解決課題的方案
為了達(dá)成前述目的，本發(fā)明的特征在于，在具備栗座、配置于所述栗座上的轉(zhuǎn)子、圍繞其軸心可旋轉(zhuǎn)地支撐并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動所述轉(zhuǎn)子的支撐和驅(qū)動機構(gòu)、以及將通過所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而吸入的氣體引導(dǎo)至排出口的氣體流路的真空栗中，具備將構(gòu)成所述氣體流路整體中的排氣側(cè)氣體流路的固定零件與除此以外的零件絕熱的絕熱機構(gòu)、和對通過所述絕熱機構(gòu)而絕熱的所述固定零件加熱的加熱機構(gòu)。
[0009]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述排氣側(cè)氣體流路是由所述轉(zhuǎn)子的外周面和與其對置的螺紋槽栗定子形成的螺紋槽狀的流路，所述固定零件是所述螺紋槽栗定子。
[0010]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述排氣側(cè)氣體流路是由配設(shè)于所述轉(zhuǎn)子的外周面的旋轉(zhuǎn)葉片和將由該旋轉(zhuǎn)葉片賦予朝向所述氣體流路的下游側(cè)的運動量的氣體分子向所述氣體流路的下游側(cè)引導(dǎo)的固定葉片形成的流路，所述固定零件是所述固定葉片。
[0011]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述加熱機構(gòu)成為如下的構(gòu)造:在所述固定零件設(shè)置有安裝部，在該安裝部埋入設(shè)置有加熱器，由此，該加熱器對所述固定零件加熱。
[0012]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述固定零件的所述安裝部設(shè)置有密封機構(gòu)，從而配設(shè)于大氣側(cè)。
[0013]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述絕熱機構(gòu)是通過絕熱空間和絕熱隔離物而將所述固定零件絕熱的構(gòu)造。
[0014]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述栗座成為如下的構(gòu)造:至少分割成上基座部和下基座部，通過緊固機構(gòu)將所分割的該上基座部和該下基座部接合，由此，所述上基座部和所述下基座部存在熱傳導(dǎo)。
[0015]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述絕熱空間是所述栗座與所述固定零件之間的間隙。
[0016]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，所述絕熱隔離物介于所述固定零件與位于其下部的所述栗座之間，而且將所述固定零件和所述栗座緊固，從而支撐所述固定零件。
[0017]在前述本發(fā)明中，也可以是其特征在于，在所述上基座部和下基座部的雙方或任一方，設(shè)置有冷卻機構(gòu)。
[0018]發(fā)明的效果
在本發(fā)明中，如前所述，作為真空栗的具體構(gòu)成，具備將構(gòu)成所述氣體流路整體中的排氣側(cè)氣體流路的固定零件與除此以外的零件絕熱的絕熱機構(gòu)、和利用熱傳導(dǎo)來對通過所述絕熱機構(gòu)而絕熱的所述固定零件直接加熱的加熱機構(gòu)，因而起到以下的作用效果(1) (2)。
[0019]作用效果(1)依據(jù)本發(fā)明，由于加熱機構(gòu)對固定零件加熱，因而那樣的加熱不受到排出的氣體的流量的影響。另外，由于成為加熱機構(gòu)的加熱對象的固定零件通過絕熱機構(gòu)而絕熱，因而能夠只對出于防止生成物堆積的觀點而需要高溫化的排氣側(cè)氣體流路的固定零件集中地效率良好地穩(wěn)定地加熱，以及能夠通過該加熱而防止排氣側(cè)氣體流路上的生成物的堆積。
[0020]作用效果(2)在本發(fā)明中，如前所述，由加熱機構(gòu)加熱的固定零件通過絕熱機構(gòu)而絕熱，因而除了該固定零件以外的零件不被該加熱機構(gòu)加熱。因此，能夠有效地防止欲防止加熱機構(gòu)的加熱所導(dǎo)致的高溫化和由此造成的強度下降的零件的高溫化和由此造成的該零件的強度下降，例如，在氣體流路整體中的吸氣側(cè)氣體流路由旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片構(gòu)成為排出氣體的流路的情況下，能夠有效地防止該旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片等零件的高溫化和由此造成的該零件的強度下降，能夠謀求栗排氣性能的提高。
【附圖說明】
[0021]圖1是示出作為本發(fā)明的第1實施方式的真空栗的一部分的栗截面圖。
[0022]圖2是關(guān)于作為本發(fā)明的第1實施方式的真空栗所產(chǎn)生的熱的傳導(dǎo)方式和冷卻管的設(shè)置場所等的說明圖。
[0023]圖3是圖2的真空栗P1中的溫度控制示例的說明圖。
[0024]圖4是圖2的真空栗P1中的溫度控制示例的說明圖。
[0025]圖5是圖2的真空栗P1中的溫度控制示例的說明圖。
[0026]圖6是圖3的溫度控制示例的實驗結(jié)果的說明圖。
[0027]圖7是圖4的溫度控制示例的實驗結(jié)果的說明圖。
[0028]圖8是圖5的溫度控制示例的實驗結(jié)果的說明圖。
[0029]圖9是示出作為本發(fā)明的第2實施方式的真空栗的一部分的栗截面圖。
[0030]圖10是示出作為本發(fā)明的第3實施方式的真空栗的一部分的栗截面圖。
【具體實施方式】
[0031 ] 以下，參照附圖，對用于實施本發(fā)明的最佳方式詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0032]<第1實施方式>
圖1是示出作為本發(fā)明的第1實施方式的真空栗的一部分的栗截面圖，該真空栗P1作為例如半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能電池板制造裝置中的處理室或其他密閉室的氣體排氣機構(gòu)等而利用。
[0033]在圖1的真空栗P1中，外裝殼1通過利用緊固機構(gòu)D1將筒狀的栗殼C和栗座B沿其筒軸方向一體地聯(lián)接而成為有底的圓筒形狀。
[0034]栗殼C的上端部側(cè)(圖1中的紙面上方)作為氣體吸氣口(省略圖示)而開口，另外，在栗座B設(shè)置有氣體排氣口 2。氣體吸氣口連接至例如半導(dǎo)體制造裝置的處理室等成為高真空的未圖示的密閉室，氣體排氣口 2與未圖示的輔助栗連通連接。
[0035]在栗殼C內(nèi)的中央部，設(shè)置有圓筒狀的定子列3。該定子列3豎立設(shè)置于栗座B上，在定子列3的外側(cè)，設(shè)置有轉(zhuǎn)子4，在定子列3的內(nèi)側(cè)，內(nèi)置有作為支撐轉(zhuǎn)子4的機構(gòu)的磁力軸承或作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該轉(zhuǎn)子4的機構(gòu)的驅(qū)動電動機等未圖示的各種電裝零件。由于磁力軸承和驅(qū)動電動機是眾所周知的，因而