真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空泵。詳細(xì)地說，涉及具備由鑄件制造、不需要精加工的固定翼的真空泵。
【背景技術(shù)】
[0002]在各種真空泵中，為實(shí)現(xiàn)高真空的環(huán)境而多被使用的有渦輪分子泵和螺紋槽式泵。作為通過使用渦輪分子泵或螺紋槽式泵等真空泵進(jìn)行排氣處理從而內(nèi)部保持真空的真空裝置，有半導(dǎo)體制造裝置用的容器、電子顯微鏡的測(cè)定室、表面分析裝置、微細(xì)加工裝置等。實(shí)現(xiàn)該高真空的環(huán)境的真空泵具備形成外裝體的殼體，所述外裝體具備吸氣口及排氣口。并且，在該殼體的內(nèi)部，收納有使該真空泵發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物。使該排氣功能得以發(fā)揮的構(gòu)造物大致由旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)和固定部(定子部)構(gòu)成，所述旋轉(zhuǎn)部被旋轉(zhuǎn)自如地軸支承，所述固定部被相對(duì)于殼體固定。在渦輪分子泵的情況下，旋轉(zhuǎn)部由旋轉(zhuǎn)軸及固定于該旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)體構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)體上多層地配設(shè)有被放射狀地設(shè)置的轉(zhuǎn)子翼(動(dòng)翼)。此外，在固定部上，相對(duì)于轉(zhuǎn)子翼交替地、多層地配設(shè)有定子翼(靜翼)。此外，設(shè)置有用于使旋轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)，在旋轉(zhuǎn)軸借助該馬達(dá)的運(yùn)轉(zhuǎn)而高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過轉(zhuǎn)子翼和定子翼的相互作用，氣體從吸氣口被吸進(jìn)，從排氣口被排出。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-74903號(hào)公報(bào)。
[0004]專利文獻(xiàn)2:日本特開2003-269364號(hào)公報(bào)。
[0005]專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-309245號(hào)公報(bào)。
[0006]在專利文獻(xiàn)I中，記載了在渦輪分子泵中通過壓鑄制作多個(gè)分割固定翼的技術(shù)。專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3記載了用于減少由鑄件等制作固定翼的情況下的加工影響的技術(shù)。與固定翼間隔件交替地堆疊的固定翼的高度位置被規(guī)定。特別是在通過壓鑄來制造固定翼的情況下，能得到高度方向的精度，但由于側(cè)面上產(chǎn)生的模具(鑄件的模具)的對(duì)合面的加工是必需的，所以需要實(shí)施切削加工。
[0007]近年來，以材料費(fèi)等制造費(fèi)的削減和加工費(fèi)用的削減為目的，如專利文獻(xiàn)I所記載的那樣，有通過壓鑄來制造真空泵(渦輪分子泵)的固定翼的情況。圖3、圖4及圖5是用于說明通過以往的壓鑄來制造的固定翼500的圖。如圖3所示，在用鑄件制造固定翼500的情況下，在具有相當(dāng)于固定翼500的外周的外緣510及內(nèi)緣520的上下表面α及側(cè)面β (虛線A內(nèi))等與其他部件接觸或相對(duì)的部分(表面)的部件上，為實(shí)現(xiàn)所規(guī)定的精度，車削或切削等加工(精加工)是必需的。詳細(xì)地說，如圖4所示，在通過以往的壓鑄來制造的情況下，為了從被用于壓鑄的模具中取出產(chǎn)品，設(shè)置傾斜角度為大約1° ~5°左右的拔模斜面γ，為了消除該角度使部件的側(cè)面β平整，有必要通過車削或切削等加工削去該拔模斜面γ的角度。拔模斜面γ被用壓力加工刀具100加工。在此，如圖4所示，在壓鑄的合模面200被設(shè)置于固定翼500的最上部(最上方表面)的情況下，在設(shè)置有拔模斜面γ的外緣510被用壓力加工刀具100加工時(shí)，如B部(圖4)所示，有在加工開始處產(chǎn)生裂痕的情況。另一方面，如圖5所不，在壓鑄的合模面200被設(shè)置于固定翼500的最下部(最下方表面)的情況下，在設(shè)置有拔模斜面γ的外緣510被用壓力加工刀具loo加工時(shí)(圖面上部)，如c部(圖面下部)所示，有在加工結(jié)束處產(chǎn)生塌邊(夂u)的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]因此，本發(fā)明目的是提供一種真空泵，所述真空泵具備由鑄件制造、不需要精加工的固定翼。
[0009]為達(dá)到上述目的，在技術(shù)方案I的本發(fā)明中，提供一種真空泵，具備外裝體、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)體、旋轉(zhuǎn)翼、固定翼和氣體移送機(jī)構(gòu)，所述外裝體形成有吸氣口和排氣口，所述旋轉(zhuǎn)軸被所述外裝體內(nèi)包且被旋轉(zhuǎn)自如地支承，所述旋轉(zhuǎn)體被固定于所述旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)翼被從所述旋轉(zhuǎn)體的外周面放射狀地配置，所述固定翼被配置于所述旋轉(zhuǎn)翼之間，所述氣體移送機(jī)構(gòu)借助所述旋轉(zhuǎn)翼和所述固定翼的相互作用將從所述吸氣口吸入的氣體向所述排氣口移送，所述固定翼被以下述方式制造:鑄造時(shí)的合模面位于該固定翼的所述吸氣口一側(cè)的面和所述排氣口一側(cè)的面之間。
[0010]在技術(shù)方案2的本發(fā)明中，提供一種真空泵，在技術(shù)方案I所述的真空泵中，其特征在于，所述固定翼的外周面的形狀通過修整壓力加工確定。
【附圖說明】
[0011]圖1是表示涉及本發(fā)明的渦輪分子泵的示意結(jié)構(gòu)例的圖。
[0012]圖2是用于說明涉及本發(fā)明的固定翼的合模面的圖。
[0013]圖3是用于說明涉及本發(fā)明的固定翼及現(xiàn)有技術(shù)的圖。
[0014]圖4是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖。
[0015]圖5是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]實(shí)施方式的概要
本發(fā)明的實(shí)施方式的真空泵構(gòu)成為，固定翼的2個(gè)模具的對(duì)合面(以后稱為合模面)的位置(部位)位于該固定翼的上端和下端之間，所述固定翼配設(shè)于該真空泵，所述2個(gè)模具在鑄造時(shí)使用。即，所述真空泵具備固定翼，所述固定翼以下述方式被制造:在真空泵中吸氣口一側(cè)設(shè)為上、排氣口一側(cè)設(shè)為下的情況下，鑄造時(shí)的合模面位于不是固定翼的上端(最上部.最上方表面)或下端(最下部.最下方表面)的部位，所述固定翼配設(shè)于真空泵。
[0017]實(shí)施方式的詳細(xì)說明
以下，參照?qǐng)D1、圖2及圖3對(duì)本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在本第I實(shí)施方式中，作為真空泵的一例，使用具備渦輪分子泵部(第2氣體移送機(jī)構(gòu))和螺紋槽式泵部(第I氣體移送機(jī)構(gòu))的所謂復(fù)合型的渦輪分子泵進(jìn)行說明。
[0018]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的渦輪分子泵I的示意結(jié)構(gòu)例的圖。另外，圖1表示渦輪分子泵I的軸線方向的剖視圖。形成渦輪分子泵I的外裝體的殼體2呈大致圓筒狀，與設(shè)置于殼體2的下部(排氣口 6 —側(cè))的基部3 —同構(gòu)成渦輪分子泵I的箱體。并且，該箱體內(nèi)部收納有作為使渦輪分子泵I發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物的氣體移送機(jī)構(gòu)。該氣體移送機(jī)構(gòu)大致由旋轉(zhuǎn)部和固定部構(gòu)成，所述旋轉(zhuǎn)部被旋轉(zhuǎn)自如地軸支承，所述固定部被相對(duì)于箱體固定。
[0019]在殼體2的端部上形成有用于將氣體向該渦輪分子泵I導(dǎo)入的吸氣口 4。此外，在殼體2的吸氣口 4 一側(cè)的端面上形成有向外周側(cè)伸出的凸緣部5。此外，在基部3上，形成有用于將氣體從該渦輪分子泵I排出的排氣口 6。
[0020]旋轉(zhuǎn)部由軸7、轉(zhuǎn)子8、旋轉(zhuǎn)翼9、筒型旋轉(zhuǎn)構(gòu)件10等構(gòu)成，所述軸7是轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)子8被配設(shè)于該軸7，轉(zhuǎn)子8上設(shè)置有多個(gè)旋轉(zhuǎn)翼9，所述筒型旋轉(zhuǎn)構(gòu)件10被設(shè)置于排氣口 6—側(cè)(螺紋槽式泵部)。另外，由軸7及轉(zhuǎn)子8構(gòu)成轉(zhuǎn)子部。各旋轉(zhuǎn)翼9由槳葉構(gòu)成，所述槳葉從垂直于軸7的軸線的平面傾斜規(guī)定的角度放射狀地從軸7伸出。此外，筒型旋轉(zhuǎn)構(gòu)件10由呈與轉(zhuǎn)子8的旋轉(zhuǎn)軸線同心的圓筒狀的圓筒構(gòu)件構(gòu)成。
[0021]在軸7的軸線方向中間，設(shè)置有用于使軸7高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)部20。進(jìn)而，在軸7的相對(duì)于馬達(dá)部20而言的吸氣口 4 一側(cè)及排氣口 6 —側(cè)，設(shè)置有用于在徑向上不接觸地支承(軸支承)軸7的徑向磁軸承裝置30、31，在軸7的下端，設(shè)置有用于在軸線方向上不接觸地支承軸7的軸向磁軸承裝置40。