本申請涉及分子泵測試，尤其涉及一種分子泵測試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、分子泵作為超高真空獲取設(shè)備，需要具備高效、穩(wěn)定、可靠的性能，因此需要通過分子泵測試系統(tǒng)對分子泵的真空度、抽速和壓縮比等性能參數(shù)進行測試，其中，分子泵測試系統(tǒng)通常由測試平臺、真空罩、連接法蘭、真空計等部件組成。

2、相關(guān)技術(shù)中，分子泵測試系統(tǒng)中的連接法蘭一端與真空罩連接，另一端與分子泵連接，且連接法蘭還通過螺栓與測試平臺的支撐板固定連接，由于在測試過程中分子泵接口尺寸經(jīng)常需要變動，因此導(dǎo)致需要對應(yīng)更換相應(yīng)的連接法蘭，當分子泵需要更換時，需要先拆卸與連接法蘭連接的真空罩以及真空罩上的各種真空測試儀器，這是由于真空測試儀器上帶有各種連接線路，如果不拆卸真空測試儀器，真空測試儀器連同真空罩一起移動，極易拉扯線路或者磕碰損傷真空測試儀器，當把真空罩從測試平臺上拆卸下來并放置到地面上后才可以拆卸連接法蘭，整個拆卸更換過程費時費力，更換較為復(fù)雜。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N分子泵測試系統(tǒng)，其解決了連接法蘭拆卸費時費力的問題，在分子泵和連接法蘭更換過程中無需拆卸真空罩及真空罩上的測試儀器，更換過程簡單高效，提高了更換效率。

2、為了達到上述目的，本申請采用的主要技術(shù)方案包括：

3、第一方面，本申請實施例提供一種分子泵測試系統(tǒng)，包括：

4、支撐件，支撐件包括支撐板和支撐架，沿第一方向，支撐板具有相對設(shè)置的第一安裝面和第二安裝面，第二安裝面與支撐架固定連接以共同限定出安裝空間，第一安裝面和第二安裝面間設(shè)有第一安裝孔，且第一安裝孔與安裝空間連通；

5、連接法蘭、分子泵和真空罩，真空罩包括連接的罩體和第一安裝部，第一安裝部沿罩體的徑向向外凸出且沿罩體的周向圍繞罩體，連接法蘭穿設(shè)于第一安裝孔且可拆卸地連接在第一安裝部與分子泵之間，其中，分子泵位于安裝空間，真空罩設(shè)于第一安裝面的一側(cè)，且連接法蘭相對支撐件可移動，以使連接法蘭適于與支撐板固定裝配，或者使得連接法蘭可選擇性地從第一安裝面的一側(cè)穿過第一安裝孔移動至安裝空間、或從安裝空間穿過第一安裝孔移動至第一安裝面的一側(cè)；

6、固定件，固定件固設(shè)于第一安裝面，固定件形成有第一避讓空間，罩體適于穿過第一避讓空間，固定件包括支撐部，沿第一方向，支撐部位于第一安裝部遠離支撐板的一側(cè)且與第一安裝部間隔開，第一安裝部具有第一螺紋孔，支撐部具有與第一螺紋孔對應(yīng)設(shè)置的通孔；

7、驅(qū)動螺栓，驅(qū)動螺栓穿過通孔并伸入第一螺紋孔，且支撐部與驅(qū)動螺栓的頭部抵接，以使第一螺紋孔與驅(qū)動螺栓通過螺接裝配驅(qū)動第一安裝部與連接法蘭分離。

8、本申請第一方面實施例提出的分子泵測試系統(tǒng)，在整個更換過程中連接法蘭可以從安裝空間側(cè)進行更換，無需拆卸真空罩及真空罩上的測試儀器，解決了連接法蘭拆卸費時費力的問題，更換過程簡單高效，提高了更換效率。

9、可選地，第一螺紋孔為多個，且多個第一螺紋孔沿第一安裝部的周向間隔布置。

10、可選地，固定件為多個，多個固定件沿真空罩的周向依次圍繞布置。

11、可選地，第一安裝孔的孔壁具有多個沿第一安裝孔的徑向向內(nèi)凸出第二安裝部，多個第二安裝部沿第一安裝孔的周向均勻間隔排布，多個第二安裝部共同限定出虛擬安裝孔，且任意相鄰兩個第二安裝部間均形成有第二避讓空間；

12、連接法蘭包括法蘭本體和多個第三安裝部，多個第二安裝部與多個第三安裝部一一對應(yīng)，每個第三安裝部均沿法蘭本體的徑向向外凸出，且多個第三安裝部沿法蘭本體的周向均勻間隔排布，

13、法蘭本體穿設(shè)于第一安裝孔且可拆卸地連接在第一安裝部和分子泵之間，法蘭本體的最大直徑小于虛擬安裝孔的直徑，連接法蘭沿軸向相對支撐板可轉(zhuǎn)動至第一位置或第二位置，在連接法蘭轉(zhuǎn)動至第一位置時，每個第三安裝部均與相應(yīng)的第二避讓空間相對，且每個第三安裝部適于沿第一方向穿過相應(yīng)的第二避讓空間，以使連接法蘭進入安裝空間，在連接法蘭轉(zhuǎn)動至第二位置時，沿第一方向，每個第三安裝部與相應(yīng)的第二安裝部相對，以使每個第三安裝部與相應(yīng)的第二安裝部固定連接。

14、可選地，還包括：第一密封件，連接法蘭具有沿連接法蘭的周向環(huán)繞的第一密封槽，且第一密封槽與第一安裝部相對設(shè)置，第一密封件設(shè)于第一密封槽內(nèi)。

15、可選地，還包括：第二密封件，連接法蘭還具有沿連接法蘭的周向環(huán)繞的第二密封槽，第一安裝部具有與第二密封槽相對設(shè)置的第三密封槽，第二密封槽與第三密封槽形成有密封空間，第二密封件設(shè)于密封空間內(nèi)。

16、可選地，還包括：真空計，真空計通過連接管路與罩體連通。

17、可選地，還包括：加強筋，加強筋固設(shè)于第二安裝面，且每個第二安裝部均對應(yīng)設(shè)有至少一個加強筋，每個加強筋的至少部分均與相應(yīng)的第二安裝部固定連接。

技術(shù)特征：

1.一種分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一螺紋孔為多個，且多個所述第一螺紋孔沿所述第一安裝部的周向間隔布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，所述固定件為多個，多個所述固定件沿所述真空罩的周向依次圍繞布置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一安裝孔的孔壁具有多個沿所述第一安裝孔的徑向向內(nèi)凸出第二安裝部，多個所述第二安裝部沿所述第一安裝孔的周向均勻間隔排布，多個所述第二安裝部共同限定出虛擬安裝孔，且任意相鄰兩個所述第二安裝部間均形成有第二避讓空間；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括：第一密封件，所述連接法蘭具有沿所述連接法蘭的周向環(huán)繞的第一密封槽，且所述第一密封槽與所述第一安裝部相對設(shè)置，所述第一密封件設(shè)于所述第一密封槽內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括：第二密封件，所述連接法蘭還具有沿所述連接法蘭的周向環(huán)繞的第二密封槽，所述第一安裝部具有與所述第二密封槽相對設(shè)置的第三密封槽，所述第二密封槽與所述第三密封槽形成有密封空間，所述第二密封件設(shè)于所述密封空間內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括：真空計，所述真空計通過連接管路與所述罩體連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的分子泵測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括：加強筋，所述加強筋固設(shè)于所述第二安裝面，

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及分子泵測試技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種分子泵測試系統(tǒng)，包括：支撐件、連接法蘭、分子泵、真空罩、固定件和驅(qū)動螺栓，支撐件具有連通的安裝空間和第一安裝孔，真空罩包括連接的罩體和第一安裝部，連接法蘭穿設(shè)于第一安裝孔且可拆卸地連接在第一安裝部與分子泵之間，連接法蘭可選擇性地從第一安裝面的一側(cè)穿過第一安裝孔移動至安裝空間、或從安裝空間穿過第一安裝孔移動至第一安裝面的一側(cè)，固定件固設(shè)于支撐件，固定件包括支撐部，第一安裝部具有第一螺紋孔，支撐部具有與第一螺紋孔對應(yīng)設(shè)置的通孔，驅(qū)動螺栓穿過通孔并伸入第一螺紋孔以驅(qū)動第一安裝部與連接法蘭分離。由此，在分子泵和連接法蘭更換過程中無需拆卸真空罩，更換過程簡單高效。

技術(shù)研發(fā)人員：張寅,王燦,董寶田
受保護的技術(shù)使用者：杭州昆泰磁懸浮技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9