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用于排氣螺桿的組合真空泵的制作方法

文檔序號(hào):11042554閱讀:813來(lái)源:國(guó)知局
用于排氣螺桿的組合真空泵的制造方法與工藝

本實(shí)用新型提供一種抽真空裝置,具體來(lái)說(shuō),涉及一種用于排氣螺桿的組合真空泵。



背景技術(shù):

目前真空泵基本上采用的是國(guó)產(chǎn)羅茨泵,密封性不好,造成了真空度不好。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處,本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于排氣螺桿的組合真空泵,以克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供了一種用于排氣螺桿的組合真空泵,所述用于排氣螺桿的組合真空泵包括支架、真空罐、第一真空泵和第二真空泵;其中,所述支架包括底板、側(cè)板和托架,所述側(cè)板和所述托架分別垂直設(shè)置在所述底板上的兩側(cè),所述托架設(shè)置有上下兩層,下層為托架的第一層,上層為托架的第二層;所述真空罐垂直設(shè)置在所述側(cè)板和所述托架之間的所述底板上,所述第一真空泵垂直設(shè)置在所述托架的第一層上,所述第二真空泵垂直設(shè)置在所述托架的第二層上;所述真空罐包括罐體、用于支撐所述罐體的罐腳和用于密封所述罐體的罐蓋,所述罐腳設(shè)置在所述罐體的底部,所述罐蓋蓋設(shè)在所述罐體的頂部,所述罐蓋上設(shè)置有用于保持所述真空罐密封性的空氣密閉閥和用于打開(kāi)所述罐蓋的手柄,所述空氣密閉閥通過(guò)所述固定裝置固定,所述罐體的側(cè)壁上部開(kāi)設(shè)有第一接口,所述罐體的側(cè)壁下部開(kāi)設(shè)有用于與螺桿排氣口連接的連接口,所述罐體的底部中央開(kāi)設(shè)有用于排污的排污口;所述第一真空泵上設(shè)置有第二接口,所述第二接口外接有第一管道,所述第一管道與所述第一接口連通;所述第二真空泵上設(shè)置有第三接口,所述第三接口外接有第二管道,所述第二管道與所述第一接口連通。

作為對(duì)本實(shí)用新型所述的用于排氣螺桿的組合真空泵的進(jìn)一步說(shuō)明,優(yōu)選地,所述第一真空泵和所述第二真空泵均為進(jìn)口羅茨泵。更優(yōu)選地,所述第一真空泵與所述第二真空泵并聯(lián)連接。

作為對(duì)本實(shí)用新型所述的用于排氣螺桿的組合真空泵的進(jìn)一步說(shuō)明,優(yōu)選地,所述側(cè)板的上部水平固設(shè)有一固定裝置,以固定空氣密閉閥。

由此可見(jiàn),本實(shí)用新型采用兩臺(tái)進(jìn)口羅茨泵并聯(lián),提高了泵的密封性,加大了真空罐,給生產(chǎn)提供足夠的空間,達(dá)到生產(chǎn)所需的真空度要求,也減少了清除雜質(zhì)的時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型提高了泵的密封性,增加了真空度,特別是給螺桿在生產(chǎn)時(shí)提供好的空間,生產(chǎn)出好的片材,減少了片材中的雜質(zhì)、晶點(diǎn)等。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的用于排氣螺桿的組合真空泵的整機(jī)結(jié)構(gòu)圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:

真空罐1、罐體11、第一接口111、連接口112、排污口113、罐腳12、罐蓋13、空氣密閉閥131、手柄132、第一真空泵2、第二接口21、第一管道22、第二真空泵3、第三接口31、第二管道32、底板D、側(cè)板C、固定裝置C1、托架T、托架的第一層T1、托架的第二層T2。

具體實(shí)施方式

為了使審查員能夠進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特征及其他目的,現(xiàn)結(jié)合所附較佳實(shí)施例附以附圖詳細(xì)說(shuō)明如下,本附圖所說(shuō)明的實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,并非限定本實(shí)用新型。

請(qǐng)參考圖1,圖1是本實(shí)用新型的用于排氣螺桿的組合真空泵的整機(jī)結(jié)構(gòu)圖。如圖1所示,本實(shí)用新型的一種用于排氣螺桿的組合真空泵,所述用于排氣螺桿的組合真空泵包括支架、真空罐1、第一真空泵2和第二真空泵3,第一真空泵2和第二真空泵3均為進(jìn)口羅茨泵,以提高泵的密封性;其中,所述支架包括底板D、側(cè)板C和托架T,側(cè)板C和托架T分別垂直設(shè)置在底板D上的兩側(cè),側(cè)板C的上部水平固設(shè)有一固定裝置C1,以固定空氣密閉閥131。托架T設(shè)置有上下兩層,下層為托架的第一層T1,上層為托架的第二層T2;真空罐1垂直設(shè)置在側(cè)板C和托架T之間的底板D上,第一真空泵2垂直設(shè)置在托架的第一層T1上,第二真空泵3垂直設(shè)置在托架的第二層T2上,以利于兩臺(tái)進(jìn)口羅茨泵的并聯(lián),減少了清除雜質(zhì)的時(shí)間;真空罐1包括罐體11、用于支撐罐體11的罐腳12和用于密封罐體11的罐蓋13,罐腳12設(shè)置在罐體11的底部,罐蓋13蓋設(shè)在罐體11的頂部,罐蓋13上設(shè)置有用于保持真空罐1密封性的空氣密閉閥131和用于打開(kāi)罐蓋13的手柄132,空氣密閉閥131通過(guò)固定裝置C1固定,罐體11的側(cè)壁上部開(kāi)設(shè)有第一接口111,罐體11的側(cè)壁下部開(kāi)設(shè)有用于與螺桿排氣口連接的連接口112,罐體11的底部中央開(kāi)設(shè)有用于排污的排污口113;第一真空泵2上設(shè)置有第二接口21,第二接口21外接有第一管道22,第一管道22與第一接口111連通;第二真空泵3上設(shè)置有第三接口31,第三接口31外接有第二管道32,第二管道22與第一接口111連通,以使第一真空泵2和第二真空泵3并聯(lián)在真空罐1上,共同對(duì)真空罐1抽真空。

由此可見(jiàn),本實(shí)用新型采用兩臺(tái)進(jìn)口羅茨泵并聯(lián),提高了泵的密封性,加大了真空罐,給生產(chǎn)提供足夠的空間,達(dá)到生產(chǎn)所需的真空度要求,也減少了清除雜質(zhì)的時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

因此,本實(shí)用新型提高了泵的密封性,增加了真空度,特別是給螺桿在生產(chǎn)時(shí)提供好的空間,生產(chǎn)出好的片材,減少了片材中的雜質(zhì)、晶點(diǎn)等。

需要聲明的是,上述實(shí)用新型內(nèi)容及具體實(shí)施方式意在證明本實(shí)用新型所提供技術(shù)方案的實(shí)際應(yīng)用,不應(yīng)解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)用新型的精神和原理內(nèi),當(dāng)可作各種修改、等同替換或改進(jìn)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以所附權(quán)利要求書(shū)為準(zhǔn)。

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