專利名稱:一種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及單晶爐液壓系統(tǒng)的安全開(kāi)啟與升降領(lǐng)域,尤其是一種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置。
背景技術(shù):
在生產(chǎn)太陽(yáng)能硅片的過(guò)程中,常使用直拉方式晶體生長(zhǎng)設(shè)備,該設(shè)備是在真空環(huán)境下,惰性氣體保護(hù)中,用石墨電阻加熱器,將硅半導(dǎo)體材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶,其中爐室結(jié)構(gòu)為頂開(kāi)式,主爐室和副爐室開(kāi)啟時(shí)由液壓傳動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)上移,上升到位后對(duì)稱旋出,液壓開(kāi)啟安全平穩(wěn),保證主機(jī)穩(wěn)定可靠。只有當(dāng)爐體內(nèi)為正常大氣壓時(shí),液壓泵 才允許開(kāi)啟。但是,現(xiàn)有技術(shù)缺少相應(yīng)的控制裝置,安全系數(shù)低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供ー種安全系數(shù)高的能夠自動(dòng)控制液壓泵只有在常壓狀態(tài)下才能啟動(dòng)的裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是一種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置,包括控制液壓泵電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的開(kāi)關(guān)電路;其特征在于所述開(kāi)關(guān)電路中串接有與爐體內(nèi)腔連通的電接點(diǎn)真空壓カ表。所述開(kāi)關(guān)電路包括繼電器;繼電器的觸點(diǎn)的一端與電源連接,其另一端與液壓泵電機(jī)的輸入端連接,所述電接點(diǎn)真空壓カ表的電接點(diǎn)輸出端與繼電器的線圈串聯(lián)。采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于當(dāng)爐體內(nèi)為正常大氣壓吋,電接點(diǎn)真空壓カ表觸點(diǎn)閉合,可順利開(kāi)啟液壓泵,打開(kāi)爐室;當(dāng)爐體內(nèi)為真空狀態(tài)時(shí),電接點(diǎn)真空壓力表觸點(diǎn)斷開(kāi),無(wú)論怎樣操作,液壓泵都不能開(kāi)啟,杜絕了在真空狀態(tài)下打開(kāi)液壓泵對(duì)爐室進(jìn)行上升、下降操作,從而提高了安全系數(shù)。
圖I是本實(shí)用新型的控制電路圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)的說(shuō)明。如圖I,ー種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置,包括控制液壓泵電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的開(kāi)關(guān)電路;所述開(kāi)關(guān)電路中串接有與爐體內(nèi)腔連通的電接點(diǎn)真空壓カ表。所述開(kāi)關(guān)電路包括繼電器;繼電器的觸點(diǎn)的一端與電源連接,其另一端與液壓泵電機(jī)的輸入端連接,所述電接點(diǎn)真空壓カ表的電接點(diǎn)輸出端與繼電器的線圈串聯(lián)。圖I中,kl為電接點(diǎn)壓カ表,當(dāng)真空狀態(tài)時(shí),壓カ表觸點(diǎn)斷開(kāi),繼電器jI不能吸合使液壓泵電機(jī)Ml無(wú)法啟動(dòng);當(dāng)壓カ表檢測(cè)到是常壓狀態(tài)時(shí),kl閉合,繼電器jl可以動(dòng)作,液壓泵電機(jī)Ml旋轉(zhuǎn),可以升降爐室。
權(quán)利要求1.ー種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置,包括控制液壓泵電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的開(kāi)關(guān)電路;其特征在于所述開(kāi)關(guān)電路中串接有與爐體內(nèi)腔連通的電接點(diǎn)真空壓カ表。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置,其特征在于所述開(kāi)關(guān)電路包括繼電器;繼電器的觸點(diǎn)的一端與電源連接,其另一端與液壓泵電機(jī)的輸入端連接,所述電接點(diǎn)真空壓カ表的電接點(diǎn)輸出端與繼電器的線圈串聯(lián)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)控制液壓泵啟動(dòng)的連鎖裝置,適用于單晶爐液壓系統(tǒng)的安全開(kāi)啟與升降領(lǐng)域,包括控制液壓泵電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的開(kāi)關(guān)電路;其特征在于所述開(kāi)關(guān)電路中串接有與爐體內(nèi)腔連通的電接點(diǎn)真空壓力表。當(dāng)爐體內(nèi)為真空狀態(tài)時(shí),電接點(diǎn)真空壓力表觸點(diǎn)斷開(kāi),無(wú)論怎樣操作,液壓泵都不能開(kāi)啟,杜絕了在真空狀態(tài)下打開(kāi)液壓泵對(duì)爐室進(jìn)行上升、下降操作,從而提高了安全系數(shù)。
文檔編號(hào)F04B49/06GK202468253SQ20112055741
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者馮立濤, 劉英江, 李廣哲, 楚世濤, 陶建濤 申請(qǐng)人:寧晉晶興電子材料有限公司, 晶龍實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司