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倒置安裝的分子泵的制作方法

文檔序號:5438248閱讀:338來源:國知局
專利名稱:倒置安裝的分子泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及分子泵軸承,具體是一種倒置安裝的分子泵。
技術(shù)背景分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械真空泵,其抽氣部份由多級渦輪動葉片 和凈葉片交錯組成,由于動、凈片之間的間隙小(以毫米計算),一旦有碎片(雜質(zhì))進(jìn)入就 會造成泵徹底損壞。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為克服上述缺點,提供一種倒置安裝的分子泵,以便倒置安 裝。 本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的 —種倒置安裝的分子泵,包括電機(jī)蓋、泵底蓋、軸承,其特征在于下軸承的外圈設(shè) 在電機(jī)蓋上,小軸承設(shè)在靠近泵底蓋的軸端。采用上、下兩端向心推力球軸承,安裝軸承時 其開口方向與原來相反。倒置安裝時,下軸承承受所有旋轉(zhuǎn)部分的重量,其下軸承的外圈安 裝在電機(jī)蓋上,有很好的支承剛度。上軸承安裝在靠近泵底蓋的軸端,由于軸承較小,所需 要的預(yù)負(fù)荷力也較小,對上軸承施加的預(yù)負(fù)荷力會傳遞到下軸承,因此相對減小了上、下軸 承的負(fù)載,有利于提高軸承的使用壽命。下軸承的預(yù)負(fù)荷由泵底蓋、壓縮彈簧來實現(xiàn)。 分子泵倒置安裝安全可靠,因此很多大型真空設(shè)備從工藝和安裝的角度及適用角 度都需要倒置安裝分子泵。泵口向下倒置安裝,軸承受力方向相反,上軸承不再承受旋轉(zhuǎn)部 分的重量,轉(zhuǎn)為由下軸承承擔(dān)。

圖是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、下軸承(向心推力球);2、電 機(jī)蓋;3、上軸承;4、泵底蓋;5、壓縮彈簧;6、主軸;7、多級渦輪;8、動片;9、凈片;10、泵抽氣□。
具體實施方式如圖說示,倒置安裝的分子泵,下軸承1的外圈設(shè)在電機(jī)蓋2上,上軸承3設(shè)在靠 近泵底蓋4的軸端。采用上、下兩端向心推力球軸承3、1,安裝軸承時其開口方向與原來相 反。倒置安裝時,下軸承l(wèi)承受所有旋轉(zhuǎn)部分的重量,其下軸承1的外圈安裝在電機(jī)蓋2上, 有很好的支承剛度。上軸承3安裝在靠近泵底蓋2的軸端,由于軸承較小,所需要的預(yù)負(fù)荷 力也較小,對上軸承3施加的預(yù)負(fù)荷力會傳遞到下軸承1,因此相對減小了上、下軸承3、1的 負(fù)載,有利于提高軸承的使用壽命。下軸承l(wèi)的預(yù)負(fù)荷由泵底蓋4、壓縮彈簧5來實現(xiàn)。主 軸6,多級渦輪7,動片8,凈片9,泵抽氣口 10均為本實用新型的零、部件。
權(quán)利要求一種倒置安裝的分子泵,包括電機(jī)蓋(2)、泵底蓋(4)、其特征在于下軸承(1)的外圈設(shè)在電機(jī)蓋(2)上,上軸承(3)設(shè)在靠近泵底蓋(4)的軸端。
專利摘要一種倒置安裝的分子泵,包括電機(jī)蓋、泵底蓋、軸承、下軸承的外圈設(shè)在電機(jī)蓋上,上軸承設(shè)在靠近泵底蓋的軸端。分子泵倒置安裝安全可靠,因此很多大型真空設(shè)備從工藝和安裝的角度及適用角度都需要倒置安裝分子泵。泵口向下倒置安裝,軸承受力方向相反,上軸承不再承受旋轉(zhuǎn)部分的重量,轉(zhuǎn)為由下軸承承擔(dān)。
文檔編號F04D19/04GK201496292SQ200920242420
公開日2010年6月2日 申請日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者羅進(jìn)軍, 葛明 申請人:成都無極真空科技有限公司
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