專利名稱：一種旋渦式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種旋渦式真空泵。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，人們己研制了多種類型的干泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器和電子工業(yè) 等真空應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域?，F(xiàn)有的直排大氣干泵根據(jù)機(jī)械結(jié)構(gòu)形式的不同，可以大致把干式真 空泵分為羅茨式、羅茨+爪式、螺桿式、渦旋式等。羅茨式以及羅茨+爪式組合式結(jié)構(gòu)使得 氣體通路長(zhǎng)而復(fù)雜，導(dǎo)致冷凝物的堆積和被化學(xué)氣體腐蝕的可能性大大增加。由于都是多級(jí) 設(shè)計(jì)，級(jí)與級(jí)之間又多采用密封，使得零部件較多，泄漏點(diǎn)較多，從而使得維修工作比較麻 煩。而且羅茨+爪式干泵外形尺寸較大，運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲也較大。螺桿式和渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子形狀特 殊，帶來(lái)加工、裝配、定位要求精度高，且加工必須用專機(jī)，廢品率高，不利于批量生產(chǎn)， 成本較高，人們一直在尋求能直排大氣的干式真空泵。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決以上裝置中存在的不足，本實(shí)用新型提供一種旋渦式真空泵，它采用旋渦加速 的原理，可以單獨(dú)使用，也可以作為干式真空泵機(jī)組中的前級(jí)泵使用。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種旋渦式真空泵，包括底座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子和定
子，轉(zhuǎn)子為多級(jí)轉(zhuǎn)子，多級(jí)轉(zhuǎn)子由多層單級(jí)轉(zhuǎn)子形成，單級(jí)轉(zhuǎn)子由三層圓盤疊加形成，轉(zhuǎn)子
外側(cè)有凸臺(tái)、進(jìn)氣道和排氣道；定子為多級(jí)定子，每一級(jí)定子內(nèi)側(cè)設(shè)有徑向葉片，每一級(jí)轉(zhuǎn) 子與對(duì)應(yīng)的一級(jí)定子組成一級(jí)抽氣壓縮單元；相鄰的兩個(gè)抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道。凸
臺(tái)位于單級(jí)轉(zhuǎn)子的第二層圓盤氣體壓縮終止處，凸臺(tái)作》氣流截止閥。進(jìn)氣道位于轉(zhuǎn)子圓周 外側(cè)，是由單級(jí)轉(zhuǎn)子的第一層圓盤和第二層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。排氣道位于 轉(zhuǎn)子圓周外側(cè)，由單級(jí)轉(zhuǎn)子的第二層圓盤和第三層圓盤之間凹下去一部分自然形成的，排氣 道作為上一級(jí)抽氣壓縮單元的排氣口和下一級(jí)抽氣壓縮單元的進(jìn)氣口，在一個(gè)抽氣壓縮單元 里，當(dāng)氣流到達(dá)截止閥時(shí)就會(huì)沿著排氣道進(jìn)入到下一個(gè)抽氣壓縮單元，直至最后排出。徑向 葉片成放射狀，徑向葉片高度與定子高度一致，徑向葉片個(gè)數(shù)至少為30個(gè)，徑向葉片橫截面 形狀為矩形或弓形，弓形的開(kāi)口方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。
本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種旋渦式真空泵，它采用旋渦加速的原理， 可以單獨(dú)使用，也可以作為干式真空泵機(jī)組中的前級(jí)泵使用。在相同體積的直排大氣的干式 真空泵中，它能達(dá)到更低的極限壓力；而在相同極限壓力的直排大氣干式真空泵中，該泵具有更小的體積、更輕的質(zhì)量。該泵氣體通路短，氣體可以快速排出，減少了冷凝物和微小顆 粒堆積的可能。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工，維修簡(jiǎn)單，同時(shí)該泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，故幾乎 無(wú)磨損，所以該泵振動(dòng)小，噪聲低。


圖1是本實(shí)用新型具有單級(jí)轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖2是單級(jí)轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖3是圖2的俯視圖4是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的定子結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是圖5的俯視圖7是本實(shí)用新型具有多級(jí)轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖中1壓蓋，2轉(zhuǎn)子，3定子，4電機(jī)軸，5上軸承，6電機(jī)定子，7電機(jī)轉(zhuǎn)子，8下 軸承，9底座，10底板，11進(jìn)氣道，12凸臺(tái)，13排氣道，14徑向葉片。
具體實(shí)施方式
如圖1、 2、 3所示，為本實(shí)用新型具有單級(jí)轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖及單級(jí)轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖， 包含有底座9，與底座9相連的電機(jī)轉(zhuǎn)子7，與電機(jī)軸4相連的轉(zhuǎn)子2，電機(jī)軸4上中心設(shè)有 吸油孔，吸油孔通入底座下部的潤(rùn)滑油池內(nèi)，電機(jī)軸4上設(shè)有出油處，出油處由多個(gè)出油孔 構(gòu)成，出油孔位于上軸承5、下軸承8附近，為上軸承5、下軸承8提供潤(rùn)滑油。轉(zhuǎn)子2為 單級(jí)轉(zhuǎn)子，單級(jí)轉(zhuǎn)子由三層圓盤組成一體，第一層圓盤與第三層圓盤直徑相似，與單級(jí)轉(zhuǎn)子 匹配的定子3為單級(jí)定子，單級(jí)轉(zhuǎn)子和單級(jí)定子構(gòu)成一級(jí)抽氣壓縮單元，單級(jí)轉(zhuǎn)子外側(cè)有與 定子3相匹配的凸臺(tái)12，定子3包圍在轉(zhuǎn)子2的外圓周，定子3內(nèi)側(cè)設(shè)有42個(gè)徑向葉片14， 徑向葉片14成放射狀，徑向葉片14橫截面形狀為矩形，轉(zhuǎn)子上方設(shè)有與定子3相連的壓蓋 1，壓蓋l上平面設(shè)有吸氣口，轉(zhuǎn)子2轉(zhuǎn)動(dòng)，氣體從吸氣口進(jìn)入，隨后進(jìn)入進(jìn)氣道ll，氣體 經(jīng)過(guò)旋轉(zhuǎn)的徑向葉片14時(shí)，可以加速氣流的運(yùn)動(dòng)，當(dāng)氣體到達(dá)截止閥時(shí)就會(huì)沿著排氣道13 排出，排氣道13與排氣口相連，排氣口位于底座9上，在此過(guò)程中氣流以旋渦形式流動(dòng)。
本實(shí)用新型的另一種實(shí)施例，如圖5、 6、 7所示，轉(zhuǎn)子2是五級(jí)，配合以五級(jí)定子3構(gòu) 成抽氣壓縮單元，轉(zhuǎn)子2轉(zhuǎn)動(dòng)，氣體從吸氣口吸入，氣體經(jīng)過(guò)旋轉(zhuǎn)的徑向葉片14時(shí)，可以加 速氣流的運(yùn)動(dòng)，.相鄰兩級(jí)抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道13，氣體以旋渦形式通過(guò)排氣道13 從上一級(jí)抽氣壓縮單元進(jìn)入下一級(jí)抽氣壓縮單元，經(jīng)過(guò)抽氣壓縮單元的多次壓縮從排氣口排 向大氣。
權(quán)利要求1.一種旋渦式真空泵，包括底座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子和定子，其特征在于所述的轉(zhuǎn)子為多級(jí)轉(zhuǎn)子，多級(jí)轉(zhuǎn)子由多層單級(jí)轉(zhuǎn)子形成，單級(jí)轉(zhuǎn)子由三層圓盤疊加形成，轉(zhuǎn)子外側(cè)有凸臺(tái)、進(jìn)氣道和排氣道；所述的定子為多級(jí)定子，每一級(jí)定子內(nèi)側(cè)設(shè)有徑向葉片，每一級(jí)轉(zhuǎn)子與對(duì)應(yīng)的一級(jí)定子組成一級(jí)抽氣壓縮單元；相鄰的兩個(gè)壓縮單元之間有排氣道。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的凸臺(tái)位于單級(jí)轉(zhuǎn)子的第二層 圓盤上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的進(jìn)氣道位于轉(zhuǎn)子圓周外側(cè)， 是由單級(jí)轉(zhuǎn)子的第一層圓盤和第二層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的排氣道位于轉(zhuǎn)子圓周外側(cè)， 是由單級(jí)轉(zhuǎn)子的第二層圓盤和第三層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的徑向葉片成放射狀，徑向葉 片高度與定子高度一致，徑向葉片個(gè)數(shù)至少為30個(gè)，徑向葉片橫截面形狀為矩形或弓形， 弓形的開(kāi)口方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。
專利摘要一種旋渦式真空泵，涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，包括底座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子和定子，轉(zhuǎn)子為多級(jí)轉(zhuǎn)子，多級(jí)轉(zhuǎn)子由多層單級(jí)轉(zhuǎn)子組成，單級(jí)轉(zhuǎn)子由三層圓盤疊加形成，轉(zhuǎn)子外側(cè)有凸臺(tái)、進(jìn)氣道和排氣道；定子為多級(jí)定子，每一級(jí)定子內(nèi)側(cè)設(shè)有徑向葉片，每一級(jí)轉(zhuǎn)子與對(duì)應(yīng)的一級(jí)定子組成一級(jí)抽氣壓縮單元；相鄰的兩個(gè)抽氣壓縮單元之間設(shè)有通氣道。該泵采用旋渦加速的原理，可以單獨(dú)使用，也可以作為干式真空泵機(jī)組中的前級(jí)泵使用，泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零部件少，易于加工，維修簡(jiǎn)單，同時(shí)該泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，故幾乎無(wú)磨損，所以該泵振動(dòng)小，噪聲低。
文檔編號(hào)F04D17/00GK201292958SQ20082021878
公開(kāi)日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月31日
發(fā)明者坤 劉, 巴德純, 常學(xué)森, 玉 肖 申請(qǐng)人:東北大學(xué);成都南光機(jī)器有限公司