專利名稱：一種真空油擴(kuò)散泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空油擴(kuò)散泵，尤其是涉及一種節(jié)能型的真空油擴(kuò)散泵。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，在真空燒結(jié)爐等設(shè)備中使用油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵大多采用電熱絲的加熱盤直接加熱，由于環(huán)境溫度的影響，
冷卻水溫度的變化，會(huì)出現(xiàn)加熱功率過大而影響擴(kuò)散泵的抽速。
在使用過程中解決這個(gè)問tt本依賴使用者的經(jīng)驗(yàn)，調(diào)節(jié)加熱器和
泵體之間的距離來控制加熱效果。在環(huán)境溫度比較高的情況下，還要采
用電扇外部冷卻泵體來改善擴(kuò)散泵的抽氣效果。采用以上手段，即麻煩，
又浪費(fèi)電能。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空油擴(kuò)散泵，其設(shè)有測溫裝置，可以使用熱電阻和溫控儀來實(shí)現(xiàn)測量擴(kuò)散泵內(nèi)擴(kuò)散泵油的溫度。
本實(shí)用新型的進(jìn)一步的目的在于提供一種真空油擴(kuò)散泵，其可控制擴(kuò)散泵加熱電源功率，能夠?qū)崿F(xiàn)隨著擴(kuò)散泵油溫度的變化而增大或者減小加熱器的加熱功率。
為此，本實(shí)用新型提供了一種真空油擴(kuò)散泵，包括被抽氣體的進(jìn)氣
口、對油蒸汽進(jìn)行加熱的加熱器、使油蒸汽#:加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括一測溫及其控制系統(tǒng)。
優(yōu)選地，所述測溫及其控制系統(tǒng)包括測溫?zé)犭娮?，該測溫?zé)犭娮栌商沾勺o(hù)管套裝，并由耐溫材料封閉密封。優(yōu)選地，所述測溫及其控制系統(tǒng)包括溫控儀，該溫控儀與可控硅模塊、擴(kuò)散泵加熱電熱絲、和測溫?zé)犭娮桦娺B接，可控硅模塊與擴(kuò)散泵加熱電熱絲電連接，擴(kuò)散泵加熱電熱絲與測溫?zé)犭娮桦娺B接。
根據(jù)本實(shí)用新型，可對擴(kuò)散泵油溫進(jìn)行測量，從而利用溫控儀及其控制電路來改變加熱功率，控制擴(kuò)散泵油溫，使擴(kuò)散泵達(dá)到最佳的工作狀態(tài)，更起到節(jié)能的目的。另外，可對加熱盤采取保溫措施，以降低加熱盤的實(shí)際使用功率。


圖l是根據(jù)本實(shí)用新型的擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的擴(kuò)散泵的控制電路示意圖。
具體實(shí)施方式

根據(jù)本實(shí)用新型的擴(kuò)散泵如圖l所示，包括進(jìn)氣口 1、泵芯2、出氣口 3、加熱器6、和一測溫接口。其中，油蒸汽4被加熱器6加熱后在泵芯2內(nèi)上升，從若干泵芯2的出口逸出后與從進(jìn)氣口 l進(jìn)入的被抽氣體5混合，最后通過出氣口3泵出。
特別是，可將測溫?zé)犭娮?用陶瓷護(hù)管套好裝入測溫接口，并使用耐溫材料封閉密封線路，以減少環(huán)境對測溫電阻的影響。
根據(jù)本實(shí)用新型的控制電路圖如圖2所示。其中，附圖標(biāo)記21表示三相380V進(jìn)線；附圖標(biāo)記22表示空氣開關(guān)；附圖標(biāo)記23表示接觸器；附圖標(biāo)記24表示可控硅模塊；附圖標(biāo)記25表示溫控儀；附圖標(biāo)記26表示擴(kuò)散泵加熱電熱絲；附圖標(biāo)記27表示測溫?zé)犭娮?；附圖標(biāo)記28表示指示燈。
本實(shí)用新型的工作原理如下
由溫控儀25設(shè)定好擴(kuò)散泵油的工作溫度(冬天和夏天根據(jù)水溫不同可以適當(dāng)調(diào)節(jié))，在擴(kuò)散泵開機(jī)時(shí)，接觸器23接受開機(jī)指令p及合，擴(kuò)散泵油溫在常溫，可控硅模塊24接受溫控儀25的控制電流，使通過可控硅模塊24的電流最大，擴(kuò)散泵加熱電熱絲26開始大功率地加熱擴(kuò)散泵油，測溫?zé)犭娮?7及時(shí)地將擴(kuò)散泵油溫反饋給溫控儀25。
當(dāng)擴(kuò)散泵油溫達(dá)到工作溫度時(shí)，溫控4義25接收到測溫?zé)犭娮?7的
反饋，從而使可控硅模塊24的控制電流發(fā)生變化，使流過可控硅模塊24
的電流減小，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散泵加熱電熱絲26的功率減小，實(shí)現(xiàn)保溫。
在擴(kuò)散泵油溫發(fā)生變化的時(shí)候，測溫?zé)犭娮?7實(shí)時(shí)地將當(dāng)前擴(kuò)散泵
油溫反饋給溫控儀25,而溫控儀25以控制電流增加或減小的方式改變
通過可控珪模塊24的電流，從而實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散泵加熱電熱絲26加熱功率的
改變，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散泵工作油溫的動(dòng)態(tài)平衡。
本實(shí)用新型利用控制電路閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散泵加熱電源功率和擴(kuò)散
泵油溫的控制。
在擴(kuò)散泵油溫達(dá)到工作值后，實(shí)現(xiàn)保溫狀態(tài)下的較小加熱功率，從 而可以合理地減少電能消耗。
由于本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散泵油的工作油溫可控，從而不需要外 部另加冷卻風(fēng)扇。
由于本實(shí)用新型對擴(kuò)散泵油溫和加熱功率進(jìn)行閉環(huán)控制，在擴(kuò)散泵 加熱電熱絲進(jìn)行維修后(電阻變小)，也可以維持加熱和保溫功率不變。
本實(shí)用新型從以上三個(gè)方面都可達(dá)到節(jié)能目的。
另外，本實(shí)用新型可以減少因更擴(kuò)散泵油使設(shè)備產(chǎn)生故障而停機(jī)的 時(shí)間。
權(quán)利要求1. 一種真空油擴(kuò)散泵，包括被抽氣體的進(jìn)氣口、對油蒸汽進(jìn)行加熱的加熱器、使油蒸汽被加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括測溫及其控制系統(tǒng)。
2. 如權(quán)利要求l所述的真空油擴(kuò)散泵，其特征在于，所述測溫及其 控制系統(tǒng)包括測溫?zé)犭娮?，該測溫?zé)犭娮栌商召Y護(hù)管套裝，并由耐溫材 料封閉密封。
3. 如權(quán)利要求l所述的真空油擴(kuò)散泵，其特征在于，所述測溫及其 控制系統(tǒng)包括溫控儀，該溫控儀與可控硅模塊、擴(kuò)散泵加熱電熱絲、和 測溫?zé)犭娮桦娺B接，可控硅模塊與擴(kuò)散泵加熱電熱絲電連接，擴(kuò)散泵加 熱電熱絲與測溫?zé)犭娮桦娺B接。
專利摘要一種真空油擴(kuò)散泵，包括被抽氣體的進(jìn)氣口、對油蒸汽進(jìn)行加熱的加熱器、使油蒸汽被加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括一測溫及其控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型可對擴(kuò)散泵油溫進(jìn)行測量，從而利用溫控儀及其控制電路來改變加熱功率，控制擴(kuò)散泵油溫，使擴(kuò)散泵達(dá)到最佳的工作狀態(tài)，更起到節(jié)能的目的。另外，可對加熱盤采取保溫措施，以降低加熱盤的實(shí)際使用功率。
文檔編號F04F9/00GK201265565SQ20082012262
公開日2009年7月1日 申請日期2008年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月19日
發(fā)明者蔚 張, 張杭海, 樊旗根 申請人:寧波科寧達(dá)工業(yè)有限公司;北京中科三環(huán)高技術(shù)股份有限公司