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全旋渦旋干式真空泵的制作方法

文檔序號:5459469閱讀:160來源:國知局
專利名稱:全旋渦旋干式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
全旋渦旋干式真空泵,屬于真空獲得設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)
渦旋體抽氣機理在上世紀的1905年即由美國人Cruex發(fā)明并申請專利,直到上世 紀80年代初期由于數(shù)控技術(shù)的發(fā)展才進入實用期,渦旋真空泵是一種結(jié)構(gòu)簡單、零部 件少的新型干式真空泵,工作壓力從101300Pa開始,氣體直接排入大氣,單臺極限壓 力可達到1Pa,因而是一種先進的真空泵。常規(guī)渦旋真空泵所具有的用來形成抽氣的兩 個渦旋盤, 一個固定不動為定盤,另一個反向偏心安裝可以擺動為動盤,動盤通過曲軸 驅(qū)動做擺動運動而不能有自轉(zhuǎn)運動,因此必需有防止自轉(zhuǎn)運動的十字滑塊機構(gòu)或者是至 少三對防轉(zhuǎn)小曲軸,而曲軸和十字滑塊的制造精度要求很高,限制了渦旋真空泵的發(fā)展 和應(yīng)用,而且由于存在防自轉(zhuǎn)機構(gòu),動盤的相對位置固定不變,加工出現(xiàn)誤差或者運行 中出現(xiàn)磨損的情況沒有補救措施,只能報廢渦旋體,不適于大批量生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種兩個渦旋盤可同步旋 轉(zhuǎn),制造精度要求低,結(jié)構(gòu)簡單,便于生產(chǎn)安裝的新型全旋渦旋干式真空泵。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該全旋渦旋干式真空泵,包括電機、 支架、泵體、渦旋盤、主動軸、從動軸、進、排氣口,電機通過支架與泵體相連,渦旋
盤安裝在泵體內(nèi),其特征在于在主、從動軸端部增設(shè)傳動機構(gòu),渦旋盤包括主動渦旋
盤和從動渦旋盤。
傳動機構(gòu)包括主、從動齒輪、主、從傳動齒輪、與主動軸平行的傳動軸,主動齒輪 安裝在主動軸左端,主動齒輪與主傳動齒輪嚙合,主、從傳動齒輪分別安裝在傳動軸兩 端,從傳動齒輪與從動齒輪嚙合,從動齒輪安裝在從動軸右端,主動渦旋盤安裝在主動 軸右端,從動渦旋盤安裝在從動軸左端。
從動軸為中空結(jié)構(gòu)。同時起到了排氣口的作用。
工作原理與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明全旋渦旋干式真空泵所具有的有益效果是由于兩個渦旋 盤都是繞自身軸線旋轉(zhuǎn),可以有良好的動平衡性能。加工中出現(xiàn)的誤差或者使用中有磨 損發(fā)生時,都可以通過調(diào)整其中一個渦旋盤的起始角度來彌補精度誤差和磨損間隙,滿 足使用要求。結(jié)構(gòu)簡單,安裝方便,改變了原有動、定盤設(shè)計,從而不再需要制造高精 度的曲軸和十字滑塊,降低了生產(chǎn)加工精度要求,便于大批量生產(chǎn)。


圖1是本發(fā)明全旋渦旋干式真空泵結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本發(fā)明驅(qū)動輪系原理圖3是本發(fā)明進氣排氣原理示意圖。
圖l-3是本發(fā)明全旋渦旋干式真空泵的最佳實施例。其中1、電機2、支架3、 主動齒輪4、泵體5、主動渦旋盤6、進氣口 7、從動渦旋盤8、從動齒輪9、 從動軸10、排氣口 11、主傳動齒輪12、傳動軸13、從傳動齒輪14、主動軸。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖l-3對本發(fā)明做進一步說明
參照附圖1-2:
本全旋渦旋干式真空泵由電機l、支架2、主動齒輪3、泵體4、主動渦旋盤5、進 氣口6、從動渦旋盤7、從動齒輪8、從動軸9、排氣口 10、主傳動齒輪ll、傳動軸12、 從傳動齒輪13、主動軸14組成。電機1通過支架2與泵體4相連,電機軸直接裝在主 動軸14內(nèi),主動渦旋盤5和從動渦旋盤7安裝在泵體4內(nèi)。在主、從動軸端部增設(shè)傳 動機構(gòu),傳動機構(gòu)包括主、從動齒輪3、 8、主、從傳動齒輪13、 11、與主動軸14平行 的傳動軸12,主動齒輪3安裝在主動軸14左端,主動齒輪3與主傳動齒輪13嚙合, 主、從傳動齒輪13、 11分別安裝在傳動軸12兩端,從傳動齒輪11與從動齒輪8嚙合, 從動齒輪8安裝在從動軸9右端,主動渦旋盤5安裝在主動軸14右端,從動渦旋盤7 安裝在從動軸9左端。
工作時,電機1驅(qū)動主動軸14帶動主動渦旋盤5旋轉(zhuǎn),主動齒輪3驅(qū)動主、從傳 動齒輪11和13,從傳動齒輪13驅(qū)動從動齒輪8驅(qū)動從動軸9帶動從動渦旋盤7旋轉(zhuǎn), 并與主動渦旋盤5保持同步,在從動渦旋盤7中心開設(shè)有排氣口 10,氣體經(jīng)進氣口 6 進入泵體4內(nèi),由排氣口 10通過中空的從動軸9排至排氣口 10排出泵體4外。
參照附圖2:
是本發(fā)明采用的驅(qū)動輪系原理圖。主動齒輪3和從傳動齒輪13的傳動比il為 il=- ( wl/co2) =-R/r 從傳動齒輪ll和從動齒輪8的傳動比i2為 i2=- ( co 2/co 3) =-r/R 所以w3=wlxilxi2=ojl
其中"1為主動齒輪3角速度,"2為中間從傳動齒輪13、 ll角速度,co3為從動齒輪 8角速度,R為主、從動齒輪3和8的半徑,r為中間從傳動齒輪ll、 13的半徑。 可以看出,主動齒輪3和從動齒輪8角速度相等,是同步旋轉(zhuǎn)的。
參照附圖3:
為主動和從動兩個渦旋盤5、 7在輪系驅(qū)動下旋轉(zhuǎn)時形成渦旋體的進氣和排氣的模 擬圖,全圖顯示了每個渦旋盤分別旋轉(zhuǎn)360。時的進氣排氣的過程,雙尾箭頭是氣體向 渦旋體內(nèi)運動示意。
當兩渦旋盤處于A位時,為兩渦旋盤的初始狀態(tài),當從此位開始同時旋轉(zhuǎn)時,兩渦 旋盤產(chǎn)生的兩渦旋體外邊沿逐漸分離,體積變大,氣體開始進入渦旋體內(nèi),從B位一直 到F位渦旋體外邊沿都是向外運動,從F位向G位轉(zhuǎn)化時渦旋體邊外沿開始向內(nèi)運動, 但渦旋體形成的空腔繼續(xù)在擴大,氣體繼續(xù)被吸入渦旋體,當從H位再旋轉(zhuǎn)到A位時, 形成了完整的封閉腔,吸氣過程結(jié)束,繼續(xù)從A位開始旋轉(zhuǎn),新的吸氣過程重新開始, 同時,前一個吸氣過程中被封閉的氣體繼續(xù)向渦旋體中心移動,經(jīng)過一定循環(huán)(與渦旋 體本身圈數(shù)有關(guān))后,氣體被壓縮到渦旋體中心,通過渦旋體中心的排氣孔排出泵外。
權(quán)利要求
1、全旋渦旋干式真空泵,包括電機(1)、支架(2)、泵體(4)、渦旋盤、主動軸(14)、從動軸(9)、進、排氣口(6、10),電機(1)通過支架(2)與泵體(4)相連,渦旋盤安裝在泵體(4)內(nèi),其特征在于在主、從動軸端部增設(shè)傳動機構(gòu),渦旋盤包括主動渦旋盤(5)和從動渦旋盤(7)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全旋渦旋干式真空泵,其特征在于傳動機構(gòu)包括主、 從動齒輪(3、 8)、主、從傳動齒輪(13、 11)、與主動軸(14)平行的傳動軸(12),主動齒 輪(3)安裝在主動軸(14)左端,主動齒輪(3)與主傳動齒輪(13)嚙合,主、從傳動齒輪(13、 11)分別安裝在傳動軸(12)兩端,從傳動齒輪(11)與從動齒輪(8)嚙合,從動齒輪(8)安 裝在從動軸(9)右端,主動渦旋盤(5)安裝在主動軸(14)右端,從動渦旋盤(7)安裝在從 動軸(9)左端。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全旋渦旋干式真空泵,其特征在于從動軸(9)為中空結(jié)構(gòu)。
全文摘要
全旋渦旋干式真空泵,屬于真空獲得設(shè)備領(lǐng)域。包括電機(1)、支架(2)、泵體(4)、渦旋盤、主動軸(14)、從動軸(9)、進、排氣口(6、10),電機(1)通過支架(2)與泵體(4)相連,渦旋盤安裝在泵體(4)內(nèi),其特征在于在主、從動軸端部增設(shè)傳動機構(gòu),渦旋盤包括主動渦旋盤(5)和從動渦旋盤(7)。由于兩個渦旋盤都是繞自身軸線旋轉(zhuǎn),可以有良好的動平衡性能。加工中出現(xiàn)的誤差或者使用中有磨損發(fā)生時,都可以通過調(diào)整其中一個渦旋盤的起始角度來彌補精度誤差和磨損間隙。結(jié)構(gòu)簡單,改變了原有動、定盤設(shè)計,不再需要制造高精度的曲軸和十字滑塊,降低生產(chǎn)加工精度要求,便于大批量生產(chǎn)。
文檔編號F04C18/063GK101463815SQ20081013952
公開日2009年6月24日 申請日期2008年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月18日
發(fā)明者林樂忠, 趙玉剛 申請人:淄博干式真空泵有限公司
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