專利名稱：一種用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及冷凝吸附泵，具體是指一種用于微型杜瓦的高真空獲得與維持的微型冷凝吸附泵。
背景技術(shù)：
在紅外焦平面探測器組件的制備過程中，為及時獲得探測器性能的狀況，往往需要在器件排氣封口前對其進(jìn)行測量，為了使器件能快速、簡便地獲得測量所需要的真空，而且又不會對器件測量工作造成任何機(jī)械與電磁干擾，應(yīng)用冷凝吸附可獲得與提高真空的原理，發(fā)明一個為紅外焦平面組件微型杜瓦所需要的高真空獲得與維持的微型冷凝吸附泵將是解決紅外焦平面組件制備過程中測量其性能的一個很好的途經(jīng)。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一個為紅外焦平面組件制備過程中測量其性能所需的微型冷凝吸附泵。
本實(shí)用新型的微型冷凝吸附泵，包含有由外殼體和內(nèi)膽構(gòu)成中間夾有真空夾層的杜瓦瓶，外殼體側(cè)面上部有二個抽氣口，分別通過二個二通鑰匙與微型杜瓦和真空泵聯(lián)接，內(nèi)膽內(nèi)腔里裝有液氮，在真空夾層中，有一套在內(nèi)膽外下部的內(nèi)裝有活性炭的炭罩，炭罩壁上開有多個用于吸附殘留氣體的小孔。
本實(shí)用新型的微型冷凝吸附泵的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，易于加工和裝配。重量輕，整個吸附泵包括二個二通鑰匙重量僅為567g。冷媒液氮可以儲存在保溫瓶中，攜帶方便。碳罩中使用的活性炭價格低廉，購買方便。該活性炭的吸附量足夠維持器件測量所需的真空。


圖1為本實(shí)用新型的冷凝吸附泵的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型的冷凝吸附泵的俯視圖。
具體實(shí)施方法見圖1，本實(shí)用新型的微型冷凝吸附泵，包含有由外殼體1和內(nèi)膽2構(gòu)成中間夾有真空夾層3的杜瓦瓶4，外殼體側(cè)面上部有二個抽氣口5，分別用于通過二個二通鑰匙與微型杜瓦和真空泵聯(lián)接，內(nèi)膽內(nèi)腔里裝有液氮6，在真空夾層中，有一套在內(nèi)膽外下部的內(nèi)裝有活性炭11的炭罩7，炭罩壁上開有多個用于吸附殘留氣體的小孔8。炭罩內(nèi)壁襯有防止活性炭從小孔散落的金屬網(wǎng)9。內(nèi)膽、外殼和兩個排氣口均采用亞弧焊聯(lián)接，在內(nèi)膽和外殼焊接之前先將裝有活性碳的碳罩通過鏍釘10固定在內(nèi)膽外底部，活性碳在使用前應(yīng)先清洗然后放在45℃烘箱中烘干后再裝在碳罩中。
使用時先打開二個二通鑰匙，用真空泵對微型杜瓦進(jìn)行抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到5*10-2Pa時，往內(nèi)膽中注入液氮，待內(nèi)膽中的液氮平穩(wěn)后，碳罩里的活性碳經(jīng)充分冷卻就可以發(fā)揮冷凝吸附的作用，此時關(guān)閉與真空泵聯(lián)接的二通鑰匙，利用冷凝吸附泵對微型杜瓦進(jìn)行抽氣，同時可進(jìn)行器件的測量工作。
使用中的注意事項(xiàng)冷凝吸附泵在平時不使用時最好對其抽真空保存，以保持活性炭的活性。操作中如果吸附泵中要進(jìn)入大氣，最好先通氮?dú)庖员Ｗo(hù)活性碳的活性。
參考有關(guān)資料活性炭在一個大氣壓、77k時對H2吸附氣體量為200ml/g，對N2、H2O、O2、He、Ne氣體均有較好的吸附效果，其總的吸氣量可達(dá)到380ml/g，本實(shí)用新型的吸附泵中活性碳的含量為47g，總的吸氣量可達(dá)到17L，對一個容積為90mL的微型杜瓦，該冷凝吸附泵的抽氣量足夠獲得和維持器件測量所需的真空。
權(quán)利要求1.一種用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵，包含有由外殼體(1)和內(nèi)膽(2)構(gòu)成中間夾有真空夾層(3)的杜瓦瓶(4)，其特征在于外殼體側(cè)面上部有二個分別用于通過二個二通鑰匙與微型杜瓦和真空泵聯(lián)接的抽氣口(5)，，內(nèi)膽內(nèi)腔里裝有液氮(6)，在真空夾層(3)中，有一套在內(nèi)膽外下部的內(nèi)裝有活性炭(11)的炭罩(7)，炭罩壁上開有多個用于吸附殘留氣體的小孔(8)，炭罩內(nèi)壁襯有防止活性炭從小孔散落的金屬網(wǎng)(9)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于微型杜瓦的微型冷凝吸附泵，包含有由外殼體和內(nèi)膽構(gòu)成中間夾有真空夾層的杜瓦瓶。外殼體側(cè)面上部有二個抽氣口，分別通過二個二通鑰匙與微型杜瓦和真空泵聯(lián)接，內(nèi)膽內(nèi)腔里裝有液氮，在真空夾層中，有一套在內(nèi)膽外下部的內(nèi)裝有活性炭的炭罩，炭罩壁上開有多個用于吸附殘留氣體的小孔。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，易于加工和裝配。重量輕，炭罩內(nèi)裝有的活性炭的吸附量足夠維持器件測量所需的真空。
文檔編號F04B37/02GK2739386SQ20042008269
公開日2005年11月9日 申請日期2004年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月9日
發(fā)明者張亞妮, 王小坤, 朱三根 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所