噴砂草酸陽(yáng)極工藝的制作方法
【專利摘要】一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，屬于草酸陽(yáng)極氧化工藝技術(shù)領(lǐng)域。具體步驟為：對(duì)鋁合金材料6061?T6/T651材料工件先進(jìn)行噴砂處理，后進(jìn)行草酸陽(yáng)極氧化處理，通過(guò)控制噴砂工藝，草酸陽(yáng)極氧化等。從而得到顏色均勻的氧化膜，此陽(yáng)極膜進(jìn)行5％的鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上，具有較高耐腐蝕性能，且顏色均勻，色差范圍滿足：60.0≥L≥55.0；0.4≥a≥?0.3；8.0≥b≥4.0，表面粗糙度均勻，可有效控制在110?140μin。本發(fā)明可有效提高工件的耐腐蝕性能的陽(yáng)極膜，耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上。
【專利說(shuō)明】
噴砂草酸陽(yáng)極工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于草酸陽(yáng)極技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，適用于IC裝配關(guān)鍵耐腐蝕性反應(yīng)腔體草酸陽(yáng)極工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]噴砂草酸陽(yáng)極氧化工藝，有其特別的重要性。噴砂草酸陽(yáng)極工藝由于其特殊性能在工業(yè)生產(chǎn)中有著廣泛的應(yīng)用，IC領(lǐng)域中對(duì)草酸陽(yáng)極工藝性能要求越來(lái)越高，尤其陽(yáng)極膜的耐腐蝕性能，色差，及表面粗糙度，其廣泛應(yīng)用于關(guān)鍵反應(yīng)腔體及其它關(guān)鍵零部件，開(kāi)發(fā)具有穩(wěn)定的噴砂草酸陽(yáng)極工藝，對(duì)提高設(shè)備性能及使用壽命有重要意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述存在的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，對(duì)鋁合金材料工件進(jìn)行硫酸陽(yáng)極氧化處理，通過(guò)控制陽(yáng)極過(guò)程中硫酸濃度，反應(yīng)溫度，及電流密度等。從而得到致密的氧化膜，此陽(yáng)極膜進(jìn)行5 %的鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到Sh以上，具有較高耐腐蝕性能。
[0004]本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，包括如下步驟:
[0006](I)將鋁合金材料工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra〈32yin，清洗干凈后，進(jìn)行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)；
[0007](2)對(duì)工件進(jìn)行噴砂處理；
[0008](3)對(duì)工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理:清洗工件表面，去除表面雜質(zhì)；
[0009](4)對(duì)工件進(jìn)行草酸陽(yáng)極氧化處理，要求膜厚25-30um;
[0010](5)將陽(yáng)極氧化處理后的工件進(jìn)行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)；
[0011 ] (6)使用5%wt的鹽酸溶液經(jīng)行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5 % wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上；
[0012](7)對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0 ;0.4彡a彡-0.3 ;8.0彡b
^4.00
[0013]進(jìn)一步地，所述步驟(2)的噴砂參數(shù):使用80#白剛玉，噴砂壓力40-60PSI，角度45°，噴嘴距離工件10_15cm，移動(dòng)速度2-3cm/秒，要求Ra為110-140μ?η。
[0014]進(jìn)一步地，所述步驟(3)的陽(yáng)極前處理:高壓水清洗工件表面，使用45_55g/L NaOH堿咬30-60s，水洗后使用50%硝酸洗2-5min，去除表面雜質(zhì)。
[0015]進(jìn)一步地，所述步驟(4)的草酸陽(yáng)極氧化處理:40-50g/L的草酸溶液，控制溫度為18-22°C，調(diào)整電流密度為l_2A/dm2，升流時(shí)間為5-10min，反應(yīng)時(shí)間為3-4h。
[0016]進(jìn)一步地，所述步驟(5)的將工件進(jìn)行封孔處理，將陽(yáng)極氧化處理后的工件放入92-98 0C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為2-3小時(shí)。
[0017]進(jìn)一步地，所述步驟(6)中使用5%鹽酸溶液進(jìn)行Bubble Test耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上。
[0018]進(jìn)一步地，對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0;0.4彡a彡-0.3;8.0 多b 多 4.0。
[0019]本發(fā)明的有益效果為:
[0020]1.本發(fā)明可有效提高工件的耐腐蝕性能的陽(yáng)極膜，使用5%wt的鹽酸溶液經(jīng)行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5%wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上。
[0021]2.本發(fā)明可得到顏色較為穩(wěn)定且均勻的表面，對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0 ;0.4彡a彡-0.3 ;8.0彡b彡4.0。
[0022]3.本發(fā)明可得到表面粗糙度較為均勻的陽(yáng)極膜表面Ra可達(dá)到110_140μ?η。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0024]實(shí)施例1:本發(fā)明一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，包括如下步驟:
[0025](I)將鋁合金材料工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra〈32yin，清洗干凈后，進(jìn)行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)；
[0026](2)對(duì)工件進(jìn)行噴砂處理；
[0027](3)對(duì)工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理:清洗工件表面，去除表面雜質(zhì)；
[0028](4)對(duì)工件進(jìn)行草酸陽(yáng)極氧化處理，要求膜厚25_30um;
[0029](5)將陽(yáng)極氧化處理后的工件進(jìn)行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)；
[0030](6)使用5 %wt的鹽酸溶液經(jīng)行BubbIe Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5 % wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上；
[0031](7)對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0 ;0.4彡a彡-0.3 ;8.0彡b
^4.00
[0032]本例中:
[0033]所述步驟(I)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì):是使用高壓水清洗工件表面，使用50g/L NaOH堿咬40s，水洗后使用50%硝酸洗4min，去除表面雜質(zhì)。
[0034]所述步驟(2)中噴砂參數(shù):使用80#白剛玉，噴砂壓力50PSI，角度45°，噴嘴距離工件12cm，移動(dòng)速度3cm/秒，要求Ra為130μ?η。
[0035]所述步驟(4)的草酸陽(yáng)極氧化處理:40_50g/L的草酸溶液，控制溫度為20°C，調(diào)整電流密度為1.5A/dm2，升流時(shí)間為8min，反應(yīng)時(shí)間為3.5h。
[0036]所述步驟(5)的將工件進(jìn)行封孔處理，將陽(yáng)極氧化處理后的工件放入95°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為2.5小時(shí)。
[0037]所述步驟(6)中使用5%鹽酸溶液進(jìn)行Bubble Test耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h。
[0038]所述步驟(7)中對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0 ;0.4彡a彡_0.3；8.0^b^4.0o
[0039 ]實(shí)施例2:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中
[0040]所述步驟(I)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)，使用45g/L NaOH堿咬30s，水洗后使用50%硝酸洗2min，去除表面雜質(zhì)。
[0041 ] 所述步驟(2)中噴砂參數(shù):使用80#白剛玉，噴砂壓力40PSI，角度45°，噴嘴距離工件10cm，移動(dòng)速度2cm/秒，要求Ra為11Oyin。
[0042]所述步驟(4)的草酸陽(yáng)極氧化處理:40g/L的草酸溶液，控制溫度為18°C，調(diào)整電流密度為lA/dm2，升流時(shí)間為5min，反應(yīng)時(shí)間為3h。
[0043]所述步驟(5)的將工件進(jìn)行封孔處理，將陽(yáng)極氧化處理后的工件放入92°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為2小時(shí)。
[0044]所述步驟(6)中使用5%鹽酸溶液進(jìn)行Bubble Test耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到5h。
[0045]實(shí)施例3:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中
[0046]所述步驟(I)中的水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì):是使用高壓水清洗工件表面，使用55g/L NaOH堿咬60s，水洗后使用50%硝酸洗5min，去除表面雜質(zhì)。
[0047]所述步驟(2)中噴砂參數(shù):使用80#白剛玉，噴砂壓力60PSI，角度45°，噴嘴距離工件15cm，移動(dòng)速度3cm/秒，要求Ra為140μ?η。
[0048]所述步驟(4)的草酸陽(yáng)極氧化處理:50g/L的草酸溶液，控制溫度為22°C，調(diào)整電流密度為2A/dm2，升流時(shí)間為lOmin，反應(yīng)時(shí)間為4h。
[0049]所述步驟(5)的將工件進(jìn)行封孔處理，將陽(yáng)極氧化處理后的工件放入98°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為3小時(shí)。
[0050]所述步驟(6)中使用5%鹽酸溶液進(jìn)行Bubble Test耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4.5h。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:包括如下步驟: (1)將鋁合金材料工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra〈32yin，清洗干凈后，進(jìn)行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)； (2)對(duì)工件進(jìn)行噴砂處理； (3)對(duì)工件進(jìn)行陽(yáng)極前處理:清洗工件表面，去除表面雜質(zhì)； (4)對(duì)工件進(jìn)行草酸陽(yáng)極氧化處理，要求膜厚25-30um; (5)將陽(yáng)極氧化處理后的工件進(jìn)行封孔處理，然后，使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)； (6)使用5%Wt的鹽酸溶液經(jīng)行BubbIeTestJP將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5 鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽(yáng)極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上； (7)對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0;0.4彡a彡-0.3;8.0彡b彡4.0。2.如權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:所述步驟(2)的噴砂參數(shù):使用80#白剛玉，噴砂壓力40-60PSI，角度45°，噴嘴距離工件10_15cm，移動(dòng)速度2_3cm/秒，要求Ra為110-140μ?η。3.如權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:所述步驟(3)的陽(yáng)極前處理:高壓水清洗工件表面，使用45-55g/L NaOH堿咬30-60s，水洗后使用50%硝酸洗2_5min，去除表面雜質(zhì)。4.如權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:所述步驟(4)的草酸陽(yáng)極氧化處理:40-50g/L的草酸溶液，控制溫度為18-22°C，調(diào)整電流密度為l_2A/dm2，升流時(shí)間為5-lOmin，反應(yīng)時(shí)間為3-4h。5.如權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:所述步驟(5)的將工件進(jìn)行封孔處理，將陽(yáng)極氧化處理后的工件放入92-98°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為2-3小時(shí)。6.按照權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:所述步驟(6)中使用5%鹽酸溶液進(jìn)行BubbIe Test耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到4h以上。7.按照權(quán)利要求1所述噴砂草酸陽(yáng)極工藝，其特征在于:對(duì)工件進(jìn)行色差測(cè)試，色差范圍滿足:60.0彡L彡55.0 ;0.4彡a彡-0.3 ;8.0彡b彡4.0。
【文檔編號(hào)】C25D11/16GK105970269SQ201610345845
【公開(kāi)日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月23日
【發(fā)明人】張少杰
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司