專利名稱：電鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和電鍍領(lǐng)域，尤其涉及能夠用在集成電路制造廠內(nèi)的電鍍裝置。
背景技術(shù)：
集成電路制造過程通常包括電鍍工藝，電鍍工藝的質(zhì)量直接影響到最后制成的集成電路的性能，電鍍工藝通常借助電鍍裝置實(shí)現(xiàn)。圖1是現(xiàn)有電鍍槽的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是現(xiàn)有電鍍槽的前視圖，所述電鍍槽10 用來容置電鍍?nèi)芤?1，所述電鍍?nèi)芤?1通常為藍(lán)色的硫酸銅溶液。電鍍時(shí)，將放置有晶片 12的隔離銅反應(yīng)腔13置于電鍍?nèi)芤?1內(nèi)，電鍍?nèi)芤?1通過電鍍?nèi)芤簲U(kuò)散膜14擴(kuò)散進(jìn)入隔離銅反應(yīng)腔13，并與晶片12反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)晶片12的電鍍。電鍍時(shí)電鍍?nèi)芤簲U(kuò)散膜14下方容易出現(xiàn)氣泡，這會(huì)降低電鍍工藝質(zhì)量，繼而降低制成的集成電路性能，甚至導(dǎo)致集成電路制造失敗。電鍍?nèi)芤?1的顏色導(dǎo)致幾乎無法直接觀察到其內(nèi)是否有氣泡，目前業(yè)內(nèi)主要通過質(zhì)量檢測(cè)參數(shù)例如hfilm_PA、RS及RS Uniformity等來判斷是否有氣泡產(chǎn)生，如果這些參數(shù)偏離正常值，則表明可能有氣泡產(chǎn)生，然后重新設(shè)置電鍍?nèi)芤簲U(kuò)散膜14來去除氣泡。 其中hfilenuPA用于檢測(cè)薄膜中的微粒，RS用于檢測(cè)電阻率。由于影響質(zhì)量檢測(cè)參數(shù)的因素不止氣泡，因此上述判斷是否有氣泡產(chǎn)生的方案存在效率低及時(shí)間耗費(fèi)長等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了電鍍裝置，以提高氣泡檢測(cè)的效率，降低檢測(cè)時(shí)間。本發(fā)明提供的電鍍裝置包括電鍍槽，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內(nèi)的電鍍?nèi)芤杭霸撊芤簝?nèi)的氣泡上， 以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。可選的，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過肉眼觀測(cè)?？蛇x的，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出白光、紅光及黃光。可選的，所述顯色輔助裝置由白光燈、紅光燈及黃光燈組成?？蛇x的，所述白光燈、紅光燈及黃光燈環(huán)繞于電鍍槽外壁，從電鍍槽底部往上依次為黃光燈、紅光燈及白光燈?？蛇x的，所述白光燈、黃光燈及紅光燈與電鍍槽有間距。可選的，在光線照射后，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過觀測(cè)裝置觀測(cè)。本發(fā)明提供的電鍍裝置由于采用了顯色輔助裝置將電鍍?nèi)芤旱念伾皻馀莸念伾珔^(qū)別，因此使得檢測(cè)人員能夠通過肉眼或者借助觀測(cè)裝置觀測(cè)到兩者顏色區(qū)別，從而可以直接檢測(cè)氣泡是否產(chǎn)生，提高了檢測(cè)效率，降低了檢測(cè)時(shí)間。


圖1 圖2分別為現(xiàn)有電鍍裝置的俯視圖及前視圖；圖3 圖4分別為本發(fā)明實(shí)施例提供的電鍍裝置的俯視圖及前視圖。
具體實(shí)施例方式圖3是本實(shí)施例提供的電鍍裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖4是本實(shí)施例提供的電鍍裝置前視結(jié)構(gòu)圖，該電鍍裝置包括電鍍槽31及顯色輔助裝置32，其中電鍍槽31用于放置硫酸銅溶液33，顯色輔助裝置32由三個(gè)環(huán)繞于電鍍槽31的燈圈構(gòu)成，從上至下依次為第一燈圈320、第二燈圈321及第三燈圈322。所述第一燈圈320能發(fā)出白光，第二燈圈321能發(fā)出紅光，第三燈圈322發(fā)出黃光，硫酸銅溶液33本身為藍(lán)色，但在紅光及黃光的照射下，硫酸銅溶液33顯示為黑色。如果有氣泡產(chǎn)生，則在第一燈圈320發(fā)出的白光的照射下，氣泡呈白色，其將于顯黑色的硫酸銅溶液33形成鮮明對(duì)比，從而很容易通過肉眼檢測(cè)到氣泡， 這大大提高了檢測(cè)效率并降低檢測(cè)時(shí)間。顯色輔助裝置32的燈圈可以選擇多種類型的燈圈，例如可以是發(fā)光二極管(LED) 燈圈、鎢絲發(fā)光燈圈或熒光燈圈，也可以是不同類型燈圈的組合。上述實(shí)施例中顯色輔助裝置32的燈圈能將電鍍槽31環(huán)繞，實(shí)際由于設(shè)置燈圈的目的在于發(fā)光使硫酸銅溶液33顯示的顏色變?yōu)楹谏?，并在有氣泡的情況下使得氣泡顯示為白色，以便形成氣泡和硫酸銅溶液33顏色的鮮明區(qū)別，因此所述顯色輔助裝置32也可以采用其它形狀的發(fā)光源發(fā)光，而不必局限于燈圈形式，而且發(fā)光源也可以與電鍍槽31有一定間距，發(fā)光源的發(fā)光方向的也可以是特定方向發(fā)光，只要在肉眼觀測(cè)時(shí)能保證從其檢測(cè)的角度來觀測(cè)，能鮮明區(qū)別出氣泡和硫酸銅溶液31即可。實(shí)際上還可以采用其它顯色輔助裝置32將氣泡和電鍍?nèi)芤豪缌蛩徙~溶液31的顏色區(qū)別，該區(qū)別通過肉眼難以觀測(cè)，不過可以通過紅外眼鏡等觀測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)亦可。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電鍍裝置，包括電鍍槽，其特征在于，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內(nèi)的電鍍?nèi)芤杭霸撊芤簝?nèi)的氣泡上，以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。
2.如權(quán)利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過肉眼觀測(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的電鍍裝置，其特征在于，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出白光、紅光及黃光。
4.如權(quán)利要求3所述的電鍍裝置，其特征在于，所述顯色輔助裝置由白光燈、紅光燈及黃光燈組成。
5.如權(quán)利要求4所述的電鍍裝置，其特征在于，所述白光燈、紅光燈及黃光燈環(huán)繞于電鍍槽外壁，從電鍍槽底部往上依次為黃光燈、紅光燈及白光燈。
6.如權(quán)利要求4所述的電鍍裝置，其特征在于，所述白光燈、黃光燈及紅光燈與電鍍槽有間距。
7.如權(quán)利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，在光線照射后，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過觀測(cè)裝置觀測(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供了電鍍裝置，以提高電鍍?nèi)芤簝?nèi)氣泡檢測(cè)的效率，降低檢測(cè)時(shí)間，電鍍裝置包括電鍍槽，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內(nèi)的電鍍?nèi)芤杭霸撊芤簝?nèi)的氣泡上，以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。
文檔編號(hào)C25D17/00GK102443835SQ201010508089
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者方文勇, 曾海, 羅燦, 謝誠 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司