專利名稱：處理液槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能供給、排出鍍覆液等各種處理液的處理液槽，尤其涉及在短時
間內(nèi)進(jìn)行處理液的供給、排出，并且包括具有垂直狀態(tài)的板狀工件不用升降就能經(jīng)過的工件經(jīng)過口的閘門裝置的處理液槽。
背景技術(shù)：
鍍覆處理裝置等處理液槽中，在包括具有工件經(jīng)過口的閘門裝置時，該閘門裝置在工件不經(jīng)過時將工件經(jīng)過口關(guān)閉，以便能朝處理液槽內(nèi)填充處理液，在工件經(jīng)過時將工件經(jīng)過口打開。上述閘門裝置的構(gòu)造例如包括水平方向滑動自如的板狀閘門部件，或包括以左右對開形式繞垂直軸轉(zhuǎn)動自如的一對板狀閘門部件，利用具有電動機(jī)和減速齒輪機(jī)構(gòu)的機(jī)械式驅(qū)動機(jī)構(gòu)來驅(qū)動閘門部件開閉(專利文獻(xiàn)1)。 另外，作為其它開閉方式的閘門裝置，也有這樣的裝置包括上下方向滑動自如的板狀閘門部件，并在上述閘門部件上安裝浮子(float)，通過處理液槽內(nèi)的處理液的增加，使閘門部件與浮子一起上升，將工件經(jīng)過口關(guān)閉(專利文獻(xiàn)2)。 上述各閘門裝置均具有矩形的寬度較寬的工件經(jīng)過口，并利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動一個或一對閘門部件來開閉上述工件經(jīng)過口整體，因此，工件經(jīng)過口的開閉費時，在連續(xù)處理許多工件時，無法在短時間內(nèi)進(jìn)行處理液的供給、排出，作業(yè)效率不好。 專利文獻(xiàn)3中記載了一種針對上述具有工件經(jīng)過口和閘門裝置的處理液槽，將工件經(jīng)過口的形狀形成為具有工件和保持工件的部件能經(jīng)過的大致最小限度的面積的形狀的處理液槽。 專利文獻(xiàn)3的處理液槽像圖22那樣，在鍍覆液槽14與箱槽15之間的槽壁82、箱槽15與空平臺16之間的槽壁83上形成有工件經(jīng)過口 88。各工件經(jīng)過口 88由垂直姿勢的工件能經(jīng)過的最小限度的窄寬度的狹縫狀開口部88b、支撐工件上端部的保持部件能經(jīng)過的擴(kuò)張開口部88a構(gòu)成。為了開閉狹縫狀開口部88b，包括伸縮自如的袋狀彈性部件制的閘門部件(未圖示)，由此，可縮短處理液的供給、排出時間，提高閘門裝置關(guān)閉時的密封功能。形成上述擴(kuò)張開口部88a的原因是為了通過以工件的上端從鍍覆液面(LI)沉下50mm左右的形態(tài)浸漬工件，來防止電流朝工件的上端部集中，防止電流集中引起的鍍覆膜厚的不均。 專利文獻(xiàn)1 :日本專利特開2004-99957號公報
專利文獻(xiàn)2 :日本專利特開昭55-141558號公報
專利文獻(xiàn)3 :日本專利特開2007-113066號公報 但是，即使像圖22(專利文獻(xiàn)3)那樣由狹縫狀開口部88b和擴(kuò)張開口部88a來構(gòu)成工件經(jīng)過口 88，在只包括開閉狹縫狀開口部88b的閘門部件時，擴(kuò)張開口部88a始終打開，因而即便欲在處理液槽內(nèi)收納期望量的處理液，處理液也會從擴(kuò)張開口部88a漏出，很難長期保持規(guī)定量的處理液。例如，若形成在箱槽15與空平臺16之間的槽壁83上的開口88的擴(kuò)張開口部88a始終打開，則在箱槽15裝滿時(實線所示的液平面LI)，鍍覆液會從箱槽15通過擴(kuò)張開口部88a泄漏到空平臺16，鍍覆液強(qiáng)有力地與空平臺16的底面碰撞，產(chǎn)生泡沫。另外，在箱槽15排液時(雙點劃線所示的液面L2)，鍍覆液會從鍍覆液槽14通過槽壁82的擴(kuò)張開口部88a泄漏到箱槽15內(nèi)，鍍覆液強(qiáng)有力地與箱槽15的排液面(L2)碰撞，產(chǎn)生泡沫。這樣產(chǎn)生泡沫時，泡沫會從各槽15、 16溢出，污染裝置的周圍。另外，泡沫會附著在工件上，因此，在工件被搬運到下一道工序時，下一道工序的裝置會被泡沫污染。對此，需要用于清洗工件和裝置的工序和機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種處理液槽，在該處理液槽中，作為工件經(jīng)過口，具有狹縫狀開口部和擴(kuò)張開口部，從而將工件經(jīng)過口的開口面積控制在必要的最小限度，并且，即使是具有上述形狀的工件經(jīng)過口的處理液槽，也能在短時間內(nèi)可靠地開閉工件經(jīng)過口整體，并能維持工件經(jīng)過口處的密封性。 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的處理液槽包括供液機(jī)構(gòu)和排液機(jī)構(gòu)，具有工件經(jīng)過口的閘門裝置設(shè)于槽壁，上述工件經(jīng)過口具有垂直姿勢的板狀工件能經(jīng)過的上下方向細(xì)長的狹縫狀開口部、在該狹縫狀開口部的上端形成且寬度比上述狹縫狀開口部的寬度大的擴(kuò)張開口部，上述閘門裝置包括利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)在大致水平方向上移動或變形來開閉上述狹縫狀開口部的閘門部件、該閘門部件以外的開閉上述擴(kuò)張開口部的閘板，上述閘板包括配置在處理液槽內(nèi)的浮子，通過處理液槽內(nèi)的處理液的增減引起的浮子的升降，使上述閘板在打開位置與關(guān)閉位置之間變更位置。 (1)根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能將工件經(jīng)過口的開口面積限制成工件和工件保持部件能經(jīng)過的大致最小的面積，因此，能抑制處理液從工件經(jīng)過口漏出。
(2)由于利用在水平方向上滑動或變形自如的閘門部件來開閉狹縫狀開口部，并
利用繞水平的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動自如的快門來開閉擴(kuò)張開口部，因此能在短時間內(nèi)開閉工件經(jīng)過
口整體，能提高連續(xù)的工件處理作業(yè)的效率。即，對應(yīng)各開口部的形狀分別包括滑動或變形
式的閘門部件和轉(zhuǎn)動式的閘板，因此，能大幅度縮短工件經(jīng)過口整體的開閉時間。
(3)由于利用配置在處理液槽內(nèi)的浮子來使閘板工作，因此不必為了開閉閘板而
包括電動機(jī)等特殊的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，能簡化閘門裝置。 本發(fā)明中，在上述結(jié)構(gòu)中，可將上述擴(kuò)張開口部形成為V字形。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，狹縫狀開口部及與其上方連續(xù)的擴(kuò)張開口部的形成作業(yè)容易。
本發(fā)明中，在上述結(jié)構(gòu)中，可采用這樣的構(gòu)造上述浮子固接于閘板的轉(zhuǎn)動軸，并
能與閘板一體轉(zhuǎn)動。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能將浮子與閘板一體地緊湊配置。 本發(fā)明中，在上述結(jié)構(gòu)中，作為轉(zhuǎn)動式浮子的代替，可采用這樣的構(gòu)造通過線狀部件在閘板上連結(jié)浮子，使上述線狀部件從閘板朝下方延伸并通過轉(zhuǎn)向滑輪朝上方折回，在折回的上端部連結(jié)上述浮子。 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能在處理液槽內(nèi)的期望的位置上配置浮子。即，浮子的布置自由度增加。


圖1是本發(fā)明的第一實施方式，是鍍覆裝置的整體俯視圖。 圖2是圖1的鍍覆槽和箱槽附近的縱截面放大圖。 圖3是圖2的III-III截面放大圖。 圖4是圖2的IV-IV截面放大圖。 圖5是圖1的鍍覆槽、箱槽和空平臺的縱截面簡圖。 圖6是圖5的箱槽的俯視圖。 圖7是圖6的VII-VII剖視圖。 圖8是圖7的閘門裝置的俯視放大圖。 圖9是表示工件經(jīng)過口處于打開狀態(tài)的閘門裝置的作用說明圖。 圖10是表示工件經(jīng)過口處于關(guān)閉狀態(tài)的閘門裝置的作用說明圖。 圖11是本發(fā)明的第二實施方式，是閘板處于打開狀態(tài)的處理液槽的縱截面簡圖。 圖12是與圖11相同的處理液槽，是表示閘板處于關(guān)閉狀態(tài)的縱截面簡圖。 圖13是本發(fā)明的第三實施方式，是閘板處于打開狀態(tài)的處理液槽的俯視圖。 圖14是圖13的XIV-XIV剖視圖。 圖15是本發(fā)明的第四實施方式，是閘板處于關(guān)閉狀態(tài)的處理液槽的縱截面簡圖。 圖16是本發(fā)明的第五實施方式，是處理液槽的俯視圖。 圖17是圖16的XVIHVII剖視圖。 圖18是本發(fā)明的第六實施方式，是處理液槽的俯視圖。 圖19是圖18的XIX-XIX剖視圖。 圖20是本發(fā)明的第七實施方式，是處理液槽的縱截面簡圖。 圖21是圖21的XXI-XXI剖視圖。 圖22是表示以往的處理液槽的排液和供液時的作用的立體圖。(符號說明) 15箱槽(處理液槽的一例) 46排出口栓(排液機(jī)構(gòu)的一例) 47柱槽(供液機(jī)構(gòu)的一例) 85閘門裝置 88工件經(jīng)過口 88a狹縫狀開口部 88b擴(kuò)張開口部 93可動閘門部件 94可動閘門部件的驅(qū)動機(jī)構(gòu) 150閘禾反 151 f孚子 152閘板的轉(zhuǎn)動軸 161繩(線狀體的一例)
具體實施例方式[第一實施方式](鍍覆裝置整體的概況)圖1 圖10是表示包括本發(fā)明所涉及的處理液槽的電鍍裝置。圖l是電鍍裝置
整體的俯視圖，在大致構(gòu)成為長圓形(日文長円形狀)的鍍覆處理線上，從處理線的長邊方向一端部(圖l的右端部)的加載部IO起朝著箭頭F方向(順時針方向)依次包括前處理工序的前處理槽(噴淋槽)11、空平臺12、箱槽13、電鍍工序的鍍覆槽14、后處理工序的箱槽15、空平臺16、第一后處理槽(噴淋槽)17、長邊方向另一端部的第二后處理槽(回收槽)18、卸載部19、剝離工序(吊鉤返回工序)的空平臺20、箱槽21、剝離槽22、箱槽23、空平臺24和剝離后處理槽(噴淋室)25。在作為浸漬處理槽的鍍覆槽14和剝離槽22的工件搬運方向的前后分別相鄰設(shè)置有箱槽13U5、21、23，箱槽13、21的出口兼作鍍覆槽14和剝離槽22的入口，箱槽15、23的入口兼作鍍覆槽14和剝離槽22的出口。
在上述鍍覆處理線的內(nèi)周側(cè)敷設(shè)有長圓形的導(dǎo)軌27，在該導(dǎo)軌27上，許多搬運吊鉤28被支撐成能在軌道長度方向上移動。 在導(dǎo)軌27的內(nèi)周側(cè)，為了使搬運吊鉤28在水平方向上移動，配置有多個獨立的搬運裝置31、32、 ".、40。該搬運裝置31、32、 ".、40中，在與各箱槽13、 15、21、23對應(yīng)的位置上分別配設(shè)有線性致動器型往復(fù)運動式的取入搬運裝置31、32、33、34。在與前處理工序的前處理槽11和空平臺12對應(yīng)的位置、與鍍覆槽14對應(yīng)的位置、與后處理工序的空平臺16和第一后處理槽17對應(yīng)的位置、與剝離工序的空平臺20對應(yīng)的位置、與剝離槽22對應(yīng)的位置、與空平臺24和剝離后處理槽25對應(yīng)的位置上，分別配設(shè)有鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)型的連續(xù)搬運裝置35、36、37、38、39、40。另外，從后處理工序的第一后處理槽17經(jīng)由第二后處理槽18到卸載部19的部分和從剝離后處理槽25經(jīng)由加載部10到前處理槽11的部分，配置有未圖示的推動搬運吊鉤的推進(jìn)機(jī)(pusher)裝置。在圖1中，雙線箭頭所示的各區(qū)間A1 A6表示鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)型的連續(xù)搬運裝置35、36、37、38、39、40的搬運區(qū)間，虛線箭頭所示的各區(qū)間Bl B表示線性致動器型的取入搬運裝置31、32、33、34的搬運區(qū)間，實線所示的區(qū)間Cl、C2、 C3、 C4表示推進(jìn)機(jī)裝置的搬運區(qū)間。 圖2是圖1的鍍覆槽14、后處理工序的箱槽15、空平臺16和第一后處理槽17的縱截面放大簡圖，這些鍍覆槽14、箱槽15、空平臺和第一后處理槽17載放在一定高度的架臺42上，在架臺42內(nèi)配置有預(yù)備槽43。在箱槽15的上方通過未圖示的架臺配設(shè)有規(guī)定容積的柱槽(供液機(jī)構(gòu))47。 在箱槽15的底壁上設(shè)置有可開閉的排出口栓(排液機(jī)構(gòu))46，在該排出口栓46上設(shè)置有用于驅(qū)動該排出口栓46開閉的操作部46a。在預(yù)備槽43與柱槽47之間配設(shè)有配管48，在該配管48上設(shè)置有用于從預(yù)備槽43朝柱槽47導(dǎo)入鍍覆液(處理液)的泵49和過濾器50。在柱槽47的底部可開閉地設(shè)置有能從上方朝箱槽15供給處理液的排出口栓51。
在預(yù)備槽43與鍍覆槽14之間并排設(shè)置有兩個配管55、56，在配管55 、56上均設(shè)置有用于從預(yù)備槽43朝鍍覆槽14供給鍍覆液的泵57、59和過濾器58、60。 一個配管55用于在箱槽15的閘門開閉時將鍍覆槽14的液面維持于規(guī)定高度，另一個配管56用于鍍覆液循環(huán)。另外，在空平臺16的底部設(shè)置有用于朝預(yù)備槽43排出鍍覆液的排出管44，此外，在鍍覆槽14上還設(shè)置有用于將溢出的鍍覆液朝預(yù)備槽43排出的溢流管61。
(搬運吊鉤) 圖3是搬運吊鉤28的圖2的III-III截面放大圖，搬運吊鉤28由在導(dǎo)軌長度方向上移動自如地支撐于上述導(dǎo)軌27的移動基臺63、從該移動基臺63朝著與導(dǎo)軌27成大致直角的方向水平延伸的臂部64、從該臂部64的前端部朝下方延伸的工件吊持部65構(gòu)成，在工件吊持部65的下端部設(shè)置有吊持銷66和夾子67。在上述吊持銷66上卡合工件(例如電路用基板)W的上端部的卡合孔，并利用夾子67將工件保持成不能脫落。被吊持的工件W通過吊持部65和未圖示的適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電機(jī)構(gòu)與導(dǎo)軌27電連接，從導(dǎo)軌27進(jìn)行供電。在移動基臺63的上表面固接有朝著與臂部64相反的方向水平延伸的支軸70，在該支軸70上，鏈輪71通過單向離合器72被支撐成只朝一個方向旋轉(zhuǎn)。具體而言，在圖2中，上述鏈輪71構(gòu)成為朝箭頭R方向旋轉(zhuǎn)，但不朝箭頭R的反方向旋轉(zhuǎn)。
(搬運裝置) 在圖2中，鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)型的連續(xù)搬運裝置36 、37由驅(qū)動鏈輪73、從動鏈輪74和巻掛于兩鏈輪73、74間的搬運鏈75(圖3)構(gòu)成，上述搬運吊鉤28的鏈輪71與搬運鏈75的上側(cè)移動部分卡合。如上所述，搬運吊鉤28包括單向離合器72 (圖3)，從而在與搬運鏈75卡合的狀態(tài)下，與搬運鏈75的上側(cè)部分一起朝著圖2的箭頭F方向移動。
在圖2中，線性致動器型的取入搬運裝置32中，在與導(dǎo)軌27并行配置的導(dǎo)向部76上以能與導(dǎo)軌27平行移動的形態(tài)支撐有滑動器77，該滑動器77通過未圖示的導(dǎo)向部76所包括的導(dǎo)螺桿進(jìn)給機(jī)構(gòu)和伺服電動機(jī)等的作用沿導(dǎo)向部76往復(fù)移動。
圖4是圖2的IV-IV截面放大圖，在上述滑動器77上固接有朝著搬運吊鉤28側(cè)大致水平延伸的支軸78，在該支軸78上以能繞支軸78轉(zhuǎn)動的形態(tài)支撐有朝下方延伸的取入爪79。上述取入爪79被未圖示的限位件從箭頭S的反方向側(cè)卡定于圖2所示的狀態(tài)，并從箭頭F的反方向側(cè)與搬運吊鉤28的支軸70卡合，滑動器77朝箭頭F方向移動時，通過取入爪79朝箭頭F方向移動搬運吊鉤28?；瑒悠?7相對于搬運吊鉤28朝箭頭F的反方向側(cè)移動時，取入爪79朝箭頭S方向轉(zhuǎn)動，越過搬運吊鉤28的支軸78。
(鍍覆槽及其前后的箱槽13、 15等的構(gòu)造) 圖5是鍍覆槽14及其前后的箱槽13、15和空平臺12、 16的縱截面簡圖，圖6是后處理工序的箱槽15的放大俯視圖，圖7是圖6的VII-VII截面放大圖，圖8是圖7的俯視圖，圖9是表示打開狀態(tài)下的閘門裝置的作用說明圖，圖10是表示關(guān)閉狀態(tài)下的閘門裝置的作用說明圖。為了方便說明，下面將與工件搬運方向F正交的水平方向中的、像圖7那樣從搬運方向F側(cè)觀察的方向作為"左右方向"進(jìn)行說明。 圖6中，在后處理工序的箱槽15上，在與箭頭F方向正交的方向上隔開規(guī)定間隔配置有左右一對箱部15a，工件W經(jīng)過左右的箱部15a之間。通過包括箱部15a，提供給箱槽15的液量變少，能減少開閉閘門裝置84時鍍覆液的變動，并能縮短提供給箱槽15的鍍覆液的排出時間。 在鍍覆槽14與后處理用的箱槽15之間的縱壁82上設(shè)置有僅具有滑動式閘門部件93的閘門裝置84，根據(jù)本發(fā)明，在箱槽15與空平臺16之間的縱壁83上設(shè)置有具有滑動式閘門部件93和浮子式閘板150的閘門裝置85。另外，在搬運方向上配置于圖5的鍍覆槽14上游側(cè)的前處理用的箱槽13與鍍覆槽14之間以及箱槽13與空平臺12之間也分別設(shè)置有與后處理用相同的閘門裝置84、85。
(閘門裝置85) 下面說明后處理用的箱槽15與鍍覆槽14之間的閘門裝置85的構(gòu)造。圖7中，在縱壁83的左右寬度的中央部形成有U字形的閘門裝置安裝用凹部89，在該凹部89內(nèi)通過橡膠管制填料90安裝有閘門裝置85。該閘門裝置85在左右寬度的中央部具有工件經(jīng)過口88。該工件經(jīng)過口 88由沿上下方向延伸的狹縫狀開口部88b以及形成于該狹縫狀開口部88b的上端并朝著上方擴(kuò)大的V字形的擴(kuò)張開口部88a構(gòu)成。狹縫狀開口部88b的左右寬度比板狀工件W的厚度大，V字形開口部88a形成為搬運吊鉤28的吊持部65和夾子67能經(jīng)過的大小。作為閘門部件92、93的材料，選擇例如耐腐蝕性和耐久性好的樹脂等時較為理想。 形成上述V字形的擴(kuò)張開口部88a的原因在現(xiàn)有技術(shù)部分已作說明，是為了通過以使工件W的上端從鍍覆液面等沉下50mm左右的形態(tài)浸漬工件W，來防止電流朝工件W的上端部集中，防止電流集中引起的鍍覆膜厚的不均。因此，需要以把持工件W的上端部的夾子67的下端部分也浸漬在鍍覆液內(nèi)的狀態(tài)進(jìn)行搬運，為了夾子67的經(jīng)過而形成了上述擴(kuò)張開口部88a。 閘門裝置85包括縱向長度長的U字形的閘門裝置主體91、固定在該U字形閘門裝置主體91的左側(cè)柱部91a上的限位部件92、為了開閉狹縫狀開口部88b而左右方向移動自如地支撐在閘門裝置主體91的右側(cè)柱部91b上的上述可動閘門部件93、具有用于移動該可動閘門部件93的第一管部件IOI和第二管部件102的驅(qū)動機(jī)構(gòu)94、為了開閉擴(kuò)張開口部88a而包括的繞水平的轉(zhuǎn)動軸152轉(zhuǎn)動自如的上述浮子式閘板150、以及用于使該浮子式閘板150工作的浮子151。 圖8中，在限位部件92的前端部的上下方向的大致全長范圍內(nèi)安裝有填料108。在閘門裝置主體91的右側(cè)柱部91b上，在工件搬運方向F側(cè)的面上固定有將上述可動閘門部件93滑動自如地引導(dǎo)的導(dǎo)向板IIO，在與導(dǎo)向板110的工件搬運方向F側(cè)相反的一側(cè)的面上配置有用于收納上述第一管部件101和第二管部件102的L字形的導(dǎo)向殼體111。
在由上述導(dǎo)向板110、導(dǎo)向殼體111和右側(cè)柱部91b的左表面圍成的管收納室內(nèi)左右方向移動自如地收納有水平截面為矩形的滑動部93a，在該滑動部件93a的左側(cè)的空間部內(nèi)收納有上述第一管部件IOI，在右側(cè)的空間部收納有上述第二管部件102。兩管部件101、102是具有彈性的橡膠制管，通過朝內(nèi)部壓入空氣而膨脹，通過將內(nèi)部的空氣排出而收縮。
上述滑動部93a—體成形于從管收納室朝左方突出的上述可動閘門部件93，由此，可動閘門93和滑動部93a能一體地沿左右方向移動。 在圖7中，兩管部件101U02的下端部始終被閉塞成密封狀態(tài)，兩管部件101U02的上端部與金屬制或樹脂制的接頭管121、122分別連接。兩接頭管121、122通過空氣管與空氣切換閥130連接，在該空氣切換閥130上連接有壓縮機(jī)等壓縮空氣供給源132并設(shè)置有空氣排出部133。該空氣切換閥131在下面的兩個狀態(tài)之間切換自如， 一個狀態(tài)是在朝第一管部件101供給壓縮空氣而使第一管部件101膨脹的同時將第二管部件102內(nèi)的空氣排出而使第二管部件102收縮的狀態(tài)，另一個狀態(tài)是在朝第二管部件102供給壓縮空氣而使第二管部件102膨脹的同時將第一管部件101內(nèi)的空氣排出而使第一管部件101收縮的狀態(tài)。 通過朝第一管部件101壓入空氣、使其膨脹，并從第二管部件102排出空氣、使其收縮，使滑動部93a和可動閘門部件93—體地朝打開方向(右方)移動，能將工件經(jīng)過口 88打開。另一方面，通過朝第二管部件102壓入空氣、使其膨脹，并從第一管部件101排出 空氣、使其收縮，使滑動部93a和可動閘門部件93—體地朝關(guān)閉方向(左方)移動，能將工 件經(jīng)過口 88關(guān)閉。在該閉狀態(tài)下，可動閘門部件93的端緣與限位部件92的填料108按壓 接觸。(浮子式閘板150的詳細(xì)構(gòu)造) 圖8中，在閘門裝置主體91的左側(cè)柱部91a上轉(zhuǎn)動自如地支撐有沿工件搬運方向 F延伸的轉(zhuǎn)動軸152，該轉(zhuǎn)動軸152的兩端部分別突出到空平臺16和箱槽15。在轉(zhuǎn)動軸152 的空平臺16側(cè)的突出端部上一體地固接有閘板150，在轉(zhuǎn)動軸152的箱槽15側(cè)的突出端部 上一體地固接有空心狀的浮子151，由此，閘板150和浮子151繞轉(zhuǎn)動軸152的軸心一體轉(zhuǎn) 動。閘板150由例如聚氯乙烯樹脂形成，如字面那樣是板狀的部件，另一方面，浮子151由 例如聚丙烯形成，通過形成為空心狀，在處理液內(nèi)產(chǎn)生規(guī)定值以上的較大的浮力。
圖10中，閘板150形成為在關(guān)閉狀態(tài)下左右較長的大致矩形，并且左右寬度的大 致中央部的下端附近固接在上述轉(zhuǎn)動軸152上，并構(gòu)成為以轉(zhuǎn)動軸152為轉(zhuǎn)動軸心，圖10 的順時針方向、即關(guān)閉方向Bl的力矩與逆時針方向、即打開方向B2的力矩大致相等，或者 打開方向B2的力矩稍大。閘板150的左端緣形成為一直線狀，但右端緣中，從上端起的大致 1/3的上側(cè)部分150a形成為在關(guān)閉位置上與導(dǎo)向板110的擴(kuò)張開口部88a的右斜面110a 抵接的傾斜面，中間部分150b形成為與導(dǎo)向板110的垂直的端面110b抵接的垂直面，而 且，從下端起的大致1/3的下側(cè)部分150c形成為與上述上側(cè)部分150a朝著相同方向傾斜 的傾斜面。即，閘板150的至少上側(cè)部分150a與擴(kuò)張開口部88a的右斜面110a抵接，使得 閘板150在關(guān)閉位置上被卡定。 浮子151相對于轉(zhuǎn)動軸152固接成朝左側(cè)延伸，因浮子151的自重而對閘板150 施加打開方向B2的力矩。S卩，在浮子151未受到浮力作用時，主要在浮子151的重量的作 用下，閘板150朝打開方向B2轉(zhuǎn)動。閘板150例如通過設(shè)置在閘門裝置主體91上的限位 件155而被卡定于圖9所示的打開狀態(tài)。
(工作) 由于鍍覆處理工序及其后的吊鉤的剝離工序等是以往公知的，因此極為簡單地進(jìn) 行說明。在圖1中，用加載部10將鍍覆處理前的工件W吊持于搬運吊鉤28，利用推進(jìn)機(jī)裝 置將搬運吊鉤28和工件W搬運至前處理槽11內(nèi)，并使搬運吊鉤28的鏈輪71與前處理槽 11的連續(xù)搬運裝置35的搬運鏈75的起始端部卡合。 從上述連續(xù)搬運裝置35起，朝著箭頭F方向依次利用取入搬運裝置31、連續(xù)搬運 裝置36、取入搬運裝置32和連續(xù)搬運裝置37來移動搬運吊鉤27，從而使工件W經(jīng)過前處 理槽11、空平臺12、箱槽13、鍍覆槽14、箱槽15、空平臺16和第一后處理槽17，或使工件W 在規(guī)定的處理位置停止規(guī)定時間，進(jìn)行前處理、鍍覆處理和清洗等后處理。鍍覆處理完成后 的工件由未圖示的推進(jìn)機(jī)裝置通過第二后處理槽18搬運至卸載部19，從搬運吊鉤28拆下 鍍覆處理后的工件W。 拆下工件W后的搬運吊鉤-28接著使鏈輪71與剝離工序的空平臺20的連續(xù)搬運 裝置38的鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)75卡合，從該連續(xù)搬運裝置38起朝著箭頭F方向依次利用取入搬運 裝置33、連續(xù)搬運裝置39、取入搬運裝置34和連續(xù)搬運裝置40進(jìn)行移動，附著物被剝離、清洗，再次返回加載部10。 在上述鍍覆處理中，將工件W從例如空平臺12經(jīng)由箱槽13朝鍍覆槽14水平移動 時以及從鍍覆槽14經(jīng)由箱槽15朝空平臺16水平移動時，將各閘門裝置84、85分別打開， 由此，工件W不用上升就可經(jīng)過工件經(jīng)過口 88等。工件W經(jīng)過了工件經(jīng)過口 88等后，將各 閘門裝置84、85的工件經(jīng)過口 88等關(guān)閉。
(閘門裝置85的開閉工作的詳細(xì)說明) (1)圖5簡單表示了如上所述將工件W從空平臺12經(jīng)由箱槽13朝鍍覆槽14移 動的工序以及從鍍覆槽14經(jīng)由箱槽15朝空平臺16移動的工序。在鍍覆槽14中，鍍覆液 始終保持大致裝滿狀態(tài)，空平臺12、16始終排出鍍覆液，從而保持大致空狀態(tài)。工件W在箱 槽13、 15與鍍覆槽14之間移動時，通過在短時間內(nèi)從柱槽47等供給鍍覆液，使箱槽13、 15 保持與鍍覆槽14大致相同的裝滿狀態(tài)，工件W在各箱槽13、15與各空平臺12、16之間移動 時，通過將排出口栓46打開，使各箱槽13、15排液以在短時間內(nèi)達(dá)到大致空狀態(tài)。
(2)如上所述地使鍍覆液裝滿箱槽13、 15時，鍍覆槽14與箱槽15之間的閘門裝置 84打開，形成可供工件W經(jīng)過的狀態(tài)，另一方面，箱槽13、 15與空平臺12、 16之間的閘門裝 置85關(guān)閉。相反，使箱槽13、15從裝滿狀態(tài)成為空狀態(tài)時，鍍覆槽14與箱槽13、15之間的 閘門裝置84關(guān)閉，另一方面，箱槽13、15將排出口栓46打開，并且將箱槽13、15與空平臺 12、 16之間的閘門裝置85也打開，排出鍍覆液。 (3)下面詳細(xì)說明閘門裝置95在后處理用的箱槽15從空狀態(tài)成為裝滿狀態(tài)的過 程中的工作。在圖9中，箱槽15內(nèi)處于空狀態(tài)時，可動閘門部件93移動到打開位置，使工 件經(jīng)過口 88的狹縫狀開口部88b打開，另外，閘板150轉(zhuǎn)動到打開位置，使擴(kuò)張開口部88a 也打開。 在朝箱槽15供給鍍覆液時，像圖10那樣，首先使可動閘門部件93朝關(guān)閉位置移 動，將狹縫狀開口部88b關(guān)閉。在此狀態(tài)下將鍍覆液從柱槽47(圖5)朝箱槽15供給時，隨 著供給到箱槽15內(nèi)的鍍覆液的增加，浮子151因浮力的作用而上升，閘板150與浮子151 — 起朝關(guān)閉方向Bl轉(zhuǎn)動，將擴(kuò)張開口部88a的下半部關(guān)閉。由此，能在箱槽15內(nèi)可靠地儲藏 直到液平面Ll為止的鍍覆液。如圖7所示，上述液平面Ll是被搬運裝置28把持的工件W 的上端緣可浸漬至液面下大致50mm左右的高度。由此，能在鍍覆槽14內(nèi)對工件W整體進(jìn) 行鍍覆處理。 上面說明的是從鍍覆槽14經(jīng)由箱槽15朝空平臺16搬運工件W時閘門裝置85等 的開閉，但在從圖5的入口側(cè)的空平臺12經(jīng)由箱槽13朝鍍覆槽14搬運工件時，配置在入 口側(cè)箱槽13與入口側(cè)空平臺12之間的帶有閘板的閘門裝置85的開閉也與上述閘門裝置 85同樣地進(jìn)行。
(實施方式的效果) (1)圖6所示的箱槽15與空平臺16之間的閘門裝置85像圖7那樣，包括利用 驅(qū)動機(jī)構(gòu)94(管部件101U02)沿大致水平方向移動來開閉狹縫狀開口部88b的閘門部件 93、以及該閘門部件93以外的繞水平的轉(zhuǎn)動軸152轉(zhuǎn)動來開閉擴(kuò)張開口部88a的閘板150， 在閘板150上連動地連結(jié)有配置在箱槽15內(nèi)的浮子151，通過箱槽15內(nèi)的鍍覆液增加時浮 子151的上升，使上述閘板150朝關(guān)閉位置轉(zhuǎn)動，因此，能將工件經(jīng)過口88的開口面積限制 成工件W和工件保持用的夾子67等可經(jīng)過的大致最小的面積，能抑制鍍覆液從工件經(jīng)過口88漏出。 (2)利用水平方向滑動自如的可動閘門部件93來開閉狹縫狀開口部88b，并利用 繞水平的轉(zhuǎn)動軸152轉(zhuǎn)動自如的快門150來開閉擴(kuò)張開口部88a，因此，能在短時間內(nèi)開閉 工件經(jīng)過口 88整體，能提高連續(xù)的工件處理作業(yè)的效率。S卩，對應(yīng)各開口部88b、88a的形 狀分別包括滑動式的閘門部件93和轉(zhuǎn)動式的閘板150，因此，能大幅度縮短工件經(jīng)過口 88 整體的開閉時間。 (3)由于利用配置在箱槽15內(nèi)的浮子151使閘板150上升，因此不必特別包括電 動機(jī)等閘板開閉用驅(qū)動機(jī)構(gòu)，能簡化閘門裝置85。 (4)由于將擴(kuò)張開口部88a形成為V字形，因此狹縫狀開口部88b及與其上方連續(xù) 的擴(kuò)張開口部88a的形成作業(yè)容易。 (5)由于浮子151固接在閘板150的轉(zhuǎn)動軸152上，能與閘板150 —體轉(zhuǎn)動，因此 能將浮子151與閘板150 —體地緊湊配置。
[第二實施方式] 圖11和圖12表示第二實施方式，圖11中，在箱槽15 (紙面的外側(cè))與空平臺(紙 面的里側(cè))16之間的槽壁83上包括與工件經(jīng)過口 88的擴(kuò)張開口部88a的形狀對應(yīng)的三 角形的閘板150、以及通過繩161與該閘板150的臂部150a連結(jié)的浮子151。閘板150和 浮子151均配置在箱槽15內(nèi)。另外，與上述第一實施方式一樣，包括開閉狹縫狀開口部88b 的閘門裝置85，但圖中省略，只表示了閘板150及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)。 閘板150的臂部150a通過大致水平的轉(zhuǎn)動軸152轉(zhuǎn)動自如地支撐于槽壁83 (或 閘門裝置主體)，在臂部150a的另一端部以朝打開方向B2對閘板150施加力矩的形態(tài)設(shè)置 有平衡塊164。在臂部150a的相對于轉(zhuǎn)動軸152位于配置有平衡塊164的一側(cè)的相反側(cè)的 部位連結(jié)著上述繩161，該繩161在箱槽15內(nèi)朝下方延伸，巻掛于設(shè)置在箱槽15的下端部 附近的轉(zhuǎn)向滑輪(日文夕一 > -〉一 7" ) 162并朝上方折回，在繩161的另一端部連結(jié)有浮 子151。 如圖11所示，箱槽15處于大致空的狀態(tài)時，浮子151位于箱槽15的底面附近，閘 板150因平衡塊164產(chǎn)生的打開方向B2的力矩的作用而位于打開位置。
像圖12那樣，朝箱槽15供給鍍覆液時，浮子151因浮力的作用而上升，拉拽繩161 而使閘板150朝關(guān)閉方向Bl轉(zhuǎn)動。朝關(guān)閉方向Bl轉(zhuǎn)動后的閘板150被限位件163卡定， 從而被保持于關(guān)閉位置，將擴(kuò)張開口部88a的下半部關(guān)閉。 根據(jù)上述實施方式，浮子151的配置自由度增加，設(shè)計變得容易。在本實施方式 中，將浮子151與閘板150連結(jié)的線狀體不限定于繩，還可利用柔軟的金屬線和鏈條。
[第三實施方式] 圖13和圖14是本發(fā)明的第三實施方式，在表示俯視圖的圖13中，在鍍覆液槽14 與箱槽15之間的槽壁82上設(shè)置有閘板350，閘板350配置在鍍覆液槽14內(nèi)，浮子351配置 在箱槽15內(nèi)。在槽壁82(或閘門裝置主體)上轉(zhuǎn)動自如地支撐有貫穿其的水平的轉(zhuǎn)動軸 352，在轉(zhuǎn)動軸352的鍍覆槽14側(cè)的端部固接有閘板350的臂部350a的基端部，在轉(zhuǎn)動軸 352的箱槽15側(cè)的端部通過臂部351a固接有浮子351。另外，與上述第一實施方式一樣， 包括開閉狹縫狀開口部88b的閘門裝置84，但圖中省略，只表示了閘板350及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
圖14是圖13的XIV-XIV剖視圖，表示閘板350關(guān)閉的狀態(tài)，在槽壁82的擴(kuò)張開口部88a的附近設(shè)置有關(guān)閉位置卡定用的限位件354，在鍍覆液槽14的側(cè)壁的上端部設(shè)置 有打開位置卡定用的限位件353。 箱槽15處于空的狀態(tài)時，如圖14所示，通過作用于浮子351和閘板350的重力，
閘板350朝關(guān)閉方向Bl轉(zhuǎn)動，被限位件354卡定，從而被保持于關(guān)閉位置。即，將擴(kuò)張開口
部88a的下半部關(guān)閉。由此，防止鍍覆液從鍍覆液槽14朝箱槽15漏出。鍍覆液被供給到箱槽15內(nèi)時，浮子351因浮力的作用而上升，使浮子351和閘板
350朝打開方向B2轉(zhuǎn)動，擴(kuò)張開口部88a打開。閘板350被打開位置卡定用的限位件353
卡定、保持。由此，能快速地使箱槽15成為與鍍覆液槽14內(nèi)相同的裝滿狀態(tài)。[第四實施方式] 圖15是本發(fā)明的第四實施方式，在箱槽15與空平臺16之間的槽壁83上設(shè)置有 閘板450。與上述第三實施方式一樣，閘板450形成為具有臂部450a的三角形，配置在箱槽 15內(nèi)。 閘板450的臂部450a的基端部通過大致水平的轉(zhuǎn)動軸452轉(zhuǎn)動自如地支撐于槽 壁83。本實施方式中，閘板450自身用空心形狀或比重小的材料進(jìn)行制作，從而作為在鍍覆 液中或水中漂浮的浮子使用。另外，與上述第一實施方式一樣，包括開閉狹縫狀開口部88b 的閘門裝置85，但圖中省略，只表示了閘板450及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)。 箱槽15處于空狀態(tài)時，閘板450因重力的作用而如虛線所示成為下垂?fàn)顟B(tài)，將擴(kuò) 張開口部88a打開。 朝箱槽15內(nèi)供給鍍覆液時，閘板(浮子)450因浮力的作用而朝關(guān)閉方向B1轉(zhuǎn)動， 與上方的限位件454抵接，從而被卡定于關(guān)閉位置，將擴(kuò)張開口部88a關(guān)閉。
[第五實施方式] 圖16和圖17是本發(fā)明的第五實施方式，在空平臺16與箱槽15之間的槽壁83上 設(shè)置有閘板550。圖16是俯視圖，圖17是圖16的XVII-XVII剖視圖，圖17中，在槽壁83的 箱槽15側(cè)的面上以傾斜姿勢固定有截面為大致-字形的滑動軌道558，在該滑動軌道558 內(nèi)滑動自如地支撐著平行四邊形的閘板550的一側(cè)端部550a。上述滑動軌道558以越是下 方越遠(yuǎn)離工件經(jīng)過口 88的形態(tài)傾斜，因此，閘板550朝上方移動時，朝著工件經(jīng)過口 88移 動而將擴(kuò)張開口部88a關(guān)閉，閘板550朝下方移動時，從工件經(jīng)過口 88離開而將擴(kuò)張開口 部88b打開。另外，在閘板550的軌道的上下端分別設(shè)置有關(guān)閉位置卡定用的限位件554 和打開位置卡定用的限位件553。 圖16中，在滑動軌道558上沿著軌道長度方向開設(shè)有槽558a，閘板550通過該槽 558a突出到外部。 本實施方式中，閘板550自身也成為浮子，其形成為空心狀，或用在鍍覆液中漂浮 的比重小的原材料(例如聚丙烯等)成形。 箱槽15內(nèi)處于空的狀態(tài)時，像圖17中用虛線表示的那樣，閘板550因自重而下降
至打開位置，被打開位置卡定用的限位件553卡定。S卩，擴(kuò)張開口部88a打開。 朝箱槽15內(nèi)供給鍍覆液時，閘板550因自身的浮力而上升，與上端的關(guān)閉位置卡
定用的限位件554抵接，從而將擴(kuò)張開口部88a保持于關(guān)閉狀態(tài)。[第六實施方式] 圖18和圖19是本發(fā)明的第六實施方式，是在空平臺16與箱槽15之間的槽壁83上包括螺旋移動型的閘板650的例子。 在表示俯視圖的圖18中，在槽壁83的箱槽15側(cè)的面上將導(dǎo)向筒655固接成大致 垂直姿勢，在該導(dǎo)向筒655內(nèi)上下方向移動自如且轉(zhuǎn)動自如地嵌合圓筒狀的浮子651 。
圖19是圖18的XIX-XIX剖視圖，在導(dǎo)向筒655的周壁上形成有將導(dǎo)向筒655的 內(nèi)部與外部連通的螺旋狹縫656，通過插通在該螺旋狹縫656內(nèi)的臂部650a使三角形的閘 板650與浮子651連結(jié)。 箱槽15內(nèi)處于空的狀態(tài)時，如雙點劃線所示，閘板650因重力的作用而與浮子651 一起下降至打開位置，位于與狹縫狀的開口部88b相反的一側(cè)。S卩，將擴(kuò)張開口部88a打開。
朝箱槽15內(nèi)供給鍍覆液時，通過浮子651的浮力的作用，浮子651和閘板650—體 上升，但臂部650a沿著螺旋狹縫656移動，從而使閘板650螺旋狀上升。而且，在上升后的 關(guān)閉位置上，閘板650轉(zhuǎn)動到擴(kuò)張開口部88a側(cè)，將擴(kuò)張開口部88a關(guān)閉。本實施方式中， 閘板650自身也使用空心形狀或比重小的材料，從而也可作為在鍍覆液中漂浮的浮子。
[第七實施方式] 圖20和圖21是本發(fā)明的第七實施方式，是在鍍覆槽14與箱槽15之間的槽壁82 上配置有閘板750的例子，通過浮子751上升，將擴(kuò)張開口部88a打開。
在表示關(guān)閉狀態(tài)的圖20中，包括與擴(kuò)張開口部88a的形狀對應(yīng)的三角形的上述 閘板750、以及通過繩761與該閘板750的臂部750a的另一端部連結(jié)的浮子751 。臂部750a 通過大致水平的轉(zhuǎn)動軸752轉(zhuǎn)動自如地支撐于槽壁82。 上述繩761從臂部750a朝下方延伸，巻掛于設(shè)置在箱槽15的下端部附近的轉(zhuǎn)向 滑輪762并朝上方折回。 如圖20所示，箱槽15處于大致空的狀態(tài)時，浮子751位于箱槽15的底面附近，閘 板750因自重而朝關(guān)閉方向Bl轉(zhuǎn)動，將擴(kuò)張開口部關(guān)閉。閘板750被限位件754卡定，從 而被保持于關(guān)閉位置。 朝箱槽15內(nèi)供給鍍覆液時，在浮力的作用下浮子751上升，通過繩761拉拽臂部 750a的另一端部，像圖21那樣使閘板75朝打開方向B2轉(zhuǎn)動，將擴(kuò)張開口部88a打開。
[其它實施方式] (1)上述圖l至圖21的實施方式中，為了開閉狹縫狀開口部88b，包括水平方向移 動自如的閘門部件93，并且，作為驅(qū)動該閘門部件93的驅(qū)動機(jī)構(gòu)94，包括一對管部件101、 102，但也可包括通過其它驅(qū)動機(jī)構(gòu)的作用沿水平方向移動的閘門部件。另外，也可采用通 過管部件的膨脹、利用管部件直接關(guān)閉狹縫狀開口部的構(gòu)造。 (2)本發(fā)明的閘門裝置不限定于鍍覆裝置，例如還能應(yīng)用于利用儲藏在處理液槽 內(nèi)的處理液來清洗工件的剝離槽等浸漬處理裝置。 本發(fā)明除了能應(yīng)用于鍍覆裝置以外，還能應(yīng)用于鉻酸鹽處理裝置、鋁的陽極氧化 處理裝置、電解研磨裝置或電解酸洗裝置等處理裝置。
權(quán)利要求
一種處理液槽，包括供液機(jī)構(gòu)和排液機(jī)構(gòu)，具有工件經(jīng)過口的閘門裝置設(shè)于槽壁，其特征在于，所述工件經(jīng)過口具有垂直姿勢的板狀工件能經(jīng)過的上下方向細(xì)長的狹縫狀開口部、在該狹縫狀開口部的上端形成且寬度比所述狹縫狀開口部的寬度大的擴(kuò)張開口部，所述閘門裝置包括利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)在大致水平方向上移動或變形來開閉所述狹縫狀開口部的閘門部件、該閘門部件以外的開閉所述擴(kuò)張開口部的閘板，所述閘板包括配置在處理液槽內(nèi)的浮子，通過處理液槽內(nèi)的處理液的增減引起的浮子的升降，使所述閘板在打開位置與關(guān)閉位置之間變更位置。
2. 如權(quán)利要求1所述的處理液槽，其特征在于，所述擴(kuò)張開口部形成為V字形。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的處理液槽，其特征在于，所述閘板固接于大致水平的轉(zhuǎn)動軸，通過繞該轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，所述閘板能在關(guān)閉位置與 打開位置之間變更位置，所述浮子固接于所述閘板的轉(zhuǎn)動軸，能與閘板一體轉(zhuǎn)動。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的處理液槽，其特征在于，所述浮子通過線狀部件與閘板連結(jié)，所述線狀部件從閘板朝下方延伸并通過轉(zhuǎn)向滑輪朝上方折回，在折回的上端部連結(jié)有 所述浮子。
全文摘要
一種處理液槽，具有工件經(jīng)過口，能將工件經(jīng)過口的開口面積控制在必要的最小限度，并能在短時間內(nèi)可靠地開閉工件經(jīng)過口整體。本發(fā)明的處理液槽包括供液機(jī)構(gòu)和排液機(jī)構(gòu)，并包括具有工件經(jīng)過口(88)的閘門裝置(85)。工件經(jīng)過口(88)具有垂直姿勢的板狀工件能經(jīng)過的上下方向細(xì)長的狹縫狀開口部(88b)、形成在該狹縫狀開口部(88b)的上端的擴(kuò)張開口部(88a)，上述閘門裝置(85)包括開閉狹縫狀開口部(88b)的閘門部件、該閘門部件以外的開閉上述擴(kuò)張開口部(88a)的閘板(50)。在上述閘板(150)上連動地連結(jié)有配置在處理液槽(15)內(nèi)的浮子(51)，通過處理液槽(15)內(nèi)的處理液的增減引起的浮子的升降，使閘板(50)在打開位置與關(guān)閉位置之間變更位置。
文檔編號C25D21/00GK101724882SQ20091020708
公開日2010年6月9日 申請日期2009年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月28日
發(fā)明者中川佳三, 奈良田忠昭 申請人:上村工業(yè)株式會社