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微電極的封裝裝置的制作方法

文檔序號:12099639閱讀:552來源:國知局

本實用新型涉及微電極技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種微電極的封裝裝置。



背景技術(shù):

微電極以其具有高穩(wěn)態(tài)電流密度、高傳質(zhì)速率、高信噪比、極小時間常數(shù)和極低歐姆電阻降等優(yōu)良的電化學(xué)特性,在光電化學(xué),生物電化學(xué),生物醫(yī)學(xué)等前沿領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。隨著制作技術(shù)不斷提高,微電極的尺寸向著更小化發(fā)展。如今電極的線寬尺寸主要包括微米級和納米級兩類。根據(jù)應(yīng)用要求,有需要用微電極測試微量溶液特性的情況,則需要對微電極進(jìn)行小范圍的局域封裝,即將一個微小容器封裝在微電極上以供盛放溶液,并使得溶液與微電極充分接觸?,F(xiàn)有的封裝工藝主要針對面積在毫米以上的微電極進(jìn)行機(jī)械封裝,微米級的平面微電極封裝鮮有提及。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種能夠精確完成微米級的平面微電極封裝的微電極的封裝裝置。

本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案為:一種微電極的封裝裝置,用于將一微小的管狀的容器封裝在微電極樣品上,其特征在于:包括依次設(shè)置的激光發(fā)射器、孔徑光闌、透光的支撐臺、光屏;

所述微電極樣品放置在所述支撐臺上,所述激光發(fā)射器發(fā)射的激光能夠通過孔徑光闌的處理而垂直傳播至所述微電極樣品上,進(jìn)而經(jīng)過微電極樣品衍射至光屏上以形成光斑,移動所述容器靠近微電極樣品上的微電極,使得激光穿過所述容器而不改變光斑形態(tài),進(jìn)而將所述容器黏固在微電極樣品上。

為了方便放置,還包括反光鏡,所述激光發(fā)射器、孔徑光闌和反光鏡依次沿水平方向排列設(shè)置,所述反光鏡、支撐臺和光屏依次沿豎直方向排列設(shè)置,所述反光鏡能夠反射激光而垂直照射至微電極樣品上。

優(yōu)選地,還包括有用于支撐安裝所述支撐臺和所述光屏的支撐裝置,所述支撐裝置包括有支撐本體,連接在所述支撐本體上的第一支架和第二支架,所述支撐臺安裝在所述第一支架上,所述光屏安裝在所述第二支架上,所述支撐臺位于所述反光鏡的上方,所述光屏位于所述支撐臺的上方。

方便地,所述支撐裝置安裝在第一升降臺上。

方便地,所述激光發(fā)射器安裝在第二升降臺上。

方便地,所述孔徑光闌安裝在第三升降臺上。

方便地,所述反光鏡安裝在第四升降臺上。

優(yōu)選地,所述支撐臺為載玻片。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的優(yōu)點在于:該微電極的封裝裝置利用光的直線傳播的原理,借助激光光束具有良好的方向性和單色性特點作為準(zhǔn)直矯正線,從而完成微小容器在微電極上的精準(zhǔn)封裝,可操作性強、操作簡單且封裝效果好。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中微電極的封裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

如圖1所示,本實施例中的微電極的封裝裝置,用于將一微小的管狀的容器1封裝在微電極樣品2上。該微電極的封裝裝置包括激光發(fā)射器3、孔徑光闌4、反光鏡7、支撐裝置8、透光的支撐臺5、光屏6。

其中激光發(fā)射器3、孔徑光闌4、反光鏡7保持適當(dāng)?shù)拈g隔依次沿水平方向排列設(shè)置其基本處于一條直線上。本實施例中激光發(fā)射器3安裝在第二升降臺31上,孔徑光闌4安裝在第三升降臺41上,反光鏡7安裝在第四升降臺71上。從而分別通過第二升降臺31、第三升降臺41和第四升降臺71以對應(yīng)調(diào)節(jié)激光發(fā)射器3、孔徑光闌4、反光鏡7的上下位置,進(jìn)而在使用過程中實現(xiàn)激光發(fā)射器3、孔徑光闌4、反光鏡7豎直方向上的對準(zhǔn)。

反光鏡7、支撐臺5和光屏6保持適當(dāng)?shù)拈g隔依次沿豎直方向排列設(shè)置,支撐臺5和光屏6則均安裝在支撐裝置8。該支撐裝置8包括有支撐本體81、連接在支撐本體81上的第一支架82和第二支架83。支撐臺5安裝在第一支架82上,光屏6安裝在第二支架83上,支撐臺5位于反光鏡7的上方,光屏6位于支撐臺5的上方。反光鏡7的安裝角度根據(jù)實際情況設(shè)置,保證經(jīng)過反光鏡7反射的激光能夠垂直照射在放置在支撐臺5上的微電極樣品2上。本實施例中的支撐臺5采用載玻片。支撐裝置8安裝在第一升降臺84上以實現(xiàn)支撐裝置8上下移動,從而調(diào)整支撐臺5和光屏6距離反光鏡7的豎直距離。

本實施例中以一塑料細(xì)管作為細(xì)胞容器1封裝在光刻叉指微電極樣品2上為例,說明該微電極的封裝裝置將一微小的管狀的容器1封裝在微電極樣品2上的過程如下:

1、準(zhǔn)備工作。

首先,采用雙光子負(fù)刻蝕方法制作出微電極21圖案,經(jīng)過清洗、鍍膜、去膠之后,形成叉指電極對部分為金屬材料、相鄰叉指之間間隔為透明玻璃的微電極樣品2。

其次,將微小的塑料管截取一段,將截取的塑料管的兩端底部機(jī)械切割平整。

再者,對封裝所需裝置進(jìn)行準(zhǔn)備,按前述位置需求一一擺放。

2、打開激光發(fā)射器3,將激光發(fā)射器3調(diào)節(jié)至適當(dāng)功率。

3、通過第三升降臺41調(diào)節(jié)孔徑光闌4的高度,使激光發(fā)射器3發(fā)射的紅色激光光束剛好可以從孔徑光闌4的孔徑內(nèi)通過,此時用紙板遮住光路,觀察激光在紙板上形成的光斑,調(diào)節(jié)孔徑光闌4孔徑大小使激光光束變得更細(xì),直至顯示在紙板上的光斑清晰細(xì)致。

4、調(diào)節(jié)反射鏡的角度,使其與鏡面與水平面保持45度角。同時通過第四升降臺71調(diào)整反光鏡7的高度至合適位置,從而使得自孔徑光闌4中傳播出的紅色激光光束經(jīng)反射鏡的反射作用后由水平傳播變?yōu)樨Q直傳播,進(jìn)而傳播至支撐臺5方向。

5、將一塊干凈透明的載玻片固定在第一支架82上,調(diào)整第一升降臺84的水平位置,進(jìn)而實現(xiàn)第一支架82位置的調(diào)節(jié),以及使經(jīng)反光鏡7反射的激光束恰好垂直通過載玻片的中心位置,將微電極樣品2放置在載玻片的中心位置,并使微電極樣品2上的微電極21極致地接近激光光束所在的中心位置。微電極21叉指電極對一般由金、鉑等無礙于細(xì)胞生長的金屬材料制作,相鄰叉指之間的間隔沒有金屬材料,僅僅是透明的玻璃,所以光束可以穿過透明玻璃,而被金屬阻擋,從而為校準(zhǔn)封裝提供了依據(jù)。

6、如步驟3調(diào)節(jié)孔徑光闌4的孔徑大小,使激光光束通過微電極21所發(fā)生的干涉衍射光斑越少越小越好,最好調(diào)至只有一個清晰可辨的精細(xì)光斑。

7、將光屏6安裝在第二支架83上,若光屏6上出現(xiàn)激光光束的衍射光斑,則證明激光確實穿過微電極21,進(jìn)而通過光屏6觀察光斑的變化。

8、將配好的環(huán)氧樹脂膠用玻璃棒輕輕均勻地適量涂抹在容器1的底部。

9、用鑷子夾住涂好膠的容器1,順著光束的傳播方向向微電極樣品2上的微電極21緩緩靠近,并實時觀察光屏6上光斑的變化。激光光束若能順利自容器1上口穿出,則光屏6上的光斑與原來一致,則說明容器1和微電極21校準(zhǔn)成功。

10、保持步驟9中光斑的狀態(tài),輕輕地將容器1涂抹環(huán)氧樹脂膠的一端放在微電極樣品2上,等待20分鐘,使容器1底部的環(huán)氧樹脂膠緩慢自然的與微電極樣品2貼合。

11、最后,將封裝好的微電極樣品2輕緩移至光學(xué)顯微鏡的載物臺上固定,打開顯微鏡,進(jìn)行觀察。確認(rèn)微電極21己經(jīng)封裝好以后,置于室溫下讓膠固化24小時。

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