技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，所述器件可設(shè)置有一個或多個燒結(jié)電觸點。所述MEMS器件可為MEMS致動器或MEMS傳感器。所述燒結(jié)電觸點可為銀糊劑金屬化電觸點。所述燒結(jié)電觸點可通過以下步驟形成：在被釋放的MEMS器件的晶片上沉積燒結(jié)材料諸如金屬糊劑、金屬預(yù)成型件、金屬油墨或金屬粉末，并加熱所述晶片使得所述被沉積的燒結(jié)材料擴散至所述器件的襯底中，從而與所述器件形成電接觸。所述被沉積的燒結(jié)材料在所述燒結(jié)過程中可沖破所述襯底上的絕緣層。所述MEMS器件可為具有第一MEMS致動器和第二MEMS致動器的多自由度致動器，所述第一MEMS致動器和第二MEMS致動器促進攝像機的自動對焦、變焦和光學(xué)圖像穩(wěn)定。

技術(shù)研發(fā)人員：R·C·古蒂瑞茲
受保護的技術(shù)使用者：數(shù)字光學(xué)MEMS公司
文檔號碼：201480072490
技術(shù)研發(fā)日：2014.11.06
技術(shù)公布日：2016.11.23