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微機(jī)電系統(tǒng)電觸點(diǎn)系統(tǒng)和方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11849233

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微機(jī)電系統(tǒng)電觸點(diǎn)系統(tǒng)和方法相關(guān)專利申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求于2013年11月11日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)No.61/902,748的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益,該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以引用方式并入本文。技術(shù)領(lǐng)域一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例整體涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),并且更具體地講涉及用于MEMS器件的電觸點(diǎn)。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件諸如MEMS致動(dòng)器和MEMS傳感器是熟知的??墒褂酶鞣N晶片級(jí)加工技術(shù)制作MEMS器件。在晶片制造過(guò)程中,通常使用金屬濺射和圖案化工藝形成用于MEMS器件的電觸點(diǎn)。特別是MEMS器件通常...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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