用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)及多晶硅生產(chǎn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)及多晶硅生產(chǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，利用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅占80%以上，其機(jī)理是氫氣和三氯氫硅在發(fā)熱的高溫硅芯上發(fā)生還原反應(yīng)生成硅并沉積在硅棒上，由于反應(yīng)生產(chǎn)的硅不能全部沉積在硅芯棒上，尤其是采用高濃度三氯氫硅混合氣或添加二氯二氫硅運行時，會有一部分以無定形硅的形式被還原尾氣帶出多晶硅還原爐，進(jìn)入后續(xù)干法回收系統(tǒng)，無定形硅會在管路系統(tǒng)中沉積，造成管道、換熱器甚至后續(xù)干法回收系統(tǒng)堵塞，產(chǎn)生安全隱患并影響系統(tǒng)的正常運行。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的主要目的在于提供一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的還原尾氣出口等易因硅塊累積而堵塞的問題。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，還原尾氣除塵系統(tǒng)包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進(jìn)行凈化處理的靜電除塵結(jié)構(gòu)。
[0005]進(jìn)一步地，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括收集裝置，設(shè)置在靜電除塵結(jié)構(gòu)的下方以收集靜電除塵結(jié)構(gòu)吸附的粉塵。
[0006]進(jìn)一步地，收集裝置具有便于清除收集的粉塵的第一開口和與靜電除塵結(jié)構(gòu)連通的第二開口。
[0007]進(jìn)一步地，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括設(shè)置在靜電除塵結(jié)構(gòu)和收集裝置之間的除塵輸送管路，在除塵輸送管路上設(shè)置開關(guān)閥以控制除塵輸送管路的通斷。
[0008]進(jìn)一步地，除塵輸送管路沿豎直方向布置。
[0009]進(jìn)一步地，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與靜電除塵結(jié)構(gòu)連通的第一還原尾氣輸送管路。
[0010]進(jìn)一步地，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與除塵輸送管路連通的第二還原尾氣輸送管路。
[0011 ] 進(jìn)一步地，靜電除塵結(jié)構(gòu)包括多個平行排列的電離極和多個平行排列的集塵極，電離極的電勢高于集塵極的電勢。
[0012]根據(jù)本實用新型的另一方面，提供了一種多晶硅生產(chǎn)裝置，包括具有還原尾氣出口的多晶硅還原爐和設(shè)置在還原尾氣出口的還原尾氣除塵系統(tǒng)，還原尾氣除塵系統(tǒng)為前述的還原尾氣除塵系統(tǒng)。
[0013]應(yīng)用本實用新型的技術(shù)方案，由于還原尾氣除塵系統(tǒng)包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進(jìn)行凈化處理的靜電除塵結(jié)構(gòu)，利用靜電除塵結(jié)構(gòu)的靜電除塵原理可以吸附還原尾氣中的無定形硅等粉塵，有效避免了上述粉塵堵塞還原尾氣口或者后續(xù)設(shè)備，從而保證了還原尾氣管道的暢通。
【附圖說明】
[0014]構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0015]圖1示出了根據(jù)本實用新型的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)的實施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖；以及
[0016]圖2示出了根據(jù)本實用新型的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)與多晶硅還原爐連接的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:
[0018]1、靜電除塵結(jié)構(gòu)；2、開關(guān)閥；3、收集裝置；10、第一還原尾氣輸送管路；20、除塵輸送管路；30、第二還原尾氣輸送管路；40、多晶硅還原爐。
【具體實施方式】
[0019]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細(xì)說明本實用新型。
[0020]如圖1和圖2所示，本實用新型的實施例提供了一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，還原尾氣除塵系統(tǒng)包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進(jìn)行凈化處理的靜電除塵結(jié)構(gòu)I。
[0021]通過上述設(shè)置，利用靜電除塵結(jié)構(gòu)的靜電除塵原理可以吸附還原尾氣中的無定形硅等粉塵，有效避免了上述粉塵堵塞還原尾氣口或者后續(xù)設(shè)備，從而保證了還原尾氣管道的暢通。
[0022]本實用新型的實施例中，靜電除塵結(jié)構(gòu)I包括多個平行排列的電離極和多個平行排列的集塵極，電離極的電勢高于集塵極的電勢。
[0023]通過在電離極附近放電，帶電離子附著在空氣中的上述粉塵顆粒上并使粉塵顆粒帶電。帶電的粉塵顆粒被集塵極吸附，附著在集塵極表面，以實現(xiàn)靜電除塵的目的。
[0024]如圖1和圖2所示，本實用新型的實施例中，為了有效收集無定形硅等粉塵，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括收集裝置3以及設(shè)置在靜電除塵結(jié)構(gòu)I和收集裝置3之間的除塵輸送管路20。其中，收集裝置3設(shè)置在靜電除塵結(jié)構(gòu)I的下方以收集靜電除塵結(jié)構(gòu)I吸附的粉塵。
[0025]具體地，收集裝置3具有便于清除收集的粉塵的第一開口和與靜電除塵結(jié)構(gòu)I連通的第二開口。利用第一開口可以在在多晶硅還原爐停爐運行期間便于位于清理收集裝置3內(nèi)的粉塵，利用第二開口可順利將靜電除塵結(jié)構(gòu)I吸附的粉塵輸送至收集裝置3。
[0026]另外，收集裝置3與除塵輸送管路20可拆卸地連接，便于定期清理。
[0027]在圖1所示的實施方式中，除塵輸送管路20沿豎直方向布置。在多晶硅還原爐運行期間，靜電除塵結(jié)構(gòu)I吸附的粉塵在重力的作用下便于隨著除塵輸送管路20落入收集裝置3內(nèi)部。
[0028]當(dāng)然，在圖中未給出的實施方式中，還可以設(shè)置振動裝置，利用振動裝置產(chǎn)生的振動使靜電除塵結(jié)構(gòu)I吸附的粉塵順利掉落至收集裝置3。
[0029]如圖1和圖2所示，本實用新型的實施例中，在除塵輸送管路20上還設(shè)置有開關(guān)閥2以控制除塵輸送管路20的通斷。設(shè)置開關(guān)閥便于收集裝置3在運行期間的切入和退出。
[0030]在圖1所示的實施例中，還原尾氣除塵系統(tǒng)具有下述優(yōu)點:
[0031](I)用于收集無定形硅等粉塵的收集裝置3可拆卸，便于定期清理，操作簡單易行；
[0032](2)減少了對堵塞管路的清洗次數(shù)，節(jié)約了維護(hù)成本；
[0033](3)采用靜電除塵，除塵效率高，凈化氣量大，能夠除去的粒子粒徑范圍較寬；最主要的是可凈化溫度較高含塵煙氣，能耗較其它類型除塵器低；
[0034](4)靜電除塵結(jié)構(gòu)I可以實現(xiàn)微機(jī)控制，遠(yuǎn)距離操作，使操作環(huán)境更加安全，舒適。
[0035]如圖1所示，本實用新型的實施例中，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與靜電除塵結(jié)構(gòu)I連通的第一還原尾氣輸送管路10。
[0036]利用第一還原尾氣輸送管路10可便于將待凈化的還原尾氣輸送至還原尾氣除塵系統(tǒng)。
[0037]如圖1所示，本實用新型的實施例中，還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與除塵輸送管路20連通的第二還原尾氣輸送管路30。
[0038]利用第二還原尾氣輸送管路30可以將凈化后的還原尾氣輸送至其他部件以進(jìn)行回收利用。
[0039]如圖2所示，本實用新型還提供了一種多晶硅生產(chǎn)裝置。多晶硅生產(chǎn)裝置包括具有還原尾氣出口的多晶硅還原爐40和設(shè)置在還原尾氣出口的還原尾氣除塵系統(tǒng)，還原尾氣除塵系統(tǒng)為前述的還原尾氣除塵系統(tǒng)。
[0040]在本實用新型的實施例中，多晶硅生產(chǎn)裝置還包括設(shè)置在多晶硅還原爐下游的換熱器以及干法回收系統(tǒng)。通過在多晶硅還原爐和換熱器之間的還原尾氣輸送管道上設(shè)置上述還原尾氣除塵系統(tǒng)，可極大程度減少多晶硅還原爐內(nèi)無定形硅等粉塵進(jìn)入后續(xù)換熱器及干法回收系統(tǒng)的幾率，避免了無定形硅在后續(xù)設(shè)備和干法系統(tǒng)管道中的沉積而造成的管路堵塞，確保了多晶硅生產(chǎn)裝置的正常運行。
[0041]從以上的描述中，可以看出，本實用新型上述的實施例實現(xiàn)了如下技術(shù)效果:還原尾氣除塵系統(tǒng)包括靜電除塵結(jié)構(gòu)、收集裝置以及設(shè)置在靜電除塵結(jié)構(gòu)和收集裝置之間的沿豎直方向布置的除塵輸送管路，利用靜電除塵結(jié)構(gòu)可有效降低無定形硅粉塵進(jìn)入其他系統(tǒng)的幾率，避免粉塵堵塞管路；進(jìn)一步地，減少對堵塞管路的清洗次數(shù)，節(jié)約維護(hù)成本。
[0042]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)包括對來自所述多晶硅還原爐(40)的還原尾氣進(jìn)行凈化處理的靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括收集裝置(3)，設(shè)置在所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)的下方以收集所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)吸附的粉塵。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述收集裝置(3)具有便于清除收集的所述粉塵的第一開口和與所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)連通的第二開口。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括設(shè)置在所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)和所述收集裝置(3)之間的除塵輸送管路(20)，在所述除塵輸送管路(20)上設(shè)置開關(guān)閥(2)以控制所述除塵輸送管路(20)的通斷。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述除塵輸送管路(20)沿豎直方向布置。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)連通的第一還原尾氣輸送管路(10)。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)還包括與所述除塵輸送管路(20)連通的第二還原尾氣輸送管路(30)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述靜電除塵結(jié)構(gòu)(I)包括多個平行排列的電離極和多個平行排列的集塵極，所述電離極的電勢高于所述集塵極的電勢。9.一種多晶硅生產(chǎn)裝置，包括具有還原尾氣出口的多晶硅還原爐(40)和設(shè)置在所述還原尾氣出口的還原尾氣除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述還原尾氣除塵系統(tǒng)為根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的還原尾氣除塵系統(tǒng)。
【專利摘要】本實用新型提供了一種用于多晶硅還原爐的還原尾氣除塵系統(tǒng)及多晶硅生產(chǎn)裝置。其中，還原尾氣除塵系統(tǒng)包括對來自多晶硅還原爐的還原尾氣進(jìn)行凈化處理的靜電除塵結(jié)構(gòu)。根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案，利用靜電除塵結(jié)構(gòu)的靜電除塵原理可以吸附還原尾氣中的無定形硅等粉塵，有效避免了上述粉塵堵塞還原尾氣口或者后續(xù)設(shè)備，從而保證了還原尾氣管道的暢通。
【IPC分類】B03C3/34, B03C3/04, B03C3/40
【公開號】CN204746589
【申請?zhí)枴緾N201520461598
【發(fā)明人】孫強(qiáng), 萬燁, 嚴(yán)大洲
【申請人】中國恩菲工程技術(shù)有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年6月30日