專利名稱:一種硅粉去除工藝設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅粉去除工藝設(shè)備,包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉(cāng)室,除塵器倉(cāng)室由中效過(guò)濾器隔離成濾前室和濾后室兩部分,濾前室設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,濾后室設(shè)有出風(fēng)口;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉(cāng)室,投料器倉(cāng)室上部設(shè)有出風(fēng)口,其中部設(shè)有進(jìn)料篩,其下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,其底部設(shè)有漏斗形碎料出口,漏斗形碎料出口設(shè)有密封蓋,進(jìn)料篩與投料器倉(cāng)室內(nèi)部水平滑配連接,當(dāng)進(jìn)料篩推進(jìn)投料器倉(cāng)室時(shí),進(jìn)料篩外端壁與投料器倉(cāng)室外壁密封配合,還包括風(fēng)機(jī);上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風(fēng)機(jī)通過(guò)管路連通形成閉合循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)。本實(shí)用新型具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】一種硅粉去除工藝設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅粉去除工藝設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅料(水爆碎料)在裝爐過(guò)程中,由于其含有硅粉,容易對(duì)爐內(nèi)環(huán)境造成污染,從而影響到產(chǎn)品的質(zhì)量,硅粉如果粘到單晶爐內(nèi)電路上還容易造成單晶爐過(guò)電流,進(jìn)而發(fā)生燜爐事故。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種硅粉去除工藝設(shè)備,它具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點(diǎn)。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種硅粉去除工藝設(shè)備,包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉(cāng)室,除塵器倉(cāng)室由中效過(guò)濾器隔離成濾前室和濾后室兩部分,濾前室設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,濾后室設(shè)有出風(fēng)口 ;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉(cāng)室,投料器倉(cāng)室上部設(shè)有出風(fēng)口,其中部設(shè)有進(jìn)料篩,其下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,其底部設(shè)有漏斗形碎料出口,漏斗形碎料出口設(shè)有密封蓋,進(jìn)料篩與投料器倉(cāng)室內(nèi)部水平滑配連接,當(dāng)進(jìn)料篩推進(jìn)投料器倉(cāng)室時(shí),進(jìn)料篩外端壁與投料器倉(cāng)室外壁密封配合,還包括風(fēng)機(jī);上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風(fēng)機(jī)通過(guò)管路連通形成閉合循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)。
[0006]本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)在于:
[0007]風(fēng)機(jī)位于硅粉除塵器和投料器之間。
[0008]硅粉除塵器的濾后室通過(guò)空氣過(guò)濾器與大氣連通。
[0009]投料器倉(cāng)室上部設(shè)有泄壓蝶閥。
[0010]硅粉投料器的進(jìn)料篩的篩面為不銹鋼篩網(wǎng),在硅粉投料器內(nèi)設(shè)有四氟空氣導(dǎo)流隔板,四氟空氣導(dǎo)流隔板布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導(dǎo)流孔。四氟空氣導(dǎo)流隔板周邊與進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)料篩之間的投料器倉(cāng)室內(nèi)壁連接。
[0011]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0012]本實(shí)用新型通過(guò)通過(guò)設(shè)備利用電機(jī)帶動(dòng)葉輪,產(chǎn)生循環(huán)風(fēng),利用循環(huán)風(fēng)將硅粉投料器內(nèi)硅粉吸入硅粉除塵器,經(jīng)中效過(guò)濾器過(guò)濾,硅粉被中效過(guò)濾器過(guò)濾網(wǎng)攔住留在除塵器濾前室,從而達(dá)到原料無(wú)硅粉的效果。硅粉除塵器的濾后室通過(guò)空氣過(guò)濾器與大氣連通,使硅粉除塵器的濾后室與大氣壓接近,避免因壓差太大對(duì)設(shè)備造成的影響;硅粉投料器的進(jìn)料篩的篩面為不銹鋼篩網(wǎng),在硅粉投料器內(nèi)設(shè)有四氟空氣導(dǎo)流隔板,四氟空氣導(dǎo)流隔板布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導(dǎo)流孔。四氟空氣導(dǎo)流隔板周邊與進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)料篩之間的投料器倉(cāng)室內(nèi)壁連接,使循環(huán)空氣均勻通過(guò)進(jìn)料篩,提高除塵效果,本實(shí)用新型通過(guò)濾除多晶硅料中含有的硅粉,使單晶爐進(jìn)料純凈,避免因硅粉的污染對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成的影響,并可以避免因硅粉造成單晶爐內(nèi)電路短路現(xiàn)象的發(fā)生,從而避免燜爐事故,具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]在附圖中:1、中效過(guò)濾器;2、除塵器濾前室;3、風(fēng)機(jī);4、泄壓蝶閥;5、進(jìn)料篩;6、漏斗形碎料出口 ;7、管路;8、除塵器濾后室;9、空氣過(guò)濾器;10、四氟空氣導(dǎo)流隔板。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0016]由圖1所示的實(shí)施例可知,本實(shí)施例包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉(cāng)室,除塵器倉(cāng)室由中效過(guò)濾器I隔離成濾前室2和濾后室8兩部分,濾前室2設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,硅粉除塵器的濾后室8通過(guò)空氣過(guò)濾器9與大氣連通,濾后室8設(shè)有出風(fēng)口 ;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉(cāng)室,投料器倉(cāng)室上部設(shè)有出風(fēng)口,其中部設(shè)有進(jìn)料篩5,其下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,其底部設(shè)有漏斗形碎料出口 6,漏斗形碎料出口 6設(shè)有密封蓋,進(jìn)料篩5與投料器倉(cāng)室內(nèi)部水平滑配連接,當(dāng)進(jìn)料篩5推進(jìn)投料器倉(cāng)室時(shí),進(jìn)料篩5外端壁與投料器倉(cāng)室外壁密封配合,硅粉投料器的進(jìn)料篩5的篩面為不銹鋼篩網(wǎng),在硅粉投料器內(nèi)設(shè)有四氟空氣導(dǎo)流隔板10,四氟空氣導(dǎo)流隔板10布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導(dǎo)流孔。四氟空氣導(dǎo)流隔板10周邊與進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)料篩5之間的投料器倉(cāng)室內(nèi)壁連接,投料器倉(cāng)室上部設(shè)有泄壓蝶閥4 ;還包括風(fēng)機(jī)3 ;硅粉投料器的出風(fēng)口與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口、風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與硅粉除塵器的進(jìn)風(fēng)口硅粉除塵器的出風(fēng)口與硅粉投料器的進(jìn)風(fēng)口依次通過(guò)管路7連通。
[0017]使用方法:
[0018]開啟風(fēng)機(jī)電源后,空運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備I小時(shí)后,開啟泄壓蝶閥,將多晶硅料通過(guò)進(jìn)料篩裝入硅粉投料器,多晶硅料需在進(jìn)料篩內(nèi)進(jìn)行平鋪,原料放置完畢后,關(guān)閉泄壓蝶閥。設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)1-3分鐘后,打開泄壓蝶閥,完成除塵工作,設(shè)備運(yùn)行停止后,取出原料,倒入規(guī)定料筐中備用;進(jìn)入除塵器濾前室的硅粉沉淀,由工作人員開啟濾前室門進(jìn)行硅粉收集,收集的硅粉料將再次降級(jí)使用。
【權(quán)利要求】
1.一種硅粉去除工藝設(shè)備,其特征在于:包括硅粉除塵器,所述硅粉除塵器包括除塵器倉(cāng)室,所述除塵器倉(cāng)室由中效過(guò)濾器(I)隔離成濾前室(2)和濾后室(8)兩部分,所述濾前室(2)設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,所述濾后室(8)設(shè)有出風(fēng)口 ;還包括硅粉投料器,所述硅粉投料器包括投料器倉(cāng)室,所述投料器倉(cāng)室上部設(shè)有出風(fēng)口,其中部設(shè)有進(jìn)料篩(5),其下部設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,其底部設(shè)有漏斗形碎料出口出),所述漏斗形碎料出口(6)設(shè)有密封蓋,所述進(jìn)料篩(5)與所述投料器倉(cāng)室內(nèi)部水平滑配連接,當(dāng)所述進(jìn)料篩(5)推進(jìn)投料器倉(cāng)室時(shí),所述進(jìn)料篩(5)外端壁與所述投料器倉(cāng)室外壁密封配合,還包括風(fēng)機(jī)(3);上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風(fēng)機(jī)(3)通過(guò)管路(7)連通形成閉合循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng);所述硅粉投料器的進(jìn)料篩(5)的篩面為不銹鋼篩網(wǎng),在所述硅粉投料器內(nèi)設(shè)有四氟空氣導(dǎo)流隔板(10),所述四氟空氣導(dǎo)流隔板(10)布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導(dǎo)流孔,所述四氟空氣導(dǎo)流隔板(10)周邊與進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)料篩(5)之間的投料器倉(cāng)室內(nèi)壁連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅粉去除工藝設(shè)備,其特征在于:所述風(fēng)機(jī)(3)位于所述硅粉除塵器和所述投料器之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅粉去除工藝設(shè)備,其特征在于:所述硅粉除塵器的濾后室(8)通過(guò)空氣過(guò)濾器(9)與大氣連通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅粉去除工藝設(shè)備,其特征在于:所述投料器倉(cāng)室上部設(shè)有泄壓蝶閥⑷。
【文檔編號(hào)】B07B9-00GK204294507SQ201420724962
【發(fā)明者】周志超, 劉英江, 李紅友, 左丙臣, 董博雨 [申請(qǐng)人]寧晉晶興電子材料有限公司