一種勻膠機(jī)用免清洗罩的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及到微納米技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種勻膠機(jī)用免清洗罩。
【背景技術(shù)】
[0002]勾膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱用膠機(jī)、勾膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。只是勻膠機(jī)由于旋轉(zhuǎn)光刻膠使得勻膠機(jī)機(jī)臺(tái)內(nèi)壁有大量的光刻膠玷污清洗時(shí)不太容易清潔徹底，反而給本該便捷的工作帶來(lái)了繁瑣。
[0003]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種勻膠機(jī)用免清洗罩，該清洗罩罩底上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽，還均勻分布有十二條徑向槽，此方法設(shè)計(jì)的免清洗的罩子可以一次性使用，省力、省事又省時(shí)，也避免了清洗勻膠機(jī)機(jī)臺(tái)的損耗，減少了勞力，降低了成本，簡(jiǎn)單耐用易安裝。該新型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)合理，使用方便快捷，適合推廣使用。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服【背景技術(shù)】中存在的缺陷，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種勻膠機(jī)用免清洗罩，包括罩底、罩沿和安裝孔，所述罩底的外沿上設(shè)有罩沿，所述罩沿的高度為8厘米，所述罩底的中心設(shè)有安裝孔，所述罩底上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽，所述罩底上均勻分布有十二條徑向槽，相鄰兩個(gè)環(huán)形槽之間的距離為3厘米。
[0005]本實(shí)用新型所涉及的一種勻膠機(jī)用免清洗罩，該清洗罩罩底上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽，還均勻分布有十二條徑向槽，此方法設(shè)計(jì)的免清洗的罩子可以一次性使用，省力、省事又省時(shí)，也避免了清洗勻膠機(jī)機(jī)臺(tái)的損耗，減少了勞力，降低了成本，簡(jiǎn)單耐用易安裝。該新型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)合理，使用方便快捷，適合推廣使用。
【附圖說(shuō)明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0007]圖1是本實(shí)用新型一種勻膠機(jī)用免清洗罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2是圖1中A出的局部放大圖；
[0009]其中:1、罩底;2、罩沿;3、安裝孔;4、環(huán)形槽;5、徑向槽。
【具體實(shí)施方式】
[0010]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。附圖為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0011 ]具體實(shí)施例，請(qǐng)參閱圖1、圖2，一種勻膠機(jī)用免清洗罩，包括罩底1、罩沿2和安裝孔3，所述罩底I的外沿上設(shè)有罩沿2，所述罩沿2的高度為8厘米，所述罩底I的中心設(shè)有安裝孔3，所述罩底I上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽4，所述罩底I上均勻分布有十二條徑向槽5，相鄰兩個(gè)環(huán)形槽4之間的距離為3厘米。
[0012]本實(shí)用新型所涉及的一種勻膠機(jī)用免清洗罩，該清洗罩罩底上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽，還均勻分布有十二條徑向槽，此方法設(shè)計(jì)的免清洗的罩子可以一次性使用，省力、省事又省時(shí)，也避免了清洗勻膠機(jī)機(jī)臺(tái)的損耗，減少了勞力，降低了成本，簡(jiǎn)單耐用易安裝。該新型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)合理，使用方便快捷，適合推廣使用。
[0013]顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種勻膠機(jī)用免清洗罩，包括罩底(I)、罩沿(2)和安裝孔(3)，其特征在于:所述罩底(I)的外沿上設(shè)有罩沿(2)，所述罩沿(2)的高度為8厘米，所述罩底(I)的中心設(shè)有安裝孔(3)，所述罩底(I)上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽(4)，所述罩底(I)上均勻分布有十二條徑向槽(5)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種勻膠機(jī)用免清洗罩，其特征在于，相鄰兩個(gè)環(huán)形槽(4)之間的距離為3厘米。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及到微納米技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種勻膠機(jī)用免清洗罩。該勻膠機(jī)包括罩底、罩沿和安裝孔，該清洗罩罩底上設(shè)有四個(gè)環(huán)形槽，還均勻分布有十二條徑向槽，此方法設(shè)計(jì)的免清洗的罩子可以一次性使用，省力、省事又省時(shí)，也避免了清洗勻膠機(jī)機(jī)臺(tái)的損耗，減少了勞力，降低了成本，簡(jiǎn)單耐用易安裝。該新型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)合理，使用方便快捷，適合推廣使用。
【IPC分類】B05C11/00
【公開號(hào)】CN205308728
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620038287
【發(fā)明人】王云翔
【申請(qǐng)人】蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年1月15日