一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，WiFi型端蓋包括圓形端面和下腔體，圓形端面和下腔體之間固定連接；圓形端面的中心設(shè)有中心圓，中心圓的四周向外擴(kuò)散均勻排布有若干圈小圓孔，同一圈上的小圓孔直徑大小均相同，最外圈的小圓孔向外擴(kuò)散有兩列相互對稱的圓弧槽，每列圓弧槽成WiFi型排布；下腔體的中心設(shè)有抽氣孔，抽氣孔外圍設(shè)有若干圈擋膠板，每圈擋膠板上設(shè)有兩個位置相對的擋膠板。本發(fā)明通過旋轉(zhuǎn)托盤端蓋，利用擋膠板遮住圓弧槽的范圍的不同，可實現(xiàn)調(diào)節(jié)基片所受真空吸附力的大小，因此可適應(yīng)不同厚度基片的旋涂要求，在滿足其旋涂性能要求的同時，減小基片形變量。
【專利說明】
一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的w i FI型端蓋
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于勻膠機(jī)設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的光刻膠勻膠臺采用真空吸片的方式吸住硅片，但現(xiàn)有的硅片承片臺無法有效的阻擋光刻膠在甩動過程中滲入真空吸片口中，原因在于:現(xiàn)有的技術(shù)中，硅片與真空吸片口直接接觸，勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)過程中，光刻膠受旋轉(zhuǎn)離心力和表面張力的聯(lián)合作用，被展開成一層薄膜，其中甩動過程中被甩出至硅片邊緣的膠滴，由于硅片邊緣與承片臺吸片口的壓力差和膠體的表面張力的作用，部分硅片邊緣的膠滴會沿著硅片的背面被吸入真空吸片口中，從而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，從而造成光刻膠薄膜的均勻性變差，同時會對勻膠臺造成損傷。
[0003]在專利號為:ZL201310686050.5、發(fā)明專利名稱為:勻膠機(jī)托盤結(jié)構(gòu)的專利中，雖然通過在硅片承片臺的中間開設(shè)儲膠槽，使光刻膠在甩動過程中被甩出至硅片背面的膠水在重力的作用下首先流入到儲膠槽中，從而阻擋光刻膠被吸入真空吸片口內(nèi)，解決真空吸片口因吸入光刻膠而導(dǎo)致的吸力不足或堵塞的問題。但是，在實踐過程中，由于真空吸口片與硅片承載平面間會有一段空間距離，因此，硅片會在真空吸片口處承受較大的向下作用的吸力，而在中空的儲膠槽的上方卻沒有向上的支撐力支撐，導(dǎo)致整個硅片的受力不均勻，從而會有硅片向下凹陷變形的情況出現(xiàn)，使得加工后的硅片不符合產(chǎn)品的要求。
[0004]并且，上述專利在實踐過程中，并沒有完全解決真空吸片口因吸入光刻膠而導(dǎo)致的吸力不足或堵塞的問題，原因在于:位于真空吸片口的正上方的硅片的背面的部分膠滴會處在真空吸片口的正上方，可以直接滴落至真空吸片口中，或者是通過真空吸片口的吸力直接吸入真空吸片口中，從而堵塞真空吸片口。
[0005]在旋涂工藝過程中，不同厚度的基片所需真空吸附力不同，當(dāng)基片所受真空吸力過大時其形變量會增大，因此影響旋涂工藝性能指標(biāo);而當(dāng)基片所受真空吸附力不足時，其將發(fā)生“飛片”現(xiàn)象。而現(xiàn)有托盤為滿足不同厚度的基片的吸附要求，需要更換不同樣式的托盤，從而增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
[0006]此外，專利號為:ZL201310685767.8、發(fā)明專利名稱為:防止膠吸入的勻膠機(jī)托盤;專利號為:ZL 201310685554.5、發(fā)明專利名稱為:帶保護(hù)結(jié)構(gòu)的勻膠機(jī)托盤;兩篇專利中，也會有上述的2個問題存在。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明目的:為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋。
[0008]技術(shù)方案:一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，所述的WiFi型端蓋固定安裝在勻膠機(jī)托盤的真空吸片口上，所述WiFi型端蓋包括圓形端面和與所述圓形端面相匹配的下腔體；
[0009]所述圓形端面的中心設(shè)有中心圓，所述中心圓的四周向外擴(kuò)散均勻排布有若干圈小圓孔，同一圈上的小圓孔直徑大小均相同，最外圈的小圓孔向外擴(kuò)散有兩列相互對稱的圓弧槽，所述每列圓弧槽成WiFi型排布；
[0010]所述下腔體的中心設(shè)有抽氣孔，所述抽氣孔呈圓臺狀，所述抽氣孔外圍設(shè)有若干圈擋膠板，每圈擋膠板上設(shè)有兩個位置相對的擋膠板，相鄰兩圈的擋膠板互相之間均呈90°交錯排布；
[0011]所述圓形端面和下腔體之間通過插拔旋轉(zhuǎn)式固定連接，形成腔體，所述擋膠板對應(yīng)在圓弧槽正下方，擋膠板的寬度大于圓弧槽1_，通過旋轉(zhuǎn)圓形端面調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的通氣量的大小。
[0012]作為優(yōu)化:所述中心圓的直徑大小為6mm-10mm。
[0013]作為優(yōu)化:所述小圓孔的圈數(shù)為3-5個，每個小圓孔的直徑大小為0.75mm_l.5mm。
[0014]作為優(yōu)化:所述每列圓弧槽中相鄰的兩個圓弧槽之間的間距為5mm-7mm。
[0015]作為優(yōu)化:所述抽氣孔具體的結(jié)構(gòu)尺寸為:高度低于承片臺2-3mm、坡度為90°至130。。
[0016]有益效果:本發(fā)明通過旋轉(zhuǎn)托盤端蓋，利用擋膠板遮住圓弧槽的范圍的不同，可實現(xiàn)調(diào)節(jié)基片所受真空吸附力的大小，因此可適應(yīng)不同厚度基片的旋涂要求，在滿足其旋涂性能要求的同時，減小基片形變量。
[0017]本發(fā)明能夠同時解決膠滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷變形的2個問題，不僅延長了真空吸片口的使用壽命，而且加工后的硅片不會出現(xiàn)廢料，從而大大節(jié)省了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)成本。
【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明的圓形端面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本發(fā)明的下腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖4是本發(fā)明的腔內(nèi)真空度分布情況示意圖；
[0022]圖5是本發(fā)明中無托盤端蓋與WiFi型端蓋的基片形變對比示意圖；
[0023]圖6是本發(fā)明中WiFi型端蓋的基片形變示意圖。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0025]實施例
[0026]如圖1-3所示，一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，所述的WiFi型端蓋固定安裝在勻膠機(jī)托盤的真空吸片口上，所述WiFi型端蓋包括圓形端面I和與所述圓形端面I相匹配的下腔體2。
[0027]所述圓形端面I的中心設(shè)有中心圓11，所述中心圓11的直徑大小為6mm_I Omm。所述中心圓11的四周向外擴(kuò)散均勻排布有若干圈小圓孔12，同一圈上的小圓孔12直徑大小均相同，具體地，所述小圓孔12的圈數(shù)可為3-5個，每個小圓孔12的直徑大小可為0.75mm-1.5mm。最外圈的小圓孔12向外擴(kuò)散有兩列相互對稱的圓弧槽13，所述每列圓弧槽13成WiF i型排布，所述每列圓弧槽13中相鄰的兩個圓弧槽13之間的間距為5_-7_。
[0028]所述下腔體2的中心設(shè)有抽氣孔21，所述抽氣孔21呈圓臺狀，所述抽氣孔21具體的結(jié)構(gòu)尺寸為:高度低于承片臺2-3_、坡度為90°至130°。所述抽氣孔21外圍設(shè)有若干圈擋膠板22，每圈擋膠板22上設(shè)有兩個位置相對的擋膠板22，相鄰兩圈的擋膠板22互相之間均呈90°交錯排布。
[0029]所述圓形端面I和下腔體2之間通過插拔旋轉(zhuǎn)式固定連接，形成腔體，所述擋膠板22對應(yīng)在圓弧槽13正下方，擋膠板22的寬度大于圓弧槽13的1_，通過旋轉(zhuǎn)圓形端面I調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的通氣量的大小。
[0030]如圖4所示，本發(fā)明的腔內(nèi)真空度分布情況如下:從圖中可知，腔內(nèi)真空負(fù)壓分布均勻，所以可避免被吸入的膠體在壓強(qiáng)差的作用下被吸入真空抽氣室。
[0031]如圖5-6所示，從無托盤端蓋與WiFi型端蓋的基片形變對比得出，形變量從65μπι降低至0.33ym，WiFi型端蓋的使用大大減小了基片的形變量，從而可提高旋涂工藝性能指標(biāo)。
[0032]本發(fā)明通過旋轉(zhuǎn)托盤端蓋，利用擋膠板遮住圓弧槽的范圍的不同，可實現(xiàn)調(diào)節(jié)基片所受真空吸附力的大小，因此可適應(yīng)不同厚度基片的旋涂要求，在滿足其旋涂性能要求的同時，減小基片形變量。
[0033]本發(fā)明能夠同時解決膠滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷變形的2個問題，不僅延長了真空吸片口的使用壽命，而且加工后的硅片不會出現(xiàn)廢料，從而大大節(jié)省了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)成本。
[0034]本發(fā)明不局限于上述最佳實施方式，任何人在本發(fā)明的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是具有與本申請相同或相近似的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，所述的WiFi型端蓋固定安裝在勻膠機(jī)托盤的真空吸片口上，其特征在于:所述WiFi型端蓋包括圓形端面(I)和與所述圓形端面(I)相匹配的下腔體(2); 所述圓形端面(I)的中心設(shè)有中心圓(11)，所述中心圓(11)的四周向外擴(kuò)散均勻排布有若干圈小圓孔(12)，同一圈上的小圓孔(12)直徑大小均相同，最外圈的小圓孔(12)向外擴(kuò)散有兩列相互對稱的圓弧槽(13)，所述每列圓弧槽(13)成WiFi型排布； 所述下腔體(2)的中心設(shè)有抽氣孔(21)，所述抽氣孔(21)呈圓臺狀，所述抽氣孔(21)外圍設(shè)有若干圈擋膠板(22)，每圈擋膠板(22)上設(shè)有兩個位置相對的擋膠板(22)，相鄰兩圈的擋膠板(22)互相之間均呈90°交錯排布； 所述圓形端面(I)和下腔體(2)之間通過插拔旋轉(zhuǎn)式固定連接，形成腔體，所述擋膠板(22)對應(yīng)在圓弧槽(13)正下方，擋膠板(22)的寬度大于圓弧槽(13)lmm，通過旋轉(zhuǎn)圓形端面(I)調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的通氣量的大小。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，其特征在于:所述中心圓(11)的直徑大小為6mm-10mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，其特征在于:所述小圓孔(12)的圈數(shù)為3-5個，每個小圓孔(12)的直徑大小為0.75mm-1.5mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，其特征在于:所述每列圓弧槽(13)中相鄰的兩個圓弧槽(13)之間的間距為5_-7_。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的專用于勻膠機(jī)托盤真空吸片口上的WiFi型端蓋，其特征在于:所述抽氣孔(21)具體的結(jié)構(gòu)尺寸為:高度低于承片臺2-3mm、坡度為90°至130°。
【文檔編號】G03F7/16GK105954975SQ201610495940
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年6月29日
【發(fā)明人】魏存露, 王強(qiáng), 花國然, 黃倩露
【申請人】南通大學(xué)