一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電解去膠劑，可有效去除粘附在金屬表面、塑料表面及玻璃表面的有機(jī)膠，玻璃膠，雙面膠，不干膠，吸塑膠，軟膠，丙烯酸樹脂膠，環(huán)氧樹脂膠，聚氨脂膠等，消耗少，脫膠快，且對(duì)金屬表面、塑料表面及玻璃表面無損害，故得到廣泛應(yīng)用。
[0003]近年來，電解去膠劑被廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其針對(duì)半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，光刻(photoetching or lithography)是通過一系列生產(chǎn)步驟，將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝。在此之后，晶圓表面會(huì)留下帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。通過光刻工藝過程，最終在晶圓上保留的是特征圖形部分。
[0004]一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序。其中，在旋涂光刻膠的過程中，即會(huì)出現(xiàn)光刻膠外溢的情形，外溢的膠體會(huì)腐蝕周圍元件，為保證半導(dǎo)體元件不受外溢膠體的影響，便需要電解去膠劑去除外溢的膠體。
[0005]目前，生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)電解去膠劑的過程中，在過濾步驟中使用的過濾裝置多種多樣，例如，簡單的使用濾網(wǎng)配合濾布進(jìn)行過濾，但這樣會(huì)使產(chǎn)品暴露在空氣中，影響成品質(zhì)量，對(duì)此，有的廠家采用一端開口的筒體和一筒蓋通過螺紋旋轉(zhuǎn)配合形成一密封過濾桶，在桶內(nèi)放置濾芯，然而，筒體和筒蓋采用螺紋旋轉(zhuǎn)配合，固然會(huì)保證密封效果，但會(huì)導(dǎo)致在需要分離筒體和筒蓋的時(shí)候，會(huì)因?yàn)橥采w重量的問題以及螺紋配合的影響，耗費(fèi)較多時(shí)間，影響生產(chǎn)效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]為解決上述存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，所述裝置結(jié)構(gòu)簡單，密封效果好，濾桶和桶蓋之間易拆卸，便于快速維護(hù)和清洗。
[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0008]一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，包括:支架，豎直放置；一底盤，形狀為環(huán)形，架設(shè)于所述支架上端面；一濾桶，為一豎直放置且底面封閉的管體，設(shè)置于所述底盤上，內(nèi)設(shè)濾芯，其封閉端端面上間隔開設(shè)有與濾桶內(nèi)側(cè)連通的進(jìn)液口和出液口，進(jìn)液口和出液口分別接有進(jìn)液管和出液管，開口端外壁沿周向間隔凸設(shè)有若干凸起，凸起上開設(shè)有固定孔；一桶蓋，為一一端封閉的管體，其開口端與所述濾桶開口端相配合，蓋設(shè)于所述濾桶開口端，與所述濾桶配合形成一封閉的殼體，桶蓋封閉端中部開設(shè)有一通孔；一流量計(jì)，其檢測端由所述桶蓋封閉端通孔伸入所述桶蓋與濾桶配合形成的殼體內(nèi)側(cè)，儀表盤位于所述桶蓋封閉端外側(cè)；一固定組件，其包括:若干支撐組件，包括沿桶蓋封閉端端面邊緣周向豎直、間隔、可拆卸地設(shè)置于所述桶蓋封閉端端面上的固定板及設(shè)置于所述固定板上的支撐板，支撐板上開設(shè)有支撐孔；若干固定桿，分別對(duì)應(yīng)所述支撐組件，一端與支撐組件支撐板支撐孔樞軸連接，另一端搭設(shè)于所述桶蓋封閉端端面上；若干組鎖定組件，分別對(duì)應(yīng)所述所述支撐組件，每組鎖定組件包括兩根平行設(shè)置的直桿，兩直桿一端與所述濾桶外壁凸起固定孔樞軸連接，另一端與所述固定桿位于支撐板一端形成搭扣鎖配合，形成對(duì)桶蓋和濾桶的鎖定。
[0009]進(jìn)一步，所述支架為3根豎直、沿周向間隔設(shè)置的支柱。
[0010]另，所述底盤套設(shè)于濾桶靠近封閉端一側(cè)的外壁上，底盤與所述濾桶為一體式結(jié)構(gòu)，支架上端面與底盤固定連接。
[0011 ] 另有，所述濾桶與桶蓋連接處設(shè)有密封圈。
[0012]再，所述濾桶和桶蓋內(nèi)壁均涂覆有防腐層。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0014]過濾裝置主體由濾桶和桶蓋配合形成，設(shè)計(jì)一套固定組件，其固定桿通過支撐組件與鎖定組件中的直桿形成樞軸連接配合，進(jìn)而形成搭扣式配合，使得所述濾桶和桶蓋之間通過搭扣式配合組合成所述過濾裝置主體，如此，在拆裝和清洗過程中，只需扳動(dòng)固定桿，使其繞支撐組件支撐板旋轉(zhuǎn)，即可實(shí)現(xiàn)濾桶和桶蓋的分離，無需旋轉(zhuǎn)桶蓋，直接取下即可，固定組件沿周向間隔設(shè)置，若干固定組件的配合使用，使得濾桶和桶蓋之間固定牢靠，操作方便，拆裝便捷，省時(shí)省力，提高清洗、檢查和維護(hù)效率。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]參見圖1，本實(shí)用新型所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，包括:支架1，豎直放置；一底盤2，形狀為環(huán)形，架設(shè)于所述支架I上端面；一濾桶3，為一豎直放置且底面封閉的管體，設(shè)置于所述底盤2上，內(nèi)設(shè)濾芯(未圖示)，其封閉端端面上間隔開設(shè)有與濾桶3內(nèi)側(cè)連通的進(jìn)液口(未圖示)和出液口(未圖示)，進(jìn)液口和出液口分別接有進(jìn)液管4和出液管5，開口端外壁沿周向間隔凸設(shè)有若干凸起31，凸起31上開設(shè)有固定孔(未圖示)；一桶蓋6，為一一端封閉的管體，其開口端與所述濾桶3開口端相配合，蓋設(shè)于所述濾桶3開口端，與所述濾桶3配合形成一封閉的殼體，桶蓋6封閉端中部開設(shè)有一通孔61 ;一流量計(jì)7，其檢測端(未圖示)由所述桶蓋7封閉端通孔61伸入所述桶蓋6與濾桶3配合形成的殼體內(nèi)側(cè)，儀表盤71位于所述桶蓋6封閉端外側(cè)；一固定組件8，其包括:若干支撐組件81，包括沿桶蓋6封閉端端面邊緣周向豎直、間隔、可拆卸地設(shè)置于所述桶蓋6封閉端端面上的固定板811及設(shè)置于所述固定板811上的支撐板812，支撐板812上開設(shè)有支撐孔(未圖示)；若干固定桿82，分別對(duì)應(yīng)所述支撐組件81，一端與支撐組件81支撐板812支撐孔樞軸連接，另一端搭設(shè)于所述桶蓋6封閉端端面上；若干組鎖定組件83，分別對(duì)應(yīng)所述所述支撐組件81，每組鎖定組件83包括兩根平行設(shè)置的直桿831，兩直桿831 —端與所述濾桶3外壁凸起31固定孔樞軸連接，另一端與所述固定桿82位于支撐板812 —端形成搭扣鎖配合，形成對(duì)桶蓋6和濾桶3的鎖定。
[0017]進(jìn)一步，所述支架I為3根豎直、沿周向間隔設(shè)置的支柱。
[0018]另，所述底盤2套設(shè)于濾桶3靠近封閉端一側(cè)的外壁上，底盤2與所述濾桶3為一體式結(jié)構(gòu)，支架I上端面與底盤2固定連接。
[0019]另有，所述濾桶3與桶蓋6連接處設(shè)有密封圈(未圖示)。
[0020]再，所述濾桶3和桶蓋6內(nèi)壁均涂覆有防腐層(未圖示)。
[0021]本實(shí)用新型所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，所述過濾裝置主體為由濾桶和桶蓋配合形成的殼體，設(shè)計(jì)一套固定組件，其固定桿通過支撐組件與鎖定組件中的直桿形成樞軸連接配合，進(jìn)而形成搭扣式配合，使得所述濾桶和桶蓋之間通過搭扣式配合組合成所述過濾裝置主體，如此，在拆裝和清洗過程中，只需扳動(dòng)固定桿，使其繞支撐組件支撐板旋轉(zhuǎn)，即可實(shí)現(xiàn)濾桶和桶蓋的分離，無需旋轉(zhuǎn)桶蓋，直接取下即可，固定組件沿周向間隔設(shè)置，若干固定組件的配合使用，使得濾桶和桶蓋之間固定牢靠，操作方便，拆裝便捷，省時(shí)省力，提高清洗、檢查和維護(hù)效率。
[0022]需要說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制。盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，其特征在于，包括: 支架，豎直放置； 一底盤，形狀為環(huán)形，架設(shè)于所述支架上端面； 一濾桶，為一豎直放置且底面封閉的管體，設(shè)置于所述底盤上，內(nèi)設(shè)濾芯，其封閉端端面上間隔開設(shè)有與濾桶內(nèi)側(cè)連通的進(jìn)液口和出液口，進(jìn)液口和出液口分別接有進(jìn)液管和出液管，開口端外壁沿周向間隔凸設(shè)有若干凸起，凸起上開設(shè)有固定孔； 一桶蓋，為一一端封閉的管體，其開口端與所述濾桶開口端相配合，蓋設(shè)于所述濾桶開口端，與所述濾桶配合形成一封閉的殼體，桶蓋封閉端中部開設(shè)有一通孔； 一流量計(jì)，其檢測端由所述桶蓋封閉端通孔伸入所述桶蓋與濾桶配合形成的殼體內(nèi)側(cè)，儀表盤位于所述桶蓋封閉端外側(cè)； 一固定組件，其包括: 若干支撐組件，包括沿桶蓋封閉端端面邊緣周向豎直、間隔、可拆卸地設(shè)置于所述桶蓋封閉端端面上的固定板及設(shè)置于所述固定板上的支撐板，支撐板上開設(shè)有支撐孔； 若干固定桿，分別對(duì)應(yīng)所述支撐組件，一端與支撐組件支撐板支撐孔樞軸連接，另一端搭設(shè)于所述桶蓋封閉端端面上； 若干組鎖定組件，分別對(duì)應(yīng)所述支撐組件，每組鎖定組件包括兩根平行設(shè)置的直桿，兩直桿一端與所述濾桶外壁凸起固定孔樞軸連接，另一端與所述固定桿位于支撐板一端形成搭扣鎖配合，形成對(duì)桶蓋和濾桶的鎖定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，其特征在于，所述支架為3根豎直、沿周向間隔設(shè)置的支柱。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，其特征在于，所述底盤套設(shè)于濾桶靠近封閉端一側(cè)的外壁上，底盤與所述濾桶為一體式結(jié)構(gòu)，支架上端面與底盤固定連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，其特征在于，所述濾桶與桶蓋連接處設(shè)有密封圈。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，其特征在于，所述濾桶和桶蓋內(nèi)壁均涂覆有防腐層。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體行業(yè)用電解去膠劑生產(chǎn)用過濾裝置，包括：支架；一底盤，設(shè)于支架上端面；一濾桶，設(shè)于底盤上，內(nèi)設(shè)濾芯，其上設(shè)有進(jìn)液口和出液口；一桶蓋，蓋設(shè)于所述濾桶開口端，封閉端中部設(shè)一通孔；一流量計(jì)，其檢測端由通孔伸入內(nèi)側(cè)，儀表盤位于桶蓋外側(cè)；一固定組件，其包括：若干支撐組件，包括固定板及支撐板；若干固定桿，一端與支撐板樞軸連接，另一端搭設(shè)于桶蓋端面；若干組鎖定組件，包括兩根直桿，兩直桿一端與濾桶外壁凸起固定孔樞軸連接，另一端與固定桿位于支撐板一端形成搭扣鎖配合，形成對(duì)桶蓋和濾桶的鎖定。所述裝置結(jié)構(gòu)簡單，密封效果好，濾桶和桶蓋之間易拆卸，便于快速維護(hù)和清洗。
【IPC分類】B01D35/30
【公開號(hào)】CN204815920
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520561851
【發(fā)明人】夏品軍
【申請(qǐng)人】江蘇矽研半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年7月30日