一種可獨立溫控多層浸漬涂膜儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及薄膜制備領域，具體而言，涉及一種可獨立溫控多層浸漬涂膜儀。
【背景技術】
[0002]目前主要有溶膠-凝膠法和層層交替沉積技術等液相法制備薄膜。通過制備的薄膜改變基底材料的性能，實現(xiàn)高性能材料在特定環(huán)境中的性能。把基片浸入備好的溶液中，通過精確控制的均勻速度將基片平穩(wěn)的從溶液中提拉出來。在粘度和重力作用下基片上附著一層均勻的凝膠液膜稱為“濕凝膠膜”。隨著膜層中溶劑的揮發(fā)，膜層在基片上固化成為“干凝膠膜”。膜層厚度和均勻性由提拉速度、浸漬時間、液體濃度、液體粘度等決定。
[0003]目前已有的提拉涂膜儀由于結(jié)構(gòu)的原因，存在提拉過程中存在體積偏大、不能精密控制各個溶液浸漬溫度、提拉速度不均勻和機械的抖動使成膜不均勻造成成膜效果差等缺點，大部分提拉涂膜儀只能對一個基片進行涂膜，涂膜效率低。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型提供一種可獨立溫控多層浸漬涂膜儀，用以克服現(xiàn)有技術中存在的至少一個問題。
[0005]為達到上述目的，本實用新型提供了一種可獨立溫控多層浸漬涂膜儀，包括:提拉電機模塊、第一柔性連接器、滑塊、滾珠絲桿、提拉支撐板、多樣品架模塊、載液杯、溫度傳感器、電加熱板、旋轉(zhuǎn)電機模塊、第二柔性連接器、旋轉(zhuǎn)臺、載液杯固定平臺、載液杯搭載平臺和控制模塊，其中:
[0006]所述提拉電機模塊設置在所述提拉支撐板上，所述滑塊設置在所述滾珠絲杠上，所述多樣品架模塊與所述滑塊相連接，所述第一柔性連接器連接在所述提拉電機模塊與所述滾珠絲杠之間；
[0007]所述第二柔性連接器連接在所述旋轉(zhuǎn)電機模塊與所述旋轉(zhuǎn)臺之間，所述載液杯搭載平臺設置在所述旋轉(zhuǎn)臺上，所述載液杯固定平臺設置在所述載液杯搭載平臺上，所述載液杯固定平臺包括載液杯固定板，載液杯固定板上設置有多個所述載液杯，所述溫度傳感器設置在所述載液杯的上沿，所述電加熱板設置在所述載液杯的底部；
[0008]所述控制模塊分別與所述提拉電機模塊、所述旋轉(zhuǎn)電機模塊、所述溫度傳感器和所述電加熱板相連接。
[0009]進一步地，載液杯固定板上固定設置有8個所述載液杯，8個所述載液杯呈圓周分布，相互之間間隔45°。
[0010]進一步地，上述可獨立溫控多層浸漬涂膜儀還包括儀器外殼，所述提拉電機模塊、所述第一柔性連接器、所述滑塊、所述滾珠絲桿、所述提拉支撐板、所述多樣品架模塊、所述載液杯、所述溫度傳感器、所述電加熱板、所述旋轉(zhuǎn)電機模塊、所述第二柔性連接器、所述旋轉(zhuǎn)臺、所述載液杯固定平臺、所述載液杯搭載平臺和所述控制模塊分別設置在所述儀器外殼內(nèi)部。
[0011]進一步地，上述可獨立溫控多層浸漬涂膜儀還包顯示屏，所述顯示屏與所述控制模塊相連接，所述顯示屏嵌設在所述儀器外殼上。
[0012]進一步地，所述提拉電機模塊包括相連接的提拉電機和第一編碼器，旋轉(zhuǎn)電機模塊包括相連接的旋轉(zhuǎn)電機和第二編碼器。
[0013]進一步地，所述多樣品架模塊包括夾持器、樣品架、基片和平移臺，所述夾持器固定所述基片，所述夾持器固定在樣品架上，所述樣品架固定設置在所述平移臺上，所述平移臺與所述滑塊相連接。
[0014]本實用新型的可獨立溫控多層浸漬涂膜儀，通過電加熱板對每個載液杯單獨加熱，配合溫度傳感器可以精確控制每個溶液溫度；通過旋轉(zhuǎn)電機模塊可以完成多種溶液的交替和循環(huán)沉積，通過圓盤設計降低了儀器的體積；通過多樣品架模塊，可以一次進行多個樣品的浸漬，提高了制備薄膜的效率。
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1為本實用新型一個實施例的可獨立溫控多層浸漬涂膜儀結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型一個實施例的可獨立溫控多層浸漬涂膜儀外部俯視圖。
【具體實施方式】
[0018]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]圖1為本實用新型一個實施例的可獨立溫控多層浸漬涂膜儀結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型一個實施例的可獨立溫控多層浸漬涂膜儀外部俯視圖。如圖所示，該可獨立溫控多層浸漬涂膜儀包括:提拉電機模塊1、第一柔性連接器2、滑塊3、.滾珠絲桿4、提拉支撐板5、多樣品架模塊6、載液杯7、溫度傳感器8、電加熱板9、旋轉(zhuǎn)電機模塊10、第二柔性連接器11、旋轉(zhuǎn)臺12、載液杯固定平臺13、載液杯搭載平臺14和控制模塊(圖中未示出)，其中:
[0020]提拉電機模塊I設置在提拉支撐板5上，滑塊3設置在滾珠絲杠4上，多樣品架模塊6與滑塊3相連接，第一柔性連接器2連接在提拉電機模塊I與滾珠絲杠4之間；
[0021]第二柔性連接器11連接在旋轉(zhuǎn)電機模塊10與旋轉(zhuǎn)臺12之間，載液杯搭載平臺14設置在旋轉(zhuǎn)臺12上，載液杯固定平臺13設置在載液杯搭載平臺14上，載液杯固定平臺13包括載液杯固定板，載液杯固定板上固定設置有多個載液杯7，溫度傳感器8設置在載液杯7的上沿，電加熱板9設置在載液杯7的底部；
[0022]控制模塊分別與提拉電機模塊1、旋轉(zhuǎn)電機模塊10、溫度傳感器8和電加熱板9相連接。
[0023]由旋轉(zhuǎn)電機模塊、第二柔性連接器、旋轉(zhuǎn)臺、載液杯固定平臺和搭載平臺等組成的水平旋轉(zhuǎn)模塊，可以每次以設定的角度(如45° )旋轉(zhuǎn)，來選擇對應載液杯中的浸漬溶液。由提拉電機模塊、第一柔性連接器、滾珠絲桿、提拉支撐板、多樣品架模塊等組成的垂直提拉模塊，通過控制旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)動帶動第一柔性連接器與滾珠絲桿轉(zhuǎn)動，從而使多樣品架模塊的平移臺在垂直方向上運動。
[0024]多樣品架模塊主要由夾持器、樣品架、基片和平移臺等組成。夾持器可以根據(jù)基片尺寸上下調(diào)整高度，樣品架根據(jù)基片的尺寸和形狀選擇與夾持器固定，樣品架垂直固定設置在平移臺上，保證樣品架與溶液垂直。。
[0025]提拉電機模塊包括相連接的提拉電機和編碼器，較傳統(tǒng)開環(huán)控制方式增加一個高精度的編碼器，