嘴50，向噴嘴50送出涂敷液；回流管25，與三通閥24的另一個(gè)輸出口連接，使涂敷液回流至儲液槽200的內(nèi)部。
[0065]輸出管21以及泵22的結(jié)構(gòu)以及功能分別與第一實(shí)施方式的輸出管11以及泵12相同，因此省略其說明。三通閥23按照來自控制單元29的控制信號進(jìn)行動(dòng)作。由此，選擇性地形成將輸出管21和涂敷管24連接的涂敷路徑和將輸出管21和回流管25連接的循環(huán)路徑。在形成將輸出管21和涂敷管24連接的涂敷路徑時(shí)，從儲液槽200壓送來的涂敷液經(jīng)由涂敷管24供給至噴嘴50。另一方面，在形成將輸出管21和回流管25連接的循環(huán)路徑時(shí)，從儲液槽200壓送的涂敷液經(jīng)由循環(huán)路徑回流至儲液槽200。這樣，通過使涂敷液AL始終流動(dòng)，能夠抑制因觸變性弓I起的粘度增大的現(xiàn)象。
[0066]回流管25中的與三通閥23連接的端部的相反側(cè)的端部在橫向上直徑變大來形成回流噴嘴250。在儲液槽200的上表面設(shè)置有開口 202?；亓鞴?5通過開口 202從儲液槽200的外部延伸至內(nèi)部，并且支撐回流管25的支撐機(jī)構(gòu)26穿過開口 202。回流管25被支撐機(jī)構(gòu)26的支撐塊261支撐在儲液槽200內(nèi)。支撐機(jī)構(gòu)26還具有滾珠絲杠機(jī)構(gòu)262和馬達(dá)263。滾珠絲杠機(jī)構(gòu)262的滾珠絲杠262a與馬達(dá)263的旋轉(zhuǎn)軸連接，穿過開口 202沿著大致鉛垂方向延伸。另一方面，在與滾珠絲杠262a卡合的螺母塊262b上固定有支撐塊261。馬達(dá)263被未圖示的固定構(gòu)件固定在儲液槽200的框體上。
[0067]回流管25的一部分由對涂敷液的成分具有抵抗性以及具有撓性的管構(gòu)成，例如由不銹鋼制的軟管構(gòu)成。在馬達(dá)263按照來自控制單元29的控制信號動(dòng)作時(shí)，滾珠絲杠262a進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，螺母塊262b上下移動(dòng)，與此同時(shí)，支撐塊261升降，由此使回流管25上下移動(dòng)。由此，設(shè)置在回流管25的前端的回流噴嘴250進(jìn)行升降。
[0068]另外，在儲液槽200內(nèi)的上部設(shè)置有液面?zhèn)鞲衅?7，該液面?zhèn)鞲衅?7用于對在儲液槽200中儲存的涂敷液的液面的位置進(jìn)行檢測。作為液面?zhèn)鞲衅?7，只要能夠檢測鉛垂方向上的液面位置即可，可以是任意的傳感器，例如，能夠使用超聲波式、浮控式、電容式、電磁式、光學(xué)式等基于各種測定原理的傳感器。另外，可以是光學(xué)拍攝液面來檢測其位置的傳感器，也可以是與設(shè)置在儲液槽內(nèi)壁面上的刻度等標(biāo)記進(jìn)行組合來檢測液面位置的傳感器。液面?zhèn)鞲衅?7的檢測結(jié)果提供給控制單元29，控制單元29利用檢測結(jié)果對各部分的動(dòng)作進(jìn)行控制。
[0069]在儲液槽200內(nèi)還設(shè)置有被控制單元29控制進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的攪拌葉201。攪拌葉201沿著箭頭方向旋轉(zhuǎn)，攪拌儲液槽200中儲存的涂敷液AL流動(dòng)。此時(shí)，若從上方觀察，涂敷液AL的液面Lv沿著順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
[0070]如圖4A以及圖4B所示，設(shè)置在回流管25的頂端的回流噴嘴250具有在橫向(與圖4B的紙面垂直的方向)上細(xì)長的箱型的噴嘴框體251。在噴嘴框體251的下端設(shè)置有狹縫狀的開口部251a，開口部251a將與液面Lv平行的方向作為長度方向，與回流管25的管內(nèi)連通。噴嘴框體251在高度方向上的位置設(shè)定在噴嘴底面與儲存在儲液槽200內(nèi)的涂敷液AL的液面Lv接觸的位置。液面Lv的高度由液面?zhèn)鞲衅?7檢測，控制單元29基于液面?zhèn)鞲衅鞯臋z測結(jié)果使支撐機(jī)構(gòu)26動(dòng)作，由此即使在液面Lv的高度發(fā)生變化的情況下也能夠維持該位置關(guān)系。
[0071]噴嘴框體251還配置為使從回流管25流入回流噴嘴250的涂敷液AL的流通方向沿著液面Lv的移動(dòng)方向稍微傾斜。即，回流噴嘴250配置為使該噴嘴內(nèi)的涂敷液的流通方向上的上游側(cè)變?yōu)閮σ翰?00內(nèi)的液面Lv的移動(dòng)方向上的上游側(cè)(圖4B中的右側(cè))，另夕卜，回流噴嘴250內(nèi)的涂敷液的流通方向上的下游側(cè)變?yōu)閮σ翰?00內(nèi)的液面Lv的移動(dòng)方向上的下游側(cè)(圖4B中左側(cè))。因此，噴嘴框體251的開口部251a朝向液面Lv的流動(dòng)方向上的下游側(cè)開口。
[0072]通過這樣配置，經(jīng)由回流管25流入回流噴嘴250的涂敷液AL通過噴嘴框體251內(nèi)從開口部25Ia噴出，與儲液槽200內(nèi)的涂敷液AL合流。此時(shí)，從回流噴嘴250噴出的涂敷液AL的方向與儲液槽200內(nèi)的液面Lv的流動(dòng)方向大致相同，因此能夠抑制在合流點(diǎn)處液流出現(xiàn)紊流的現(xiàn)象。因此，能夠防止出現(xiàn)因紊流而使液體中含有氣泡的情況。如圖4B所示，若使噴嘴框體251的底面251b形成為錐狀，則上述效果更顯著。
[0073]另外，在噴嘴框體251的上部內(nèi)壁即頂面設(shè)置有由對涂敷液AL的潤濕性比噴嘴框體251低的材料形成的氣泡捕捉部252。從回流管25流入的涂敷液AL所含有的氣泡被氣泡捕捉部252捕捉，沿著噴嘴框體251的頂面向下游移動(dòng)后，從儲液槽200內(nèi)的液面Lv露出而消失。
[0074]這樣，在本實(shí)施方式的涂敷裝置2中，在從儲液槽200經(jīng)由輸出管21以及回流管25返回儲液槽200的涂敷液AL的循環(huán)路徑中，使涂敷液AL返回儲液槽200內(nèi)的液面Lv的回流噴嘴250具有除去液體中的氣泡的除泡單元的功能。即，回流噴嘴2501使涂敷液AL沿著儲液槽200內(nèi)的液面Lv噴出，而且使開口部251a朝向液面Lv在流動(dòng)方向上的下游側(cè)開口，由此噴出的涂敷液的方向?yàn)橐好鍸v的流動(dòng)方向。因此，能夠防止在涂敷液AL返回儲液槽200中時(shí)卷入周圍環(huán)境氣體而產(chǎn)生氣泡。
[0075]另外，在噴嘴第體251的上部內(nèi)壁設(shè)置有由對涂敷液AL的潤濕性低的材料構(gòu)成的氣泡捕捉部252。因此，從回流管25流入回流噴嘴250的液體中的氣泡被氣泡捕捉部252捕捉后，露出液面Lv然后消失。因此，通過使涂敷液AL經(jīng)由循環(huán)路徑循環(huán)，能夠減少涂敷液AL中含有的氣泡。
[0076]此外，回流噴嘴250不限于上述結(jié)構(gòu)，考慮各種結(jié)構(gòu)，如圖4C所示，即使是僅回流管25的下端開口部25a與液面Lv接觸的方式，只要如下所述也能夠得到與上述相同的效果。此時(shí)，只要使回流管25的內(nèi)壁中的位于液面Lv的流動(dòng)方向上的下游側(cè)的一部分的壁面25b由對涂敷液的潤濕性比其它壁面低的材料構(gòu)成即可。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在回流管25流通的涂敷液AL所含的氣泡在開口部25a的前側(cè)被位于液面Lv的流動(dòng)方向上的下游側(cè)的壁面25b捕捉。因此，在管內(nèi)的涂敷液AL與儲液槽200內(nèi)的涂敷液AL合流時(shí)，氣泡不會卷入液體中而在液面Lv露出。由此，能夠使氣泡消失。
[0077]<第三實(shí)施方式>
[0078]圖5A至圖5C是表示本發(fā)明的涂敷裝置的第三實(shí)施方式的圖。如圖5A所示，本實(shí)施方式的涂敷裝置3具有在儲存涂敷液AL的儲液槽300上連接有送液系統(tǒng)30的結(jié)構(gòu)。儲液槽300及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式的儲液槽100及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)相同。因此，省略詳細(xì)說明。另外，省略設(shè)置在本實(shí)施方式中的具有與第一實(shí)施方式的搬運(yùn)單元70相同結(jié)構(gòu)的搬運(yùn)單元的圖示以及說明。另外，該涂敷裝置3具有用于控制各部分的動(dòng)作的控制單元。
[0079]在送液系統(tǒng)30中，在儲液槽300的底部連接有輸出管31，在輸出管31的路徑上設(shè)置有泵32。這些結(jié)構(gòu)以及功能與在第一實(shí)施方式中對應(yīng)的輸出管11以及泵12相同。另夕卜，輸出管31與三通閥33的輸入口連接。三通閥33的兩個(gè)輸出口分別與連通噴嘴50的涂敷管34和連通儲液槽300的回流管35連接?；谌ㄩy33的動(dòng)作，與第二實(shí)施方式相同，選擇性地形成將輸出管31和涂敷管34連接的涂敷路徑以及將輸出管31和回流管35連接的循環(huán)路徑。
[0080]在回流管35的途中設(shè)置有本實(shí)施方式的除泡單元36。更具體地說，在回流管35中安裝有由圖5B所示的結(jié)構(gòu)的除泡單元36a或圖5C所示的結(jié)構(gòu)的除泡單元36b構(gòu)成的或?qū)⑺鼈兇?lián)連接的除泡單元36。
[0081]在圖5B所示的除泡單元36a中，在回流管35的途中安裝有管狀的氣泡捕捉部361，該氣泡捕捉部361由對涂敷液AL的潤濕性比回流管35的內(nèi)壁低的材料形成。另外，在氣泡捕捉部361的內(nèi)部的管軸線附近固定配置有大致圓錐形狀的錐形構(gòu)件362。錐形構(gòu)件362由對涂敷液AL的潤濕性比氣泡捕捉部361高很多的材料形成。為了保證機(jī)械強(qiáng)度例如能夠使用不銹鋼。
[0082]通過回流管35送來的涂敷液AL在錐形構(gòu)件362的周圍擠過向下游側(cè)流動(dòng)。此時(shí)，由于錐形構(gòu)件362，液流變?yōu)閺墓茌S線向管壁的方向，由此增大了涂敷液AL中的氣泡與氣泡捕捉部361接觸的幾率。
[0083]這樣，不僅通過潤濕性低的材料形成管壁的一部分，而且控制液流的方向，使液流朝向該潤濕性低的部分移動(dòng)，由此能夠進(jìn)一步提高氣泡捕捉部361的除泡效果。
[0084]在圖5C所示的除泡單元36b中，設(shè)置有管狀的氣泡捕捉部363，該氣泡捕捉部363由對涂敷液AL的潤濕性比回流管35的內(nèi)壁低的材料形成。在該氣泡捕捉部363中，軸向的一部分363a形成為管徑比其它位置細(xì)的狹窄部位。即，局部的氣泡捕捉部363中的流路截面積比其它部位小。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，也能夠提高液體中的氣