一種帶清洗部件的液體噴灑裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶片涂膠顯影工藝中的晶元表面噴灑液體的裝置，具體地說是一種帶清洗部件的液體噴灑裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在在半導(dǎo)體晶片上或它的涂層上形成保護(hù)膜以及晶片曝光后的顯影工藝中對晶圓表面進(jìn)行液體噴灑主要包括供液管直噴、通過噴嘴形成水簾或者水幕噴灑這幾種方式進(jìn)行。通過水幕式噴灑可以有效的將液體均勻的噴灑在晶圓表面，但噴嘴形成均勻水幕較為困難，且噴嘴在噴灑液體時(shí)需距離晶圓表面0.5-3mm，噴嘴在噴灑液體時(shí)晶圓表面的雜質(zhì)可能會附著在噴嘴上，從而對噴嘴造成污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種帶清洗部件的液體噴灑裝置。該裝置在顯影工藝中噴灑均勻的液體，可以有效的保證顯影工藝效果。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種帶清洗部件的液體噴灑裝置，包括噴嘴和清洗部件，其中噴嘴包括噴嘴底件和噴嘴上蓋，其中噴嘴底件的上表面上沿長度方向設(shè)有液體均布槽，所述噴嘴上蓋設(shè)置于噴嘴底件的上方，噴嘴上蓋與所述液體均布槽相對應(yīng)的一側(cè)向下延伸、并與噴嘴底件的側(cè)壁之間留有用于形成水幕的縫隙，所述噴嘴上蓋上設(shè)有與噴嘴底件上的液體均布槽連通的液體進(jìn)口，液體由液體進(jìn)口進(jìn)入液體均布槽、并由縫隙流出形成水幕；所述噴嘴噴灑完液體后，將噴嘴放置于清洗部件上，通過清洗部件進(jìn)行清洗。
[0006]所述噴嘴底件上的液體均布槽包括過渡槽和斜坡，所述過渡槽和斜坡均沿長度方向設(shè)置于噴嘴底件的上表面上，所述過渡槽和斜坡之間沿長度方向設(shè)有低于噴嘴底件上表面的排氣凸起。
[0007]所述噴嘴上設(shè)有保溫裝置。所述保溫裝置包括恒溫水管道1、恒溫水管道II及噴嘴連接塊，其中恒溫水管道I和恒溫水管道II分別沿長度方向設(shè)置于噴嘴上蓋和噴嘴底件的內(nèi)部，所述噴嘴連接塊連接于噴嘴的端部、并將恒溫水管道I和恒溫水管道II連通。
[0008]所述清洗部件的上表面沿長度方向設(shè)有兩排孔，所述兩排孔分別為噴液孔和排液孔，所述清洗部件內(nèi)部沿長度方向設(shè)有兩條分別與噴液孔和排液孔連通的通道I和通道II，所述清洗部件的底部設(shè)有分別與通道I和通道II連通的清洗用液體進(jìn)口和清洗用液體出口。
[0009]所述清洗部件的上表面設(shè)有凹槽，所述噴液孔和排液孔均設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。所述清洗用液體出口與真空管連接。
[0010]本發(fā)明還包括固定調(diào)節(jié)裝置，所述固定調(diào)節(jié)裝置包括水平調(diào)節(jié)固定塊、噴嘴調(diào)節(jié)塊、噴嘴固定塊及調(diào)節(jié)螺絲，其中噴嘴調(diào)節(jié)塊連接于噴嘴的端部，所述噴嘴固定塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接在噴嘴的端部一側(cè)，所述水平調(diào)節(jié)固定塊連接于噴嘴固定塊上，所述調(diào)節(jié)螺絲螺紋連接在水平調(diào)節(jié)固定塊上、并下端與噴嘴調(diào)節(jié)塊抵接，所述噴嘴固定塊與顯影裝置連接，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲使噴嘴轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)噴嘴的水平調(diào)節(jié)。所述噴嘴固定塊上設(shè)有噴嘴繞軸，所述噴嘴的端部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在噴嘴繞軸上。
[0011]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0012]1.本發(fā)明中的噴嘴可以在顯影工藝中噴灑均勻的液體，可以有效的保證顯影工藝效果。
[0013]2.本發(fā)明中的清洗部件可以及時(shí)對噴嘴進(jìn)行清洗，使噴嘴保持潔凈。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明中噴嘴的立體示意圖之一；
[0015]圖2為本發(fā)明中噴嘴的立體示意圖之二；
[0016]圖3為本發(fā)明中噴嘴的縱剖結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本發(fā)明中噴嘴形成水幕的示意圖；
[0018]圖5為本發(fā)明中噴嘴內(nèi)恒溫水管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖6為本發(fā)明中清洗裝置的立體示意圖之一；
[0020]圖7為本發(fā)明中清洗裝置的立體示意圖之二 ；
[0021 ] 圖8為本發(fā)明的縱剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]其中:1為噴嘴底件，2為噴嘴連接塊，3為水平調(diào)節(jié)固定塊，4為噴嘴調(diào)節(jié)塊，5為清洗部件，6為噴嘴上蓋,7為噴嘴固定塊,8為液體進(jìn)口，9為恒溫水管道1,10為恒溫水管道II，11為過渡槽，12為斜坡,13為縫隙，14為噴嘴補(bǔ)液管路,15為水幕,16為清洗用液體出口，17為清洗用液體出口，18為通道I，19為通道II，20為調(diào)節(jié)螺絲，21為噴嘴繞軸，M為恒溫水。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0024]如圖1-5所示，本發(fā)明包括噴嘴和清洗部件5，其中噴嘴包括噴嘴底件1、噴嘴上蓋6和保溫裝置，其中噴嘴底件I的上表面上沿長度方向設(shè)有液體均布槽，所述噴嘴上蓋6設(shè)置于噴嘴底件I的上方，噴嘴上蓋6與所述液體均布槽相對應(yīng)的一側(cè)向下延伸、并與噴嘴底件I的側(cè)壁之間留有用于形成水幕的縫隙13，所述噴嘴上蓋6上設(shè)有與噴嘴底件I上的液體均布槽連通的液體進(jìn)口 8，液體進(jìn)口 8與噴嘴補(bǔ)液管路14連接。液體由液體進(jìn)口 8進(jìn)入噴嘴內(nèi)部液體均布槽、并由縫隙13流出形成水幕；所述噴嘴噴灑完液體后，將噴嘴放置于清洗部件5上，通過清洗部件5進(jìn)行清洗。
[0025]所述噴嘴底件I上的液體均布槽包括過渡槽11和斜坡12，所述過渡槽11和斜坡12均沿長度方向設(shè)置于噴嘴底件I的上表面上，所述過渡槽11和斜坡12之間沿長度方向設(shè)有低于噴嘴底件I上表面的排氣凸起。
[0026]所述噴嘴上設(shè)有保溫裝置，所述保溫裝置包括恒溫水管道I 9、恒溫水管道II 10及噴嘴連接塊2，其中恒溫水管道I 9和恒溫水管道II 10分別沿長度方向設(shè)置于噴嘴上蓋6和噴嘴底件I的內(nèi)部，所述噴嘴連接塊2連接于噴嘴的端部、并將恒溫水管道I 9和恒溫水管道II 10連通。
[0027]如圖6-8所示，所述清洗部件5的上表面沿長度方向設(shè)有兩排孔，所述兩排孔分別為噴液孔和排液孔，所述清洗部件5的內(nèi)部沿長度方向設(shè)有兩條分別與噴液孔和排液孔連通的通道I 18和通道II 19，所述清洗部件5的底部設(shè)有分別與通道I 18和通道II 19連通的清洗用液體進(jìn)口 16和清洗用液體出口 17。
[0028]所述清洗部件5的上表面設(shè)有凹槽，所述噴液孔和排液孔均設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。清洗部件5上的凹槽