本技術涉及反應釜，具體設計一種電子級磷化氫合成與精制裝置。

背景技術：

1、磷化氫室溫時是無色劇毒氣體，廣泛應用于半導體、太陽能電池、糧食熏蒸等領域，磷化氫作為半導體制造中的重要n型摻雜源，同時用于離子注入工藝、外延gap材料和多晶硅化學氣相沉積，是重要的電子特氣，而磷化氫的合成方法主要有化學法、電解法和微波法，而化學法主要包括熱解法、酸法、堿法和水解法。

2、現(xiàn)有技術中，水解法只需要將磷化物如磷化鋁或磷化鋅與水混合，就能在常溫常壓下產生磷化氫氣體，這種方法操作簡單，成本相對較低，適合大規(guī)模生產，但如果磷化物加入水中速度過快，會導致磷化氫氣體的迅速釋放，使反應釜內的壓力突增，存在生產風險，因此現(xiàn)有的反應釜中通常通過計量泵或定期添加磷化物應對這一問題，這種方式主要是控制單次釋放出磷化氫氣體的最大量，也就是單次添加少量的磷化物進入水中反應，這樣雖然能夠避免瞬間釋放出大量磷化氫氣體，但入水速度過快的導致突然釋放大量氣體的問題仍然存在，且單次少量的磷化物的添加量意味著合成的磷化氫氣體會減小，而磷化物以聚集形態(tài)入水，內部的磷化物第一時間不能與水接觸，延長了合成氣體的時間，使生產的效率降低，基于此，發(fā)明人有目的的提供了一種能夠降低原料進入水中速度，且保證磷化氫合成速率的電子級磷化氫合成與精制裝置。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術的不足之處，提供一種能夠降低原料進入水中速度，且保證磷化氫合成速率的電子級磷化氫合成與精制裝置，以解決現(xiàn)有技術中磷化物入水速度快，會突然釋放大量磷化氫氣體的問題。

2、本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現(xiàn)：

3、一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其包括反應釜，所述反應釜頂部設置有輸料管和連通管，反應釜與進水管連通，反應釜底部設置有排料管，反應釜底板上轉動安裝有轉軸，且轉軸與輸料管同軸布設，轉軸上設置有形狀為傘狀的導流臺，輸料管出料端朝向導流臺，轉軸由第一驅動源驅動旋轉，導流臺由轉軸驅動旋轉，轉軸內設置有用于驅動導流臺升降的電動氣缸，反應釜內設置有水位監(jiān)測組件，水位監(jiān)測組件和電動氣缸均與控制箱連接，當反應釜內水位變化后，電動氣缸會驅動導流臺升降，使導流臺邊緣處高度高于反應釜內水位高度。

4、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

5、所述轉軸上開設有通孔，通孔內滑動安裝有連接桿，連接桿與導流臺固定連接，且連接桿由電動氣缸驅動升降。

6、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

7、所述導流臺上開設有若干個形狀為弧形的出料孔，且出料孔位于導流臺傘面中部。

8、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

9、所述轉軸靠近輸料管的一端設置為圓頂。

10、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

11、所述轉軸表面固定連接有兩個攪拌桿，且兩個攪拌桿對稱布設。

12、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

13、所述輸料管內轉動安裝有絞龍葉片，并與轉軸同軸布設，絞龍葉片由第二驅動源驅動旋轉，絞龍葉片邊緣與輸料管內壁滑動配合。

14、作為本方案進一步的優(yōu)化或者改進。

15、所述輸料管與入料管連接，入料管出料端朝向絞龍葉片，且入料管出料端高度不低于絞龍葉片的高度。

16、本實用新型的有益效果：

17、1、本實用新型在入料前，通過進水管向反應釜內添加水，作為反應介質，控制箱通過水位傳感器監(jiān)測水位高度，并通過電動氣缸帶動導流臺升降，使導流臺的邊緣處稍高于水位高度，能夠適應不同的水位高度變化，滿足不同的生產需求，由于導流臺的邊緣處稍高于水位高度，使磷化物沒有足夠距離進行加速度，避免了因磷化物過快入水，而突然產生大量氣體導致的壓力突增的風險。

18、2、本實用新型通過轉軸轉動會帶動導流臺旋轉，當磷化物通過輸料管輸送到反應釜內，首先會落到導流臺上，并沿著導流臺的板面滑落，從其邊緣處落入水中，磷化物落到導流臺上會向四周散開，使磷化物分散落入水中，防止局部磷化物集中在一起，導致被包裹在其中的磷化物無法及時的與水進行反應，而分散落入水中，保證了磷化物能夠與水充分混合，并使其在落入水中第一時間能夠與水進行反應，縮短了合成氣體的時間。

19、3、本實用新型根據顆粒磷化物在研磨時會存在大小區(qū)分的特性，通過在導流臺上開設有若干個出料孔，配合轉軸帶動導流臺旋轉的功能，當顆粒磷化物落到導流臺上時，會向其邊緣滑落，在這過程中，通過導流臺的旋轉以及自身的重力關系，大顆粒的磷化物會在其慣性作用下不會從出料孔落下，而從導流臺邊緣落入水中，而小顆粒的磷化物則會從出料孔落下，直接進入水中，將磷化物落水區(qū)域進行劃分，使磷化物在水中分布更加分散，避免局部濃度過高。

技術特征：

1.一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：其包括反應釜（1），所述反應釜（1）頂部設置有輸料管（2）和連通管（3），反應釜（1）與進水管（4）連通，反應釜（1）底部設置有排料管（15），反應釜（1）底板上轉動安裝有轉軸（5），且轉軸（5）與輸料管（2）同軸布設，轉軸（5）上設置有形狀為傘狀的導流臺（6），輸料管（2）出料端朝向導流臺（6），轉軸（5）由第一驅動源驅動旋轉，導流臺（6）由轉軸（5）驅動旋轉，轉軸（5）內設置有用于驅動導流臺（6）升降的電動氣缸（11），反應釜（1）內設置有水位監(jiān)測組件，水位監(jiān)測組件和電動氣缸（11）均與控制箱連接，當反應釜（1）內水位變化后，電動氣缸（11）會驅動導流臺（6）升降，使導流臺（6）邊緣處高度高于反應釜（1）內水位高度。

2.根據權利要求1所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述轉軸（5）上開設有通孔（9），通孔（9）內滑動安裝有連接桿（10），連接桿（10）與導流臺（6）固定連接，且連接桿（10）由電動氣缸（11）驅動升降。

3.根據權利要求1所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述導流臺（6）上開設有若干個形狀為弧形的出料孔（7），且出料孔（7）位于導流臺（6）傘面中部。

4.根據權利要求2所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述轉軸（5）靠近輸料管（2）的一端設置為圓頂（12）。

5.根據權利要求2所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述轉軸（5）表面固定連接有兩個攪拌桿（8），且兩個攪拌桿（8）對稱布設。

6.根據權利要求1所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述輸料管（2）內轉動安裝有絞龍葉片（13），并與轉軸（5）同軸布設，絞龍葉片（13）由第二驅動源驅動旋轉，絞龍葉片（13）邊緣與輸料管（2）內壁滑動配合。

7.根據權利要求5所述的一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其特征在于：所述輸料管（2）與入料管（14）連接，入料管（14）出料端朝向絞龍葉片（13），且入料管（14）出料端高度不低于絞龍葉片（13）的高度。

技術總結
本技術涉及反應釜技術領域，具體公開了一種電子級磷化氫合成與精制裝置，其包括反應釜，所述反應釜頂部設置有輸料管和連通管，反應釜與進水管連通，反應釜底部設置有排料管，反應釜底板上轉動安裝有轉軸，且轉軸與輸料管同軸布設，轉軸上設置有形狀為傘狀的導流臺，輸料管出料端朝向導流臺，轉軸由第一驅動源驅動旋轉，導流臺由轉軸驅動旋轉，轉軸內設置有用于驅動導流臺升降的電動氣缸，本技術通過導流臺轉動，使磷化物從其邊緣處落入水中的速度變緩慢，可以有效控制磷化氫的生成速度，避免因過快產生的大量氣體導致的壓力突增的風險，且磷化物落到導流臺上會向四周散開，使磷化物分散落入水中，增加了磷化物與水接觸的表面積。

技術研發(fā)人員：張磊,王理想,朱顏,王仕華,喬洋,孫建
受保護的技術使用者：全椒南大光電材料有限公司
技術研發(fā)日：20240506
技術公布日：2025/1/2