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一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置的制作方法

文檔序號(hào):40570162發(fā)布日期:2025-01-03 11:30閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,包括支撐組件(1),其特征在于:所述支撐組件(1)內(nèi)壁頂部固定安裝有若干支撐桿(2),所述支撐組件(1)內(nèi)部固定安裝有溶解罐(3),所述溶解罐(3)外壁固定安裝在支撐桿(2)底部,所述溶解罐(3)頂部設(shè)置有密封蓋(31),所述溶解罐(3)內(nèi)部下方設(shè)置有固定架(32);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述置物網(wǎng)板(44)外壁與溶解罐(3)內(nèi)壁接觸,所述加熱板(46)表面具有聚四氟乙烯涂層,所述空心弧塊(48)弧面與彈性伸縮板(47)伸縮端靠近溶解罐(3)內(nèi)壁一側(cè)接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述防混合裝置(5)包括轉(zhuǎn)桿(51)、限位板(52)、限位圓盤(53)、l形順流板(54)和篩盤(55),所述轉(zhuǎn)桿(51)外壁貫穿且轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在濾板(42)限位孔內(nèi)部,所述限位板(52)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)桿(51)一側(cè)固定安裝在溶解罐(3)內(nèi)壁處,所述限位圓盤(53)頂部固定安裝在轉(zhuǎn)桿(51)底部,所述l形順流板(54)頂部靠近溶解罐(3)內(nèi)壁一側(cè)滑動(dòng)安裝在限位圓盤(53)環(huán)形槽內(nèi)部,所述篩盤(55)底部固定安裝在l形順流板(54)頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述限位板(52)內(nèi)部與轉(zhuǎn)桿(51)之間為螺紋連接,所述限位圓盤(53)內(nèi)部開設(shè)有環(huán)形槽,所述篩盤(55)位于濾板(42)下方。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述防混合裝置(5)還包括若干回形框(56)和伸縮磁板(57),若干所述回形框(56)均等距且固定安裝在轉(zhuǎn)桿(51)外壁表面,所述回形框(56)內(nèi)部下方開設(shè)有u形槽,所述伸縮磁板(57)固定端固定安裝在回形框(56)靠近轉(zhuǎn)桿(51)一端內(nèi)壁處。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述防聚集裝置(6)包括若干防滑輪(61)、傳動(dòng)桿(62)和碾壓輥(63),若干所述防滑輪(61)外壁均對(duì)稱且轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在回形框(56)u形槽的內(nèi)壁處,所述防滑輪(61)底部與濾板(42)頂部接觸,所述傳動(dòng)桿(62)兩端均固定安裝在防滑輪(61)相對(duì)一側(cè)中心處,所述傳動(dòng)桿(62)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)桿(51)一端外壁開設(shè)有往復(fù)螺旋槽,所述碾壓輥(63)內(nèi)部貫穿且固定安裝在傳動(dòng)桿(62)靠近轉(zhuǎn)桿(51)一端外壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述防聚集裝置(6)還包括滑動(dòng)板(64)、l形板(65)、抵觸板(66)、擺動(dòng)板(67)和若干弧形片(68),所述滑動(dòng)板(64)內(nèi)部貫穿且活動(dòng)安裝在傳動(dòng)桿(62)往復(fù)螺旋槽外壁處,所述滑動(dòng)板(64)頂部滑動(dòng)安裝在回形框(56)的u形槽頂部,所述l形板(65)底部固定安裝在滑動(dòng)板(64)頂部,所述抵觸板(66)靠近回形框(56)外壁一端固定安裝在l形板(65)外壁處,所述擺動(dòng)板(67)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)桿(51)一端通過(guò)扭簧鉸接在回形框(56)外壁邊緣處,若干所述弧形片(68)遠(yuǎn)離回形框(56)外壁一側(cè)均等距且固定安裝在擺動(dòng)板(67)內(nèi)壁處。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,其特征在于:所述l形板(65)頂部靠近回形框(56)外壁一側(cè)固定安裝在伸縮磁板(57)伸縮端外壁處,所述弧形片(68)弧面位于抵觸板(66)運(yùn)動(dòng)軌跡上。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置,涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括支撐組件,支撐組件內(nèi)壁頂部固定安裝有若干支撐桿,支撐組件內(nèi)部固定安裝有溶解罐,溶解罐外壁固定安裝在支撐桿底部,溶解罐頂部設(shè)置有密封蓋,溶解罐內(nèi)部下方設(shè)置有固定架;溶解罐內(nèi)部設(shè)置有防溫差裝置,防溫差裝置下方設(shè)置有防混合裝置,防混合裝置外圍設(shè)置有防聚集裝置。本發(fā)明依靠加熱板與加熱組件對(duì)溶解罐內(nèi)部溶劑均勻加熱,提升溶劑對(duì)金屬元素的溶解效率,縮短檢測(cè)時(shí)間,同時(shí)彈性伸縮板伸縮時(shí)不斷變換攪動(dòng)范圍與導(dǎo)熱范圍,在原有基礎(chǔ)上進(jìn)一步提升加熱均勻性與金屬元素的溶解速率。

技術(shù)研發(fā)人員:徐艷艷,王英杰,張意,孫偉偉,趙秀芳,程尚栩,高麗榮,宋厚葦,龐衛(wèi)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:國(guó)家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心東海研究院
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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