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一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40570162

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測(cè),具體為一種硅晶圓表面金屬元素檢測(cè)用溶解裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,硅晶圓的表面質(zhì)量至關(guān)重要,為了確保硅晶圓的性能和可靠性,需要對(duì)其表面的金屬元素進(jìn)行檢測(cè),而在檢測(cè)之前,通常需要將硅晶圓溶解在特定的溶劑中,以便提取和分析金屬元素,然而,現(xiàn)有的溶解裝置尺寸較小,不便于整片硅晶圓的溶解,還存在操作不便、容易引入雜質(zhì)等問(wèn)題。、專利公告號(hào)為cnu的專利公開(kāi)了一種用于土壤重金屬檢測(cè)的快速溶解裝置,屬于土壤檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,一種用于土壤重金屬檢測(cè)的快速溶解裝置,...
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