本發(fā)明涉及用于從溶液或混合氣體等流體中分離出一部分成分的分離膜組件及其修補(bǔ)方法。
背景技術(shù)：
：作為用于對(duì)溶液或混合氣體中的成分進(jìn)行分離的設(shè)備，已知有分離膜組件。該分離膜組件中使用的管狀分離膜具有管狀的多孔質(zhì)陶瓷支持體和設(shè)置在該支持體的外周面的由沸石等構(gòu)成的多孔質(zhì)分離膜。為了從溶液或混合氣體等流體中分離出特定的成分，已知有下述方法：使溶液流體與分離膜元件的一側(cè)(外表面)接觸，對(duì)另一側(cè)(內(nèi)表面)進(jìn)行減壓，從而使特定的成分氣化來(lái)進(jìn)行分離的方法；使溶液氣化，以氣體狀態(tài)與分離膜接觸，對(duì)非接觸面?zhèn)冗M(jìn)行減壓，分離出特定的成分的方法；使加壓狀態(tài)的混合氣體與分離膜接觸，分離出特定的成分的方法；等等(專利文獻(xiàn)1～3)。在專利文獻(xiàn)2中記載了在管狀的沸石分離膜的一端插入管狀部件的小徑插入部、同時(shí)將沸石分離膜與管狀部件之間利用氟橡膠制造的o型環(huán)密封而成的結(jié)構(gòu)。被處理流體被供給到沸石分離膜的外側(cè)，一部分成分透過(guò)沸石分離膜而流入到沸石分離膜內(nèi)，與其他成分分離并被取出。另外，在專利文獻(xiàn)2中記載了將沸石分離膜與管狀部件對(duì)接并利用熱收縮膜包覆對(duì)頂部的外周而成的結(jié)構(gòu)。此外，在專利文獻(xiàn)2中記載了通過(guò)將管狀部件擰入到固定部件中來(lái)進(jìn)行固定、并使沸石膜的一端嵌合到該管狀部件的插入部中而成的結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2013-39546號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2011-152507號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2009-39654號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的課題如專利文獻(xiàn)2所示，在沸石分離膜的端部嵌合端部件來(lái)進(jìn)行連結(jié)、或者使端部件與沸石分離膜的端部對(duì)頂并利用熱收縮膜包覆來(lái)進(jìn)行連結(jié)而成的結(jié)構(gòu)中，在由于某些原因而產(chǎn)生沸石分離膜內(nèi)的壓力高于沸石分離膜外的逆壓現(xiàn)象、或者對(duì)于端部件施加與沸石分離膜相反的方向的力時(shí)，端部件可能從沸石分離膜中脫出。本發(fā)明的第1目的在于提供一種分離膜組件，其可防止在這樣的逆壓時(shí)等情況下端部件的脫出。另外，在專利文獻(xiàn)1或3所公開(kāi)的分離膜組件中，沸石分離膜由于流體的流動(dòng)而振動(dòng)，可能會(huì)產(chǎn)生異音、或者密封部可能會(huì)容易劣化。因此，本發(fā)明的第2目的在于提供一種可防止管狀分離膜的振動(dòng)的分離膜組件。此外，在通過(guò)將管狀部件擰入到固定部件中來(lái)進(jìn)行固定的方式的情況下，若沸石分離膜的根數(shù)多，則螺紋切割作業(yè)和擰入作業(yè)需要顯著花費(fèi)勞力，分離膜組件的制造期間變長(zhǎng)，制造成本也增高。因此，本發(fā)明的第3目的在于提供一種分離膜組件，其中，與管狀分離膜的一端連接的端管可容易地被安裝于支撐板，同時(shí)該支撐板的制造也容易。另外，在管狀分離膜被設(shè)置于外殼內(nèi)的分離膜組件中，在一部分(例如1根)管狀分離膜發(fā)生損傷、被處理流體泄露到2次側(cè)(透過(guò)側(cè))的情況下，以往需要停止被處理流體向分離膜組件中的供給、更換損傷的管狀分離膜，分離膜組件的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間長(zhǎng)。因此，本發(fā)明的第4目的在于提供一種分離膜組件及其修補(bǔ)方法，其中，在一部分管狀分離膜發(fā)生損傷的情況下，能夠利用短時(shí)間進(jìn)行處理、重新進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。解決課題的手段本發(fā)明的要點(diǎn)如下。[1]一種分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；其中，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，并且在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，所述分離膜組件進(jìn)而具備用于防止上述端塞從上述管狀分離膜中脫出的防脫出部件。[2]如上述[1]中所述的分離膜組件，其中，所述分離膜組件具有與上述端塞對(duì)峙來(lái)設(shè)置的壓板作為上述防脫出部件。[3]如上述[1]或[2]中所述的分離膜組件，其中，所述分離膜組件具有用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧作為上述防脫出部件。[4]如上述[1]中所述的分離膜組件，其中，所述分離膜組件具有拉近上述端塞與上述端管的彈簧作為上述防脫出部件。[5]一種分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；其中，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，并且在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，進(jìn)而，上述端塞具備施力部件。[6]如上述[5]中所述的分離膜組件，其中，上述施力部件是與上述端塞對(duì)峙來(lái)設(shè)置的壓板和用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧中的至少任意一者、或者是拉近上述端塞與上述端管的彈簧。[7]如上述[2]、[3]或[6]中所述的分離膜組件，其中，用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧被夾在上述壓板與上述端塞之間。[8]如上述[1]～[7]的任意一項(xiàng)所述的分離膜組件，其中，上述端塞在上端面具有突出設(shè)置的桿。[9]一種分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；在該分離膜組件中，設(shè)有上述管狀分離膜的振動(dòng)吸收材料。[10]如上述[9]中所述的分離膜組件，其中，上述振動(dòng)吸收材料為片狀物。[11]如上述[9]或[10]中所述的分離膜組件，其中，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，并且上述振動(dòng)吸收材料按照與上述端塞接觸的方式被設(shè)置。[12]如上述[11]中所述的分離膜組件，在該分離膜組件中，與上述端塞對(duì)峙而設(shè)置有壓板，上述端塞或從上述端塞突出設(shè)置的桿被插通到設(shè)于上述壓板的開(kāi)口中，隔著上述壓板在與上述管狀分離膜相反的一側(cè)設(shè)置有上述振動(dòng)吸收材料，上述端塞或上述桿與上述振動(dòng)吸收材料接觸。[13]如上述[1]～[12]的任意一項(xiàng)所述的分離膜組件，其中，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管從按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板的一個(gè)板面突出，在上述支撐板的一個(gè)板面設(shè)置有插入孔，上述端管被插入到上述插入孔中，上述端管與上述插入孔之間利用o型環(huán)密封。[14]如上述[13]中所述的分離膜組件，其中，上述o型環(huán)被安裝在槽中，該槽被設(shè)于上述端管的外周面和上述端管的端面中的至少一者，安裝有上述o型環(huán)的上述端管被插入到上述插入孔中，從而上述端管與上述支撐板被連結(jié)起來(lái)。[15]如上述[1]～[14]中任意一項(xiàng)所述的分離膜組件，其中，在上述外殼設(shè)置有能夠開(kāi)閉的開(kāi)閉部，能夠藉由上述開(kāi)閉部在上述管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件。[16]如上述[1]～[15]中任意一項(xiàng)所述的分離膜組件，其中，上述流體為氣體的混合物。[17]一種分離膜組件的修補(bǔ)方法，其是上述[15]或[16]中所述的分離膜組件的修補(bǔ)方法，其中，在管狀分離膜產(chǎn)生了損傷的情況下，將設(shè)于外殼的開(kāi)閉部打開(kāi)，在損傷了的上述管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件。[18]一種氣體的混合物的分離方法，在該分離方法中，將氣體的混合物導(dǎo)入到上述[1]～[16]中任意一項(xiàng)所述的分離膜組件中，使透過(guò)性高的氣體透過(guò)而從上述混合物中分離出來(lái)。[19]一種高濃度氣體的制造方法，在該制造方法中，將氣體的混合物導(dǎo)入到上述[1]～[16]中任意一項(xiàng)所述的分離膜組件中，分離出透過(guò)性高的氣體，來(lái)制造高濃度的氣體。發(fā)明的效果在本發(fā)明的第1方式的分離膜組件中，即使在管狀分離膜中產(chǎn)生逆壓，也可防止端塞從管狀分離膜中脫出。在防脫出手段由壓板和彈簧構(gòu)成的情況下、或者由拉近端塞與端管的彈簧構(gòu)成的情況下，管狀分離膜與端塞和端管的密封性也很高。在本發(fā)明的第2方式的分離膜組件中，由于設(shè)置用于吸收管狀分離膜的振動(dòng)的振動(dòng)吸收部件，因而可防止(包括抑制)管狀分離膜的振動(dòng)、防止異音，同時(shí)密封部分和支持體、進(jìn)而管狀分離膜的耐久性也變得良好。在本發(fā)明的第3方式的分離膜組件中，通過(guò)將端管插入到設(shè)于支撐板的插入孔中而將端管與支撐板連接。該插入作業(yè)是極為容易的。另外，即使為多個(gè)插入孔也能夠容易地進(jìn)行穿設(shè)。因此，利用本發(fā)明也容易進(jìn)行支撐板的制造。在本發(fā)明的第4方式的分離膜組件及其修補(bǔ)方法中，在一部分管狀分離膜發(fā)生損傷的情況下，打開(kāi)外殼的開(kāi)閉部，將發(fā)生了損傷的管狀分離膜的透過(guò)流體取出部利用閉塞部件閉塞。由此，可防止泄露到發(fā)生了損傷的管狀分離膜的2次側(cè)的被處理流體混入到其他健全的管狀分離膜的透過(guò)流體中。附圖說(shuō)明圖1是第1實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖2是圖1的上部放大圖。圖3是第2實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖4是圖3的上部放大圖。圖5是第3實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖6是第4實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖7是圖1或圖3的iii-iii線截面圖或者圖5或圖6的ii-ii線截面圖。圖8是圖1或圖3的iv-iv線截面圖或者圖5或圖6的iii-iii線截面圖。圖9是端管和支撐板的放大截面圖。圖10是圖9的部分放大圖。圖11是第1實(shí)施方式中的另一實(shí)施方式的管狀分離膜連結(jié)體的截面圖。圖12是分離膜系統(tǒng)的流程圖。圖13是分離膜系統(tǒng)的流程圖。圖14是分離膜系統(tǒng)的流程圖。圖15是第1實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖16是第2實(shí)施方式中的另一實(shí)施方式的分離膜組件的部分放大圖。圖17是第2實(shí)施方式中的又一實(shí)施方式的分離膜組件的部分放大圖。圖18是第2實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖19是第3實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖。圖20(a)～圖20(d)是示出第4實(shí)施方式的分離膜組件利用閉塞部件得到的閉塞狀態(tài)的截面圖。圖21是示出第4實(shí)施方式的分離膜組件利用閉塞部件得到的閉塞狀態(tài)的截面圖。圖22是第4實(shí)施方式的分離膜組件的膜分離系統(tǒng)的流程圖。圖23(a)是用于模擬實(shí)施例的系統(tǒng)的示意圖，圖23(b)是參考例1中的氧化鋁管的圖像圖，圖23(c)是參考例2中的氧化鋁管的圖像圖。圖24是第1實(shí)施方式的分離膜組件沿著外殼軸心線方向的截面圖的上部放大圖。具體實(shí)施方式在本發(fā)明的分離膜組件中，作為第1實(shí)施方式，為下述的分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；其特征在于，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，并且在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，所述分離膜組件進(jìn)而具備用于防止上述端塞從上述管狀分離膜中脫出的防脫出部件。此處，作為防脫出部件，優(yōu)選具有與上述端塞對(duì)峙來(lái)設(shè)置的壓板以及用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧中的至少一者、或者具有拉近上述端塞與上述端管的彈簧。另外，作為第1實(shí)施方式，為下述的分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；其特征在于，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，并且在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，進(jìn)而，上述端塞具備施力部件。施力部件只要為按照端塞不會(huì)從管狀分離膜中脫出的方式進(jìn)行施力的部件就沒(méi)有特別限定。例如可以舉出壓板、彈簧等。更具體地說(shuō)，優(yōu)選可以舉出與上述端塞對(duì)峙來(lái)設(shè)置的壓板和用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧中的至少任意一者、或者拉近上述端塞與上述端管的彈簧。需要說(shuō)明的是，所謂施力部件為上述防脫出部件的一例。在上述方式中，用于將上述端塞向著上述管狀分離膜推壓的彈簧優(yōu)選被夾在上述壓板與上述端塞之間。另外，上述端塞優(yōu)選在上端面具有突出設(shè)置的桿。下面參照?qǐng)D1、2、7～10和15對(duì)本發(fā)明第1實(shí)施方式的分離膜組件進(jìn)行說(shuō)明。但是，本發(fā)明的范圍并不限于這些。該分離膜組件1具有：將筒軸心方向作為上下方向的圓筒狀的外殼2、被配置在與外殼2的軸心線平行的方向的管狀分離膜3、設(shè)置在外殼2內(nèi)的下部的支撐板5、被安裝在外殼2的下端的底罩6a和被安裝在上端的頂罩6b、與支撐板5平行地分別配置在外殼2內(nèi)的下部和上部的第1導(dǎo)流板(整流板)7、第2導(dǎo)流板(整流板)8以及壓板25等。第1導(dǎo)流板7被配置在支撐板5的上側(cè)。在該實(shí)施方式中，在外殼2的下端和上端側(cè)以及底罩6a和頂罩6b的外周邊分別設(shè)置外向的凸緣2a,2b,6b,6c，利用螺栓(省略圖示)將它們固定。在在凸緣2a,6b之間介入墊片(省略圖示)來(lái)挾持支撐板5的周邊部。在該實(shí)施方式中，在管狀分離膜3的下端連結(jié)端管4。在管狀分離膜3的上端連結(jié)端塞20。作為管狀分離膜3，可以如圖15所示將2根管狀分離膜3利用連接管17連結(jié)而構(gòu)成管狀分離膜連結(jié)體。需要說(shuō)明的是，例如，在圖7和8中，僅示出了7根管狀分離膜，但實(shí)際上可以為1根，也可以為設(shè)置多根(例如2～3000根、優(yōu)選50～1500根)的多管式分離膜組件。在外殼2的下部的外周面設(shè)置被處理流體的流入口9，在上部的外周面設(shè)置被處理流體的流出口10。流入口9按照朝向支撐板5與第1導(dǎo)流板7之間的室11的方式來(lái)設(shè)置。流出口10按照朝向第2導(dǎo)流板8的上側(cè)的室12的方式來(lái)設(shè)置。導(dǎo)流板7,8之間為用于進(jìn)行膜分離的主室13。自底部的支撐板5立設(shè)多個(gè)桿14，導(dǎo)流板7,8和壓板25被該桿14支撐。在桿14的下端刻設(shè)外螺紋，擰扣在支撐板5的內(nèi)螺紋孔中。導(dǎo)流板7,8和壓板25被外嵌于桿14的鞘管14a,14b,14c(圖2,9)支撐在特定高度。鞘管14a被配置在支撐板5與導(dǎo)流板7之間。鞘管14b被配置在導(dǎo)流板7,8之間。鞘管14c被配置在導(dǎo)流板8與壓板25之間。導(dǎo)流板8被載設(shè)在鞘管14b的上端面。壓板25被配置在導(dǎo)流板8的上方且被載置于鞘管14c的上端面，利用擰扣在桿14的上端的螺母14n進(jìn)行固定。在該實(shí)施方式中，在導(dǎo)流板7,8的外周面與外殼2的內(nèi)周面之間夾設(shè)o型環(huán)、v形密封墊、c形環(huán)等密封部件。在該實(shí)施方式中，導(dǎo)流板的數(shù)目為2，但也可以設(shè)置3個(gè)以上。在各導(dǎo)流板7,8設(shè)置了用于插通管狀分離膜3的圓形插通孔7a,8a，管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體被插通到各插通孔7a,8a中。插通孔7a,8a的口徑大于管狀分離膜3、端管4和端塞20的直徑(外徑)，在插通孔7a,8a的內(nèi)周面與端管4和端塞20的外周面之間沿著整個(gè)圓周空出間隙。在支撐板5的上表面?zhèn)仍O(shè)置有與管狀分離膜3連結(jié)的端管4的下端所插入的插入孔5a。插入孔5a為圓柱形，從支撐板5的上表面延伸至厚度方向的中途。插入孔5a的孔底藉由小孔5b和大孔5c而與支撐板5的下側(cè)連通。端管4與插入孔5a之間利用o型環(huán)密封。各端管4的管孔4a藉由小孔5b和大孔5c而與底罩6a和支撐板5之間的流出室16連通。在底罩6a設(shè)置有所分離出的透過(guò)流體的取出口6a。如圖10所示，在端管4的下端附近的外周面環(huán)周設(shè)置槽4b，裝上由氟橡膠、氟樹(shù)脂等構(gòu)成的o型環(huán)30。在該實(shí)施方式中，槽4a設(shè)置多條，但也可以設(shè)置單條。另外，端管與插入孔之間利用o型環(huán)密封。即，在端管4的下端面也環(huán)周設(shè)置與端管4的管孔4a同心狀的槽4c，并裝有o型環(huán)31。o型環(huán)30與插入孔5a的內(nèi)周面密合、o型環(huán)31與插入孔5a的孔底面密合，從而進(jìn)行端管4的外表面與插入孔5a之間的密封。需要說(shuō)明的是，端管4的外周面的o型環(huán)30與下端面的o型環(huán)31也可以僅設(shè)置任意一者。即，優(yōu)選o型環(huán)被安裝在設(shè)于端管的外周面和端面中的至少一者的槽中，裝有上述o型環(huán)的端管被插入到上述插入孔中，從而將端管與支撐板連結(jié)。如圖9和10所示，端管4的上端部成為小徑部4g，插入到管狀分離膜3的下部。管狀分離膜3與端管4之間利用o型環(huán)密封。o型環(huán)32被裝在環(huán)周設(shè)置于該小徑部4g的外周面的槽中。另外，在管狀分離膜3的下端面與端管4的階梯面之間也夾有o型環(huán)33。端管4與管狀分離膜3的連接部也可以不使用上述那樣的o型環(huán)、而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。如圖1和2所示，在上側(cè)的管狀分離膜3的上端連結(jié)有端塞20。端塞20為圓柱狀或削去其一部分而成的形狀，其將管狀分離膜3的上端密封。在端塞20的下端設(shè)置插入到管狀分離膜3內(nèi)的小徑部21。端塞20與管狀分離膜3之間利用o型環(huán)34,35密封。該端塞20與管狀分離膜3的密封結(jié)構(gòu)和上述端管4的小徑部4g與管狀分離膜3的密封結(jié)構(gòu)為同樣的結(jié)構(gòu)。端塞20與管狀分離膜3也可以不使用o型環(huán)而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。另外，端塞優(yōu)選在上端面具有突出設(shè)置的桿，更詳細(xì)地說(shuō)，從端塞20的上端面的中央向上方立設(shè)桿22。在配置于端塞20的上方的壓板25設(shè)有插入該桿22的開(kāi)口25a。即，壓板25優(yōu)選與端塞20對(duì)峙來(lái)設(shè)置。桿22的直徑小于開(kāi)口25a的口徑，在桿22與開(kāi)口25a的內(nèi)周面之間空出間隙。在將桿22的直徑設(shè)為x時(shí)，開(kāi)口25a的直徑優(yōu)選為x+0.02mm以上、更優(yōu)選為x+0.1mm以上，優(yōu)選為x+0.5mm以下、更優(yōu)選為x+0.4mm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為x+0.2mm以下。通過(guò)使開(kāi)口25a的直徑為該范圍，桿22能夠平穩(wěn)地運(yùn)動(dòng)、并且不容易產(chǎn)生晃動(dòng)(ガタツキ)，因而能夠降低管狀分離膜3的振動(dòng)。另外，在分離膜組件中，優(yōu)選具有用于將端塞20向著管狀分離膜推壓的彈簧。更優(yōu)選按照圍繞該桿22的方式在端塞20的上端面與壓板25的下表面之間夾有壓縮螺旋彈簧26(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為“彈簧26”)。端塞20通過(guò)該彈簧26向下方施力。因此，即使在由于某些原因而使管狀分離膜3的內(nèi)壓上升、端塞20被施加了從管狀分離膜3中脫出的方向的力時(shí)，也可防止端塞20的脫出。同樣地，也可防止上側(cè)的管狀分離膜3從連接管17脫出、或者連接管17從下側(cè)的管狀分離膜3脫出。需要說(shuō)明的是，在管狀分離膜3發(fā)生熱膨脹或熱收縮時(shí)，彈簧26追隨該熱膨脹或熱收縮而發(fā)生收縮或伸長(zhǎng)。在如圖15所示將多根、例如2根管狀分離膜3藉由連接管17連結(jié)的情況下，該連接管17具有沿管軸方向貫通的貫通孔。連接管17的兩端側(cè)(上端側(cè)和下端側(cè))形成為插入到管狀分離膜3內(nèi)的小徑部。小徑部的外周面圍繞一周設(shè)有槽并裝有o型環(huán)(省略圖示)。連接管17與管狀分離膜3也可以不使用o型環(huán)而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。另外，連接管17的兩端側(cè)的小徑部彼此之間形成為大徑部，小徑部與大徑部的邊界部形成階梯面。在該階梯面與管狀分離膜3的端面之間也夾有o型環(huán)(省略圖示)。需要說(shuō)明的是，盡管未圖示，但在藉由連接管17進(jìn)行連結(jié)的情況下，優(yōu)選在連接管的位置設(shè)置導(dǎo)流板。在組裝該分離膜組件1時(shí)，例如，將端管4、管狀分離膜3和端塞20依序插入到設(shè)于支撐板5的插入孔5a中而將它們立設(shè)在支撐板5上。僅通過(guò)將端管4的下端部插入到插入孔5a中即能夠容易地將端管4與支撐板5以氣密或液密狀進(jìn)行連結(jié)。另外，由于插入孔5a為圓柱形，因而在支撐板5上穿設(shè)插入孔5a的作業(yè)很容易，支撐板5的制作也很容易。從而，能夠謀求縮短分離膜組件的制作工期和降低制作成本。將端管4、管狀分離膜3和端塞20的連結(jié)體立設(shè)在支撐板5上之后，隔著彈簧26蓋上壓板25，擰上螺母14n。其后安裝頂罩6b。在這樣構(gòu)成的分離膜組件1中，被處理流體從流入口9被導(dǎo)入到外殼2的室11內(nèi)，通過(guò)導(dǎo)流板7的插通孔7a的內(nèi)周面與端管4的外周面之間的間隙而流入到主室13中，通過(guò)主室13后，通過(guò)導(dǎo)流板8的插通孔8a與端塞20的間隙而流出到室12中。在流經(jīng)主室13的期間被處理流體的一部分成分透過(guò)管狀分離膜3而從管狀分離膜3內(nèi)經(jīng)由流出室16和取出口6a被取出。未透過(guò)的流體從流出口10流出到分離膜組件1外。在該實(shí)施方式中，在管狀分離膜3的上端側(cè)配置端塞20，利用彈簧26向下方施力，因而對(duì)于管狀分離膜3、端塞20、端管4在分別彼此推壓的方向上施加了負(fù)荷。因此，它們彼此間的密封性高，同時(shí)如上所述，在管狀分離膜3的內(nèi)壓上升的情況下，可防止端塞20、管狀分離膜3、連接管17脫出。需要說(shuō)明的是，主室13內(nèi)的流動(dòng)與管狀分離膜3內(nèi)的流動(dòng)可以為并流、也可以為逆流，被處理流體的流入口9與流出口10也可以調(diào)換。在該實(shí)施方式中，將多根管狀分離膜3平行地排列設(shè)置，膜面積增大，因而可效率良好地進(jìn)行膜分離。在該實(shí)施方式中，與管狀分離膜3的兩端連結(jié)的端管4和端塞20分別插入到導(dǎo)流板7,8的插通孔7a,8a中。因此，即使管狀分離膜3發(fā)生振動(dòng)或揺動(dòng)而使端管4和端塞20與插通孔7a,8a的內(nèi)周面抵接，也不會(huì)損傷沸石膜，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。在上述實(shí)施方式中，利用o型環(huán)將管狀分離膜3、端管4和端塞20彼此之間密封，但也可以利用熱收縮管將它們連結(jié)并進(jìn)行密封。在上述實(shí)施方式中使用了彈簧26，在端塞20的上端面與壓板25的間隔減小的情況下，也可以省略彈簧26。這種情況下，在管狀分離膜3的內(nèi)壓增高、端塞20向上方移動(dòng)時(shí)，端塞20的上端面與壓板25接觸，可防止端塞20脫出。在上述實(shí)施方式中，彈簧26對(duì)端塞20進(jìn)行推壓，但也可以使用用于拉近端塞20和端管4的彈簧。參照?qǐng)D11對(duì)該實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖11是該實(shí)施方式中使用的管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體的截面圖。在該連結(jié)體中，在管狀分離膜3內(nèi)配置線繩41，該線繩41的下端與端管4的上端面連接。拉伸螺旋彈簧42的下端與線繩41的上端連接。在拉伸螺旋彈簧42的上端設(shè)置鉤部43。在端塞20的下端面安裝鉤片44，鉤部43被掛在鉤片44上。在拉伸螺旋彈簧42的拉伸力的作用下，端塞20與端管4被彈性拉近，防止端塞20、管狀分離膜3等的脫出。在上述實(shí)施方式中，端塞20與桿22形成為一體，但也可以形成為分體的。將其一例示于圖24。在圖24中，桿22a具有：插通到開(kāi)口25a中的桿主體22a、設(shè)置在該桿主體22a的下端的盤狀部22b、以及設(shè)置在桿主體22a的上端的防止下落部22c。桿主體22a的直徑與上述桿22相同。防止下落部22c可以為圓盤狀、也可以為棒狀。防止下落部22c的尺寸(圓盤狀防止下落部22c的直徑、棒狀防止下落部22c的長(zhǎng)度)大于開(kāi)口25a的口徑，防止桿22a穿過(guò)開(kāi)口25a而下落。對(duì)于防止下落部22c，在該實(shí)施方式中，底面形成向下方凸出地彎曲的曲面。端塞20a的上端面形成向上方凹陷地彎曲的凹部20r。在盤狀部22b的上表面與壓板25的下表面之間按照圍繞桿主體22a的方式存在有壓縮螺旋彈簧26。該彈簧26向下方對(duì)桿22a施力，盤狀部22b被推壓在凹部20r上。通過(guò)使盤狀部22b的底面與凹部20r如上所述形成曲面，桿22a被向著端塞20a與桿22a推壓時(shí)，端塞20a與桿22a自然地垂直。圖24的其他構(gòu)成與圖2相同，相同符號(hào)表示相同部分。參照?qǐng)D12～14對(duì)于使用多個(gè)分離膜組件1的分離膜系統(tǒng)的構(gòu)成例進(jìn)行說(shuō)明。圖12是并列設(shè)置多個(gè)分離膜組件1的分離膜系統(tǒng)的流程圖。各分離膜組件1按照?qǐng)D1的姿勢(shì)、即流入口9為下側(cè)、流出口10為上側(cè)來(lái)設(shè)置。被處理流體藉由供給主管50和從其分支出的多個(gè)支管51被供給至各分離膜組件1的流入口9中，進(jìn)行膜分離處理，透過(guò)流體藉由支管52和集合管53被取出。非透過(guò)流體藉由支管54和集合管55流出。在該分離膜系統(tǒng)中，在一部分分離膜組件1的管狀分離膜3發(fā)生破損、被處理流體通過(guò)破損處而直接流入到管狀分離膜3內(nèi)的情況下，該發(fā)生了破損的分離膜組件1的管狀分離膜的內(nèi)壓上升，同時(shí)藉由支管54和集合管55，其他分離膜組件1的管狀分離膜3的內(nèi)壓也上升。在該實(shí)施方式中，如上所述，即使在產(chǎn)生這樣的逆壓現(xiàn)象的情況下，各分離膜組件1的端塞20等也不會(huì)脫出。圖13是將多個(gè)分離膜組件1串聯(lián)連接而成的分離膜系統(tǒng)的流程圖。各分離膜組件1按照?qǐng)D1的姿勢(shì)、即流入口9為下側(cè)、流出口10為上側(cè)來(lái)設(shè)置。被處理流體從供給配管56供給到最上游側(cè)的分離膜組件1的流入口9，其非透過(guò)流體從流出口10藉由配管57供給到下一段的分離膜組件1的流入口9，以下同樣地將來(lái)自各分離膜組件1的非透過(guò)流體供給到下段側(cè)的分離膜組件1，最終段的分離膜組件1的非透過(guò)流體從配管58流出。透過(guò)了各分離膜組件1的管狀分離膜3的透過(guò)流體藉由支管59和集合管60被取出。在圖14的分離膜系統(tǒng)中，多個(gè)分離膜組件1串聯(lián)連接，并且奇數(shù)段的分離膜組件1為圖1的姿勢(shì)、偶數(shù)段的分離膜組件1為與圖1相反的倒立姿勢(shì)。即，在偶數(shù)段的分離膜組件1中，流入口9位于分離膜組件1的上部，流出口10位于分離膜組件1的下部。其他構(gòu)成與圖13相同，被處理流體、透過(guò)流體和非透過(guò)流體的流動(dòng)與圖13的情況相同。在圖14中，與圖13相比，縮短了配管57的長(zhǎng)度。由于分離膜組件1具備彈簧26，因此即使分離膜組件1為倒立姿勢(shì)，也可防止端塞20、管狀分離膜3、連接管17的脫出。在圖13和14中，藉由集合管60來(lái)取出透過(guò)流體，但也可省略集合管60，分別從各支管59中取出。需要說(shuō)明的是，如上所述，在本發(fā)明的分離膜組件1中，也能夠?yàn)閺牧鞒隹?0導(dǎo)入被處理流體、從流入口9流出非透過(guò)流體的用法。因此，在圖13中，也可以將下述配管57與偶數(shù)段的分離膜組件1的流出口10連接，該配管57用于將來(lái)自奇數(shù)段的分離膜組件1的流出口10的非透過(guò)流體導(dǎo)入到下一段(該偶數(shù)段的分離膜組件1)中。另外，在本發(fā)明的分離膜組件中，作為第2實(shí)施方式，為下述的分離膜組件，其具有筒狀的外殼和配置在上述外殼內(nèi)的管狀分離膜，被處理流體在上述外殼內(nèi)從一端側(cè)流向另一端側(cè)，透過(guò)了上述管狀分離膜的流體通過(guò)上述管狀分離膜而被取出；其特征在于，在該分離膜組件中設(shè)有上述管狀分離膜的振動(dòng)吸收材料。在上述方式中，優(yōu)選上述振動(dòng)吸收材料為片狀物。另外，優(yōu)選在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管被按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板支撐，在上述管狀分離膜的另一端部連接有端塞，并且上述振動(dòng)吸收材料按照與上述端塞接觸的方式進(jìn)行設(shè)置。其中，更優(yōu)選與上述端塞對(duì)峙來(lái)設(shè)置壓板，上述端塞或從上述端塞突出設(shè)置的桿被插通到設(shè)于上述壓板的開(kāi)口中，隔著上述壓板在與上述管狀分離膜相反的一側(cè)設(shè)置上述振動(dòng)吸收材料，上述端塞或上述桿與上述振動(dòng)吸收材料接觸。下面參照?qǐng)D3、4、7～10和18對(duì)本發(fā)明第2實(shí)施方式的分離膜組件進(jìn)行說(shuō)明。但是，本發(fā)明的范圍并不限于這些。該分離膜組件1具有：圓筒狀的外殼2、被配置在與外殼2的軸心線平行的方向的多個(gè)管狀分離膜3、設(shè)置在外殼2內(nèi)的下部的支撐板5、被安裝在外殼2的下端的底罩6a和被安裝在上端的頂罩6b、與支撐板5平行地分別配置在外殼2內(nèi)的下部和上部的第1導(dǎo)流板(整流板)7、第2導(dǎo)流板(整流板)8以及壓板25等。第1導(dǎo)流板7被配置在支撐板5的上側(cè)。在該實(shí)施方式中，在外殼2的下端和上端側(cè)以及底罩6a和頂罩6b的外周邊分別設(shè)置外向的凸緣2a,2b,6b,6c，利用螺栓(省略圖示)將它們固定。支撐板5的周邊部隔著墊片(省略圖示)被挾持在凸緣2a,6b之間。并不限于該實(shí)施方式，分離膜組件1也可以為將筒軸心方向顛倒的將底罩6a配置在上側(cè)的使用方法，還可以按照連結(jié)底罩6a、頂罩6b的方向?yàn)榇笾滤椒较虻姆绞綄⒎蛛x膜組件1設(shè)置成臥式來(lái)進(jìn)行使用。在該實(shí)施方式中，在管狀分離膜3的下端連結(jié)有端管4。在管狀分離膜3的上端連結(jié)有端塞20。如圖18所示，可以將2根管狀分離膜3利用連接管17連結(jié)而構(gòu)成管狀分離膜連結(jié)體。例如，在圖7和8中，僅示出了7根管狀分離膜，但實(shí)際上可以僅為1根，也可以為設(shè)置多根(2～3000根、優(yōu)選50～1500根)的多管式分離膜組件。在外殼2的下部的外周面設(shè)置被處理流體的流入口9，在上部的外周面設(shè)置被處理流體的流出口10。流入口9按照朝向支撐板5與第1導(dǎo)流板7之間的室11的方式來(lái)設(shè)置。流出口10按照朝向第2導(dǎo)流板8的上側(cè)的室12的方式來(lái)設(shè)置。導(dǎo)流板7,8之間為用于進(jìn)行膜分離的主室13。自底部的支撐板5立設(shè)多個(gè)桿14，導(dǎo)流板7,8和壓板25被該桿14支撐。在桿14的下端刻設(shè)外螺紋，擰扣在支撐板5的內(nèi)螺紋孔中。導(dǎo)流板7,8和壓板25被外嵌于桿14的鞘管14a,14b,14c(圖4和9)支撐在特定高度。鞘管14a被配置在支撐板5與導(dǎo)流板7之間。鞘管14b被配置在導(dǎo)流板7,8之間。鞘管14c被配置在導(dǎo)流板8與壓板25之間。導(dǎo)流板8被載設(shè)在鞘管14b的上端面。壓板25被配置在導(dǎo)流板8的上方且被載置于鞘管14c的上端面，利用擰扣在桿14的上端的螺母14n進(jìn)行固定。在該實(shí)施方式中，在導(dǎo)流板7,8的外周面與外殼2的內(nèi)周面之間可以?shī)A設(shè)o型環(huán)、v形密封墊、c形環(huán)等密封部件。在各導(dǎo)流板7,8設(shè)置了用于插通管狀分離膜3的圓形插通孔7a,8a，管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體被插通到各插通孔7a,8a中。插通孔7a,8a的口徑大于管狀分離膜3、端管4和端塞20的直徑(外徑)，在插通孔7a,8a的內(nèi)周面與端管4和端塞20的外周面之間沿著整個(gè)圓周空出間隙。導(dǎo)流板的數(shù)目并不限于該實(shí)施方式，也可以使用3個(gè)以上的導(dǎo)流板。在支撐板5的上表面?zhèn)仍O(shè)置有與管狀分離膜3連結(jié)的端管4的下端所插入的插入孔5a。插入孔5a為圓柱形，從支撐板5的上表面延伸至厚度方向的中途。插入孔5a的孔底藉由小孔5b和大孔5c而與支撐板5的下側(cè)連通。端管4與插入孔5a之間利用o型環(huán)密封。各端管4的管孔4a藉由小孔5b和大孔5c而與底罩6a和支撐板5之間的流出室16連通。在底罩6a設(shè)置有所分離出的透過(guò)流體的取出口6a。如圖10所示，在端管4的下端附近的外周面環(huán)周設(shè)置槽4b，裝上由氟橡膠、氟樹(shù)脂等構(gòu)成的o型環(huán)30。在該實(shí)施方式中，槽4a設(shè)置多條。另外，端管與插入孔之間利用o型環(huán)密封。即，在端管4的下端面也環(huán)周設(shè)置與端管4的管孔4a同心狀的槽4c，并裝有o型環(huán)31。o型環(huán)30與插入孔5a的內(nèi)周面密合、o型環(huán)31與插入孔5a的孔底面密合，從而進(jìn)行端管4的外表面與插入孔5a之間的密封。需要說(shuō)明的是，端管4的外周面的o型環(huán)30與下端面的o型環(huán)31可以僅設(shè)置任意一者。即，優(yōu)選o型環(huán)被安裝在設(shè)于端管的外周面和端面中的至少一者的槽中，裝有上述o型環(huán)的端管被插入到上述插入孔中，從而將端管與支撐板連結(jié)。如圖9和10所示，端管4的上端部成為小徑部4g，插入到管狀分離膜3的下部。管狀分離膜3與端管4之間利用o型環(huán)密封。o型環(huán)32被裝在環(huán)周設(shè)置于該小徑部4g的外周面的槽中。另外，在管狀分離膜3的下端面與端管4的階梯面之間也夾有o型環(huán)33。端管4與管狀分離膜3的連接部也可以不使用上述那樣的o型環(huán)、而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。如圖3和4所示，在上側(cè)的管狀分離膜3的上端連結(jié)有端塞20。端塞20為圓柱狀或削去其一部分而成的形狀，其將管狀分離膜3的上端密封。在端塞20的下端設(shè)置插入到管狀分離膜3內(nèi)的小徑部21。端塞20與管狀分離膜3之間利用o型環(huán)34,35密封。該端塞20與管狀分離膜3的密封結(jié)構(gòu)和上述端管4的小徑部4g與管狀分離膜3的密封結(jié)構(gòu)為同樣的結(jié)構(gòu)。另外，端塞20與管狀分離膜3也可以不使用o型環(huán)而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。從端塞20的上端面的中央向上方立設(shè)桿22。在配置于端塞20的上方的壓板25設(shè)有插入該桿22的開(kāi)口25a。桿22的直徑小于開(kāi)口25a的口徑，在桿22與開(kāi)口25a的內(nèi)周面之間空出間隙。需要說(shuō)明的是，壓板25的周邊部設(shè)有用于連通壓板25的下側(cè)的室12和上側(cè)的室12a的切口部25b。在管狀分離膜中設(shè)置振動(dòng)吸收材料，該振動(dòng)吸收材料優(yōu)選為片狀物。例如，桿22稍向壓板25的上方突出。在壓板25的上面覆蓋由軟質(zhì)材料構(gòu)成的振動(dòng)吸收片28，使桿22的上端部與該振動(dòng)吸收片28相接。作為振動(dòng)吸收片28，使用凝膠片、橡膠片、海綿片等由具有粘彈性的材料構(gòu)成的片材。在端塞20的上端面與壓板25的下表面之間按照圍繞該桿22的方式夾有壓縮螺旋彈簧26。端塞20通過(guò)該彈簧26向下方施力。因此，即使在由于某些原因而使管狀分離膜3的內(nèi)壓上升、端塞20被施加從管狀分離膜3脫出的方向的力時(shí)，也可防止端塞20的脫出。同樣地，也可防止上側(cè)的管狀分離膜3從連接管17脫出、或者連接管17從下側(cè)的管狀分離膜3脫出。需要說(shuō)明的是，在管狀分離膜3發(fā)生熱膨脹或熱收縮時(shí)，彈簧26追隨該熱膨脹或熱收縮而發(fā)生收縮或伸長(zhǎng)。如上所述，在圖18所示的實(shí)施方式中，將多根、例如2根管狀分離膜3藉由連接管17連結(jié)。該連接管17具有沿管軸方向貫通的貫通孔。連接管17的兩端側(cè)(上端側(cè)和下端側(cè))形成為插入到管狀分離膜3內(nèi)的小徑部。在小徑部的外周面圍繞一周設(shè)有槽并裝有o型環(huán)(省略圖示)。連接管17與管狀分離膜3也可以不使用o型環(huán)而使用熱收縮管來(lái)進(jìn)行密封，還可以在使用了o型環(huán)之后進(jìn)一步使用熱收縮管。另外，連接管17的兩端側(cè)的小徑部彼此之間形成為大徑部，小徑部與大徑部的邊界部形成階梯面。在該階梯面與管狀分離膜3的端面之間也夾有o型環(huán)(省略圖示)。在組裝該分離膜組件1時(shí)，例如，將端管4、管狀分離膜3和端塞20依序插入到設(shè)于支撐板5的插入孔5a中而將它們立設(shè)在支撐板5上。僅通過(guò)將端管4的下端部插入到插入孔5a中即能夠容易地將端管4與支撐板5以氣密或液密狀進(jìn)行連結(jié)。另外，由于插入孔5a為圓柱形，因而在支撐板5上穿設(shè)插入孔5a的作業(yè)很容易，支撐板5的制作也很容易。從而，能夠謀求縮短分離膜組件的制作工期和降低制作成本。將管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體立設(shè)在支撐板5上之后，隔著彈簧26蓋上壓板25，擰上螺母14n。其后在壓板25上覆蓋振動(dòng)吸收片28，安裝頂罩6b。在這樣構(gòu)成的分離膜組件1中，被處理流體從流入口9被導(dǎo)入到外殼2的室11內(nèi)，通過(guò)導(dǎo)流板7的插通孔7a的內(nèi)周面與端管4的外周面之間的間隙而流入到主室13中，通過(guò)主室13后，通過(guò)導(dǎo)流板8的插通孔8a與端塞20的間隙而流出到室12中。在流經(jīng)主室13的期間被處理流體的一部分成分透過(guò)管狀分離膜3而從管狀分離膜3內(nèi)經(jīng)由流出室16和取出口6a被取出。未透過(guò)的流體從流出口10流出到分離膜組件1外。在該實(shí)施方式中，由于設(shè)置振動(dòng)吸收材料、優(yōu)選設(shè)置振動(dòng)吸收片28，因而可防止管狀分離膜3的振動(dòng)，可防止異音的發(fā)生、防止密封部、支持體和管狀分離膜的早期劣化。另外，振動(dòng)吸收材料優(yōu)選按照與端塞20相接的方式進(jìn)行設(shè)置。在該實(shí)施方式中，與管狀分離膜3的兩端連結(jié)的端管4和端塞20分別插入到導(dǎo)流板7,8的插通孔7a,8a中。因此，即使管狀分離膜3發(fā)生振動(dòng)或揺動(dòng)而使端管4和端塞20與插通孔7a,8a的內(nèi)周面抵接，也不會(huì)損傷沸石膜，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。在該實(shí)施方式中，在管狀分離膜3的上端側(cè)配置端塞20，利用彈簧26向下方施力，因而對(duì)于管狀分離膜3、端塞20、端管4和連接管17在分別彼此推壓的方向上施加負(fù)荷。因此，它們彼此間的密封性高，同時(shí)如上所述，在管狀分離膜3的內(nèi)壓上升的情況下，可防止端塞20、管狀分離膜3、連接管17脫出。需要說(shuō)明的是，主室13內(nèi)的流動(dòng)與管狀分離膜3內(nèi)的流動(dòng)可以為并流、也可以為逆流，被處理流體的流入口9與流出口10也可以調(diào)換。在該實(shí)施方式中，將多根管狀分離膜3平行地排列設(shè)置，膜面積增大，因而可效率良好地進(jìn)行膜分離。在上述實(shí)施方式中，利用o型環(huán)將管狀分離膜3、端管4和端塞20彼此之間密封，但也可以利用熱收縮管將它們連結(jié)并進(jìn)行密封。在上述實(shí)施方式中使用了彈簧26，在端塞20的上端面與壓板25的間隔減小的情況下，也可以省略彈簧26。這種情況下，在管狀分離膜3的內(nèi)壓增高、端塞20向上方移動(dòng)時(shí)，端塞20的上端面與壓板25接觸，可防止端塞20脫出。在上述實(shí)施方式中，彈簧26對(duì)端塞20進(jìn)行推壓，但也可以在管狀分離膜3內(nèi)設(shè)置用于拉近端塞20和端管4的彈簧。需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明的分離膜組件1中，也能夠?yàn)閺牧鞒隹?0導(dǎo)入被處理流體、從流入口9流出非透過(guò)流體的用法。在上述實(shí)施方式中，作為振動(dòng)吸收材料使用了振動(dòng)吸收片28，但也可以使用其他振動(dòng)吸收材料。將其一例示于圖16。在圖16中，省略了振動(dòng)吸收片28，作為其替代，在壓板25的上側(cè)鋪滿由凝膠、橡膠、海綿等粘彈性材料構(gòu)成的球(球狀體)狀振動(dòng)吸收體40，桿22的上端部被振動(dòng)吸收體40包圍、并與振動(dòng)吸收體40相接。需要說(shuō)明的是，在壓板25可以不設(shè)置切口部25b、也可以設(shè)置切口部25b。圖16的其他構(gòu)成與圖4相同，相同符號(hào)表示相同部分。根據(jù)該實(shí)施方式，管狀分離膜3的振動(dòng)也被振動(dòng)吸收體40吸收。在上述實(shí)施方式中，具有管狀分離膜3被立設(shè)在支撐板5上的結(jié)構(gòu)，但也可以將支撐板配置在分離膜組件的上部，成為管狀分離膜被支撐板懸掛支撐的結(jié)構(gòu)。將其一例示于圖17。圖17中示出了將圖3、4和7～9的分離膜組件上下顛倒的結(jié)構(gòu)的分離膜組件的下部。在該分離膜組件中，振動(dòng)吸收片61被鋪設(shè)在頂罩6b上。振動(dòng)吸收片61由具有特定厚度的粘彈性體構(gòu)成。桿22的下端被壓入到該振動(dòng)吸收片61中。通過(guò)該振動(dòng)吸收片61吸收管狀分離膜3的振動(dòng)。即，優(yōu)選隔著壓板在與管狀分離膜相反的一側(cè)設(shè)置振動(dòng)吸收材料，端塞或桿與振動(dòng)吸收材料接觸。圖17的分離膜組件的其他構(gòu)成與圖3、4和7～9的構(gòu)成相同，圖17的其他符號(hào)與圖4表示相同的部分。圖17的分離膜組件中的流體的流動(dòng)和流體分離動(dòng)作與圖3、4和7～9的分離膜組件相同。需要說(shuō)明的是，可以省略切口部25b。在上述的各實(shí)施方式中，自端塞20突出設(shè)置細(xì)棒狀的桿22，但也可以省略桿22，增大開(kāi)口25a，將端塞20的前端側(cè)直接插通到開(kāi)口25a中。下面對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的分離膜組件的各部件的適宜材料等進(jìn)行說(shuō)明。作為端管4和端塞20的材料，可示例出金屬、陶瓷、樹(shù)脂等不會(huì)使流體透過(guò)的材料，但并不限定于此。導(dǎo)流板7,8和連接管17的材質(zhì)通常為不銹鋼等金屬材料，但只要在分離條件下具有耐熱性以及對(duì)供給、透過(guò)成分具有耐性就沒(méi)有特別限定，能夠根據(jù)用途變更為樹(shù)脂材料等其他材質(zhì)。管狀分離膜3優(yōu)選具有管狀的多孔質(zhì)支持體、以及在該多孔質(zhì)支持體的外周面形成的作為無(wú)機(jī)分離膜的沸石膜。作為該管狀的多孔質(zhì)支持體的材質(zhì)，可以舉出包含二氧化硅、α-氧化鋁、γ-氧化鋁、莫來(lái)石、氧化鋯、二氧化鈦、三氧化二釔、氮化硅、碳化硅等的陶瓷燒結(jié)體或金屬燒結(jié)體的無(wú)機(jī)多孔質(zhì)支持體。其中優(yōu)選包含氧化鋁、二氧化硅、莫來(lái)石中的至少一種的無(wú)機(jī)多孔質(zhì)支持體。對(duì)于多孔質(zhì)支持體表面所具有的平均細(xì)孔徑?jīng)]有特別限制，優(yōu)選對(duì)細(xì)孔徑進(jìn)行控制，該細(xì)孔徑通常為0.02μm以上、優(yōu)選為0.05μm以上、進(jìn)一步優(yōu)選為0.1μm以上，通常為20μm以下、優(yōu)選為10μm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為5μm以下的范圍。在多孔質(zhì)支持體的表面使沸石結(jié)晶化而形成沸石膜。構(gòu)成沸石膜的主要沸石通常包含具有氧6-10元環(huán)結(jié)構(gòu)的沸石，優(yōu)選包含具有氧6-8元環(huán)結(jié)構(gòu)的沸石。此處所說(shuō)的具有氧n元環(huán)的沸石中的n值表示在由形成沸石骨架的氧和t元素構(gòu)成的細(xì)孔中氧的數(shù)目最大的值。例如，在像mor型沸石那樣存在氧12元環(huán)和8元環(huán)的細(xì)孔的情況下，將其看作氧12元環(huán)的沸石。若舉出具有氧6-10元環(huán)結(jié)構(gòu)的沸石的一例，則有aei、ael、afg、ana、bre、cas、cdo、cha、dac、ddr、doh、eab、epi、esv、euo、far、fra、fer、gis、giu、goo、heu、imf、ite、ith、kfi、lev、lio、los、ltn、mar、mep、mer、mel、mfi、mfs、mon、mso、mtf、mtn、mtt、mww、nat、nes、non、pau、phi、rho、rro、rte、rth、rut、sgt、sod、stf、sti、stt、ter、tol、ton、tsc、tun、ufi、vni、vsv、wei、yug等。關(guān)于沸石膜，可以是沸石單獨(dú)形成膜，也可以是上述沸石的粉末分散在聚合物等粘結(jié)劑中而形成膜的形狀，還可以是沸石以膜狀固著在各種支持體上而形成的沸石膜復(fù)合體。沸石膜可以含有一部分的無(wú)定形成分等。作為沸石膜的厚度沒(méi)有特別限制，通常為0.1μm以上、優(yōu)選為0.6μm以上、進(jìn)一步優(yōu)選為1.0μm以上。另外，通常為100μm以下、優(yōu)選為60μm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為20μm以下、特別優(yōu)選為10μm以下、最優(yōu)選為5μm以下的范圍。但是，本發(fā)明也可以使用具有沸石膜以外的分離膜的管狀分離膜。管狀分離膜3的外徑優(yōu)選為3mm以上、更優(yōu)選為6mm以上、進(jìn)一步優(yōu)選為10mm以上、優(yōu)選為20mm以下、更優(yōu)選為18mm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為16mm以下。外徑若過(guò)小，則管狀分離膜的強(qiáng)度不充分、可能容易損壞；外徑若過(guò)大，則單位組件的膜面積可能容易降低。管狀分離膜3中，被沸石膜覆蓋的部分的長(zhǎng)度優(yōu)選為20cm以上、優(yōu)選為200cm以下。在本發(fā)明的分離膜組件中，管狀分離膜通常配置1～3000根，優(yōu)選按照管狀分離膜彼此間的最短距離為2mm～10mm的方式進(jìn)行配置。外殼的尺寸、管狀分離膜的根數(shù)可以根據(jù)進(jìn)行處理的流體量適宜地變更。需要說(shuō)明的是，管狀分離膜也可以不利用連接管17進(jìn)行連結(jié)。在本發(fā)明的分離膜組件中，關(guān)于作為分離或濃縮的對(duì)象的被處理流體，只要為能夠利用分離膜進(jìn)行分離或濃縮的由多種成分構(gòu)成的氣體或液體的混合物就沒(méi)有特別限制，可以為任何的混合物，優(yōu)選用于氣體的混合物。在分離或濃縮中，可以使用被稱為滲透氣化分離法(滲透氣化法)、蒸氣滲透法(蒸氣透過(guò)法)的分離或濃縮方法。滲透氣化分離法是直接將液體的混合物導(dǎo)入至分離膜的分離或濃縮方法，因而可使包括分離或濃縮在內(nèi)的工藝簡(jiǎn)便。在本發(fā)明中，作為分離或濃縮對(duì)象的混合物為由多種成分構(gòu)成的氣體混合物的情況下，作為氣體混合物，例如可以舉出包含選自二氧化碳、氧、氮、氫、甲烷、乙烷、乙烯、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1-丁烯、2-丁烯、異丁烯、甲苯等芳香族系化合物、六氟化硫、氦、一氧化碳、一氧化氮、水等中的至少一種成分。由這些氣體成分構(gòu)成的混合物之中，滲透性高的氣體成分透過(guò)分離膜而被分離出，滲透性低的氣體成分在供給氣體側(cè)被濃縮。本發(fā)明的分離膜組件可以根據(jù)流體量、或者目的分離度、濃縮度進(jìn)行連結(jié)來(lái)使用。在流體量多的情況下或者目的分離度/濃縮度高、無(wú)法利用1個(gè)組件進(jìn)行充分處理的情況下，優(yōu)選按照使從出口流出的流體進(jìn)一步流入到另一個(gè)組件的入口中的方式來(lái)連接配管進(jìn)行使用。另外，可以根據(jù)分離度、濃縮度進(jìn)一步進(jìn)行連結(jié)，得到目的分離度/濃縮度。另外，本發(fā)明的分離膜組件的第3實(shí)施方式的特征在于，其是在上述第1實(shí)施方式、第2實(shí)施方式中，在上述管狀分離膜的一端部連接有端管，上述端管從按照橫斷上述外殼的方式設(shè)置的支撐板的一個(gè)板面突出的分離膜組件，在上述支撐板的一個(gè)板面設(shè)置插入孔，上述端管被插入到上述插入孔中，上述端管與上述插入孔之間利用o型環(huán)密封。此處，優(yōu)選上述o型環(huán)被裝在槽中，該槽被設(shè)于上述端管的外周面和上述端管的端面中的至少一者；通過(guò)將裝有上述o型環(huán)的上述端管插入到上述插入孔中，而將上述端管與上述支撐板連結(jié)。另外，本發(fā)明的分離膜組件的第4實(shí)施方式的特征在于，在上述第1～第3實(shí)施方式中，在上述外殼設(shè)置能夠開(kāi)閉的開(kāi)閉部，能夠藉由上述開(kāi)閉部在上述管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件。在這些第1～第4實(shí)施方式中，優(yōu)選上述流體為氣體的混合物。另外，本發(fā)明還涉及一種分離膜組件的修補(bǔ)方法，其是上述第4實(shí)施方式的分離膜組件的修補(bǔ)方法，其中，在上述管狀分離膜發(fā)生損傷的情況下，將上述開(kāi)閉部打開(kāi)，在發(fā)生了損傷的上述管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件。下面參照?qǐng)D6～9、20和21對(duì)本發(fā)明第4實(shí)施方式的分離膜組件進(jìn)行說(shuō)明。但是，本發(fā)明的范圍并不限于這些。在該實(shí)施方式中，為了謀求減輕端塞20的重量，自端塞20的上端面起凹設(shè)凹處20v。也可以設(shè)置將凹處20v的底部與端塞20的側(cè)周面連通的排放孔。在該實(shí)施方式中，底罩6a構(gòu)成開(kāi)閉部，由插入孔5a、小孔5b和大孔5c構(gòu)成支撐板5的“孔”。在該實(shí)施方式中，形成了小孔、大孔，但并不限于該實(shí)施方式，5b和5c也可以為相同孔徑(尺寸)，還可以5b大于5c。在該實(shí)施方式中，在管狀分離膜3的上端側(cè)配置端塞20，因而對(duì)于管狀分離膜3、端塞20以及端管4在它們的端面彼此推壓的方向上施加負(fù)荷。但是，在本發(fā)明中，可以將端管4和支撐板5配置在管狀分離膜3的上端側(cè)、將端塞20配置在管狀分離膜3的下端側(cè)。在這種情況下，優(yōu)選通過(guò)設(shè)置用于對(duì)端塞20向上方施力的彈簧等施力部件，從而對(duì)于管狀分離膜3、端塞20以及端管4在它們的端面彼此推壓的方向上施加負(fù)荷。在該實(shí)施方式中，將管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體的該端管4的下端部插入到設(shè)于支撐板5的插入孔5a中，從而將管狀分離膜3、端管4和端塞20的連結(jié)體立設(shè)在支撐板5上。僅通過(guò)將端管4的下端部插入到插入孔5a中即能夠容易地將端管4與支撐板5以氣密或液密狀進(jìn)行連結(jié)。另外，由于插入孔5a為圓柱形，因而在支撐板5上穿設(shè)插入孔5a的作業(yè)很容易，支撐板5的制作也很容易。從而，能夠謀求縮短分離膜組件的制作工期和降低制作成本。在這樣構(gòu)成的分離膜組件1中，被處理流體從流入口9被導(dǎo)入到外殼2的室11內(nèi)，通過(guò)導(dǎo)流板7的插通孔7a的內(nèi)周面與端管4的外周面之間的間隙而流入到主室13中，通過(guò)主室13后，通過(guò)導(dǎo)流板8的插通孔8a與端塞20的間隙而流出到室12中。在流經(jīng)主室13的期間被處理流體的一部分成分透過(guò)管狀分離膜3而從管狀分離膜3內(nèi)經(jīng)由流出室16和取出口6a被取出。未透過(guò)的流體從流出口10流出到分離膜組件1外。取出口6a也可以不設(shè)置在底罩6a而設(shè)置在與流出室16相接的外殼側(cè)。主室13內(nèi)的流動(dòng)與管狀分離膜3內(nèi)的流動(dòng)可以為并流、也可以為逆流，被處理流體的流入口9與流出口10也可以調(diào)換。分離膜組件1可以如圖6所示使頂罩6b側(cè)朝上來(lái)使用，另外也可以使底罩6a側(cè)朝上來(lái)使用。另外，還可以按照連結(jié)底罩6a和頂罩6b的方向?yàn)榇笾滤椒较虻姆绞綄⒎蛛x膜組件1設(shè)置成臥式來(lái)使用。在該實(shí)施方式中，將多根管狀分離膜3平行地排列設(shè)置，膜面積增大，因而可效率良好地進(jìn)行膜分離。在該實(shí)施方式中，與管狀分離膜3的上下兩端連結(jié)的端管4和端塞20分別插入到導(dǎo)流板7,8的插通孔7a,8a中。因此，即使管狀分離膜3發(fā)生振動(dòng)或揺動(dòng)而使端管4和端塞20與插通孔7a,8a的內(nèi)周面抵接，也不會(huì)損傷沸石膜，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。在該分離膜組件1中，在1根或少數(shù)幾根管狀分離膜3發(fā)生了損傷的情況下，被處理流體流入到該管狀分離膜3內(nèi)而混入到透過(guò)流體中。在發(fā)生了這樣的管狀分離膜的損傷的情況下，將設(shè)于外殼的能夠開(kāi)閉的開(kāi)閉部打開(kāi)，使被處理流體向外殼2內(nèi)的流入停止后將底罩6a從外殼2卸下。之后對(duì)于與插入有管狀分離膜3的插入孔5a相連的大孔5c裝上閉塞部件。由此，能夠藉由該開(kāi)閉部在管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件。在管狀分離膜發(fā)生了損傷的情況下，打開(kāi)該開(kāi)閉部，在發(fā)生了損傷的管狀分離膜的透過(guò)流體取出部安裝閉塞部件，由此能夠?qū)Ψ蛛x膜組件進(jìn)行修補(bǔ)。參照?qǐng)D20(a)～20(d)和21對(duì)于該閉塞部件的一例進(jìn)行說(shuō)明。在圖20(a)中，由橡膠、合成樹(shù)脂等軟質(zhì)材料構(gòu)成的塞狀閉塞部件62被推入到大孔5c中。在該閉塞部件62中，插入到大孔5c中的部分的側(cè)周面形成鋸齒狀截面形狀，成為容易插入到大孔5c中、且不容易從大孔5c中脫落的結(jié)構(gòu)。在閉塞部件62的后端設(shè)置凸緣部62a。通過(guò)將閉塞部件62推入到大孔5c中直至該凸緣部62a與支撐板5的底面密合為止，能夠確認(rèn)已將閉塞部件62推入到了規(guī)定的深度。在圖20(b)中，閉塞部件由被推入到大孔5c內(nèi)的里部的圓盤狀的密封墊63、和通過(guò)自攻方式被擰入到大孔5c中的螺釘64來(lái)構(gòu)成。密封墊63被推入到大孔5c內(nèi)之后，螺釘64被插入到大孔5c中，一邊強(qiáng)力地推壓一邊轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使螺釘64的前端外周面的外螺紋咬進(jìn)并同時(shí)螺進(jìn)大孔5c的內(nèi)周面，將螺釘64裝入到大孔5c中。將螺釘64螺進(jìn)至螺釘64的頭部64a與支撐板5的底面密合為止，將密封墊63推壓至小孔5b與大孔5c的邊界的階梯面。在圖20(c)中，閉塞部件由密封墊63和由金屬等制成的塞65構(gòu)成。密封墊63被推入到大孔5c內(nèi)之后，將塞65的小徑部65a插入到大孔5c中，將大徑部65b推入直至重疊在支撐板5的底面上，將密封墊63推壓在上述階梯面上。在該狀態(tài)下，利用焊接或釬焊等固著手段66將大徑部65b相對(duì)于支撐板5固定。在圖20(d)中，閉塞部件由密封墊36和螺栓37構(gòu)成。密封墊36為圓柱狀，自下端面向上方凹設(shè)內(nèi)螺紋孔36a。密封墊36的直徑稍大于大孔5c。將該密封墊36推入到大孔5c內(nèi)之后，在內(nèi)螺紋孔36a中擰入螺栓37，使密封墊36的下部擴(kuò)徑，使密封墊36的外周面與大孔5c的內(nèi)周面密合。圖21的閉塞部件由塞38和o型環(huán)39構(gòu)成。在塞38的外周面環(huán)周設(shè)置槽，o型環(huán)39被裝在該槽中。將帶有o型環(huán)39的塞38插入到大孔5c中，使o型環(huán)39與大孔5c的內(nèi)周面密合。將塞38的凸緣部38a焊接在支撐板5的底面，利用釬焊等固著手段66進(jìn)行固著。另外，塞38向大孔5c中的插入可以為螺紋式，也可以替代上述焊接、釬焊而利用密封帶等密封。本發(fā)明的分離膜組件可以根據(jù)流體量、或者目的分離度、濃縮度進(jìn)行連結(jié)來(lái)使用。在流體量多的情況下或者目的分離度/濃縮度高、無(wú)法利用1個(gè)組件進(jìn)行充分處理的情況下，優(yōu)選按照使從出口流出的流體進(jìn)一步流入到另一個(gè)組件的入口中的方式來(lái)連接配管進(jìn)行使用。另外，可以根據(jù)分離度、濃縮度進(jìn)一步進(jìn)行連結(jié)，得到目的分離度/濃縮度。可以將本發(fā)明的分離膜組件并列設(shè)置，將流體分支來(lái)供給氣體。此時(shí)也可以進(jìn)一步對(duì)并列的各組件串聯(lián)地設(shè)置組件。將并列的組件進(jìn)行串聯(lián)的情況下，供給氣體量在串聯(lián)方向降低、線速降低，因而為了適當(dāng)?shù)乇３志€速，優(yōu)選減少并列的設(shè)置數(shù)。將組件串聯(lián)配置的情況下所透過(guò)的成分可以在每組件中排出，也可以將組件間連結(jié)而集合排出。圖22是將多個(gè)分離膜組件1并列設(shè)置的膜分離系統(tǒng)的流程圖。被處理流體從配管70經(jīng)由支路配管71,72,73供給到各分離膜組件1的流入口9中，非透過(guò)流體從流出口10經(jīng)由配管81,82,83和集合配管80流出。在各分離膜組件1內(nèi)透過(guò)了管狀分離膜3的透過(guò)流體從取出口6a經(jīng)由配管91,92,93和集合配管90被取出。在被處理流體的供給用的支路配管71,72,73分別設(shè)置閥v1,v2,v3和壓力傳感器p1,p2,p3。在配管81,82,83設(shè)置閥v11,v12,v13和壓力傳感器p11,p12,p13。在透過(guò)流體用配管91,92,93設(shè)置閥v21,v22,v23和壓力傳感器p21,p22,p23。在穩(wěn)態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)中，閥v1～v3、v11～v13、v21～v23全部打開(kāi)。需要說(shuō)明的是，在運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始時(shí)，優(yōu)選使閥v1～v3的開(kāi)度緩慢地增大、使被處理流體向分離膜組件1的供給壓力緩慢地增高。在任一分離膜組件1中，在一部分管狀分離膜3發(fā)生損傷的情況下、例如在圖22的最左側(cè)的分離膜組件1中的一部分管狀分離膜3發(fā)生損傷的情況下，該分離膜組件1的透過(guò)流體流出配管的壓力傳感器p23的壓力上升，因而檢測(cè)到管狀分離膜3的損傷。于是，在關(guān)閉閥v3、v13、v23之后將該分離膜組件1的底罩6a從外殼2卸下，對(duì)于與發(fā)生了損傷的管狀分離膜3相對(duì)應(yīng)的大孔5c利用閉塞部件進(jìn)行閉塞。這種情況下，在關(guān)閉閥v3、v13、v23之后，可以根據(jù)需要將分離膜組件1內(nèi)的氣體置換為惰性氣體或空氣。需要說(shuō)明的是，關(guān)于是哪個(gè)管狀分離膜發(fā)生了損傷，小開(kāi)度地開(kāi)啟閥v1,v2或v3(最左側(cè)的分離膜組件1的情況為閥v3)，將被處理流體供給到外殼2內(nèi)，或者將皂液與其他氣體(加壓氣體)涂布在支撐板5的底面，由皂液膜的破裂狀況來(lái)判定是哪個(gè)管狀分離膜發(fā)生了損傷。也可以不使用皂液膜，而利用由線香等發(fā)煙物質(zhì)產(chǎn)生的發(fā)煙來(lái)確定發(fā)生了損傷的管狀分離膜。另外，也可以基于由大孔5c流出氣體的流出音來(lái)概略地確定發(fā)生了損傷的管狀分離膜。將與發(fā)生了損傷的管狀分離膜3相連的大孔5c閉塞后，再安裝上底罩6a，恢復(fù)穩(wěn)態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)。如此，即使一部分管狀分離膜3發(fā)生了損傷，也能夠通過(guò)將與該管狀分離膜3相連的大孔5c利用閉塞部件進(jìn)行閉塞而在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)穩(wěn)態(tài)運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，在如圖22所示并列設(shè)置多個(gè)分離膜組件1的情況下，也能夠僅使發(fā)生了損傷的分離膜組件1停止運(yùn)轉(zhuǎn)、而使其他分離膜組件1繼續(xù)保持穩(wěn)態(tài)地進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。在上述說(shuō)明中，基于壓力傳感器p21,p22或p23的檢測(cè)壓力來(lái)檢知管狀分離膜的損傷，但也可以通過(guò)膜透過(guò)差壓p1-p21,p2-p22或p3-p23來(lái)檢知管狀分離膜的損傷。另外，也可以不使用壓力傳感器、或者與壓力傳感器一起，在配管91～93中設(shè)置檢知甲烷、氫、二氧化碳等特定成分的氣體傳感器，基于特定成分濃度的變動(dòng)來(lái)檢知管狀分離膜的損傷。另外，將第1～第4實(shí)施方式作為具體例對(duì)本發(fā)明的分離膜組件進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明還涉及下述方法：氣體的混合物的分離方法，其中將氣體的混合物導(dǎo)入到上述分離膜組件中、使透過(guò)性高的氣體透過(guò)而從上述混合物中分離出來(lái)；以及高濃度氣體的制造方法，其中將氣體的混合物導(dǎo)入到上述分離膜組件中，分離出透過(guò)性高的氣體來(lái)制造高濃度的氣體。實(shí)施例接著通過(guò)實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的具體方式，但本發(fā)明并不受這些示例的限定。為了確認(rèn)防止振動(dòng)的效果，將上部利用彈簧固定的情況與自由狀態(tài)的比較以模擬方式進(jìn)行驗(yàn)證。(計(jì)算前提)圖23(a)中示出了示意圖，在內(nèi)徑18mm、長(zhǎng)度1310mm的垂直設(shè)置的管子β內(nèi)的中央設(shè)置兩端密封的外徑12mm、內(nèi)徑9mm、長(zhǎng)度1000mm的多孔質(zhì)氧化鋁管α。從管子的一端將4.2mpa、密度52.3kg/m3的氣體以氣體線速3.5m/s由下部流通。計(jì)算出氣體流動(dòng)，通過(guò)由氣體流動(dòng)產(chǎn)生的氧化鋁管α左右的壓力差來(lái)計(jì)算氧化鋁管是否發(fā)生變形(彎曲)。<參考例1>如圖23(b)所示，在將氧化鋁管α的下端固定、上端自由的狀態(tài)下流通氣體。<參考例2>如圖23(c)所示，將氧化鋁管α的兩端固定來(lái)流通氣體。將結(jié)果在表1中示出，由計(jì)算求出了，在相同氣體流動(dòng)的基礎(chǔ)上，通過(guò)不僅將氧化鋁管的下端、而且也將上端固定，能夠大大抑制氧化鋁管的振動(dòng)。[表1]氧化鋁管的固定位置變形量(μm)參考例1僅下端26.8參考例2上端和下端1.9盡管詳細(xì)地并參照特定的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，已知可在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)加以各種變更或修正。本申請(qǐng)基于2015年2月25日提交的日本專利申請(qǐng)(日本特愿2015-35383)、2015年2月25日提交的日本專利申請(qǐng)(日本特愿2015-35384)、2015年2月25日提交的日本專利申請(qǐng)(日本特愿2015-35385)、2015年2月25日提交的日本專利申請(qǐng)(日本特愿2015-35386)和2015年12月22日提交的日本專利申請(qǐng)(日本特愿2015-250116)，以參考的形式將它們的內(nèi)容引入本說(shuō)明書(shū)。符號(hào)的說(shuō)明1分離膜組件2外殼3管狀分離膜4端管5支撐板5a插入孔5c大孔6a底罩6b頂罩6a取出口7,8導(dǎo)流板7a,8a插通孔9流入口10流出口11,12室13主室14桿16流出室17連接管20端塞25壓板25a開(kāi)口26彈簧28,61振動(dòng)吸收片30～35,39o型環(huán)36,63密封墊40振動(dòng)吸收體41線繩62閉塞部件α氧化鋁管β管子當(dāng)前第1頁(yè)12