本實(shí)用新型涉及噴涂設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種石英坩堝噴涂箱及其噴槍。

背景技術(shù)：

石英坩堝是用高純石英砂經(jīng)過(guò)高溫熔化形成的一種玻璃態(tài)器皿，在生產(chǎn)單晶硅的過(guò)程中是不可替代的容器，其具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，在現(xiàn)代工業(yè)中應(yīng)用越來(lái)越廣泛。

石英坩堝最高可以在1450°的環(huán)境下使用，而高溫狀態(tài)下生產(chǎn)單晶硅的過(guò)程中，液態(tài)硅會(huì)與石英坩堝反應(yīng)，容易導(dǎo)致坩堝破裂、損壞，為了隔離液態(tài)硅和石英坩堝，一般是在石英坩堝表面噴涂隔離層。

通常的做法是將石英坩堝壁涂上一層含有結(jié)晶水的氫氧化鋇，這層氫氧化鋇會(huì)與空氣中的二氧化碳反應(yīng)形成碳酸鋇。而當(dāng)這種石英坩堝在單晶爐上被加熱時(shí)，碳酸鋇會(huì)分解形成氧化鋇，隨著氧化鋇與石英坩堝反應(yīng)形成硅酸鋇，使得石英坩堝壁上形成一層致密微小的方石英結(jié)晶。

這種微小的方石英結(jié)晶很難被溶液滲入而剝落，即使剝落也很快被溶液溶解掉，因此可以大幅度的改善石英坩堝的使用壽命及長(zhǎng)晶良率。另外在石英坩堝外壁形成一層方石英結(jié)晶的好處，是它可以增加石英坩堝的強(qiáng)度，減少高溫軟化現(xiàn)象。

目前，公開號(hào)為CN204933799U的中國(guó)專利公開了一種用于石英坩堝的噴涂設(shè)備，它包括機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)具有用于容納石英坩堝的噴涂倉(cāng)，在噴涂倉(cāng)的底壁上設(shè)有坩堝旋座，在機(jī)臺(tái)外壁上設(shè)有高壓噴涂裝置，所述的高壓噴涂裝置包括自吸噴槍、與高壓氣體相通的高壓氣管、與涂層液源相通的涂層液管，高壓氣管的出氣端與自吸噴槍的進(jìn)氣口接通，涂層液管的出液端與自吸噴槍的進(jìn)液口接通，在噴涂倉(cāng)下方架設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，在坩堝旋座的底面上連接一旋軸，旋軸穿過(guò)噴涂倉(cāng)的底壁與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連。

這種用于石英坩堝的噴涂設(shè)備雖然操作簡(jiǎn)單，降低了人工操作，但是由于噴頭相對(duì)于石英坩堝的角度固定，氫氧化鋇結(jié)晶水噴涂的角度相對(duì)固定，難免造成噴涂不均勻，降低噴涂效果，縮短石英坩堝的使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的一目的是提供一種噴涂槍，其具有噴涂均勻、噴涂效果良好的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種噴涂槍，包括噴槍架和設(shè)于噴槍架內(nèi)的走液管，所述噴槍架內(nèi)滑動(dòng)連接有與走液管連通的噴管，噴管上設(shè)有驅(qū)動(dòng)噴管上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)氣缸，噴管上還設(shè)有分別用于為石英坩堝外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面噴涂氫氧化鋇結(jié)晶水的第一噴頭和第二噴頭。

如此設(shè)置，進(jìn)行氫氧化鋇結(jié)晶水噴涂時(shí)，結(jié)晶水在走液管中流動(dòng)，噴管與走液管連通，第一噴頭和第二噴頭可以將走液管以及噴管中的結(jié)晶水噴灑到石英坩堝的內(nèi)外表面上，并且通過(guò)驅(qū)動(dòng)氣缸，第一噴頭、第二噴頭可以隨著噴管進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而改變噴頭的位置、高度，能夠?qū)κ③釄灞砻娴牟煌恢眠M(jìn)行噴灑，從而將石英坩堝表面噴灑均勻，增加噴涂的效果，從而延長(zhǎng)石英坩堝的使用壽命。

進(jìn)一步設(shè)置：所述噴管包括平行于走液管的連通部和垂直于走液管的噴灑部，第一噴頭位于噴灑部上靠近噴槍架一端，第二噴頭位于噴灑部上遠(yuǎn)離噴槍架一端。

如此設(shè)置，噴管的連通部平行于走液管設(shè)置可以方便對(duì)噴管進(jìn)行固定，并且方便調(diào)節(jié)噴管的高度，同時(shí)可以很容易地將噴管與走液管連通，垂直于走液管的噴灑部可以將噴管的噴灑距離延長(zhǎng)，從而使噴涂更加均勻，第一噴頭靠近噴槍架，可以用來(lái)噴涂石英坩堝的外側(cè)表面，第二噴頭遠(yuǎn)離噴槍架，則可以用來(lái)噴涂石英坩堝的內(nèi)側(cè)表面，進(jìn)一步達(dá)到噴涂均勻的目的。

進(jìn)一步設(shè)置：所述噴管與噴槍架之間設(shè)有用于輔助驅(qū)動(dòng)噴管運(yùn)動(dòng)的彈性件。

如此設(shè)置，當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣缸推動(dòng)噴管進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在重力的作用下，噴管上行的速度自然較之下行的速度更低，這樣容易造成石英坩堝表面噴灑不均勻，在噴管和噴槍架之間設(shè)置彈性件可以輔助驅(qū)動(dòng)氣缸在上行時(shí)拉動(dòng)噴管，提高上行時(shí)的速度，降低上行、下行之間速度的差異性，從而進(jìn)一步達(dá)到優(yōu)化噴涂效果的目的。

進(jìn)一步設(shè)置：所述噴槍架內(nèi)穿設(shè)有滑動(dòng)桿，滑動(dòng)桿上套設(shè)有滑塊，噴管固定在滑塊上。

如此設(shè)置，噴管可以隨著滑動(dòng)桿或者滑塊的上下運(yùn)動(dòng)達(dá)到上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)的目的，并且滑塊或者滑動(dòng)桿的滑動(dòng)大體上是豎直平穩(wěn)的，因此可以使噴管活動(dòng)更加平穩(wěn)，從而達(dá)到更好的噴涂效果。

進(jìn)一步設(shè)置：所述驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出軸與滑動(dòng)桿連接。

如此設(shè)置，驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出軸可以帶動(dòng)滑動(dòng)桿上下滑動(dòng)，固定在滑動(dòng)桿上的滑塊和固定在滑塊上的噴管就能夠隨著驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出軸活動(dòng)，達(dá)到上述目的。

進(jìn)一步設(shè)置：所述驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出軸穿設(shè)在噴槍架內(nèi)并與滑塊固定連接。

如此設(shè)置，驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出軸可以帶動(dòng)滑塊在滑動(dòng)桿上活動(dòng)，固定在滑塊上的噴管就能隨之活動(dòng)，從而達(dá)到上述目的。

本實(shí)用新型的另一目的是提供一種石英坩堝噴涂箱，其具有噴涂效果好，延長(zhǎng)石英坩堝的使用壽命優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種石英坩堝噴涂箱，包括箱體，還帶有上述噴涂槍。

進(jìn)一步設(shè)置：所述箱體包括底板與支架，支架上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有玻璃箱門，箱體除底板外的其余面均通過(guò)玻璃板密封。

如此設(shè)置，箱體和玻璃箱門的設(shè)置可以使噴涂過(guò)程在箱體內(nèi)的密閉空間完成，從而減小氫氧化鋇結(jié)晶水對(duì)操作人員身體健康的影響，使用玻璃板將箱體周圍密封可以讓操作人員較為容易地觀察到箱體內(nèi)部的情況，從而即時(shí)進(jìn)行下一步操作。

進(jìn)一步設(shè)置：所述箱體中間位置設(shè)有轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤通過(guò)底部的轉(zhuǎn)軸穿透底板與設(shè)于外界的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接。

如此設(shè)置，轉(zhuǎn)盤用于放置石英坩堝，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)沒(méi)從而使轉(zhuǎn)盤和轉(zhuǎn)盤上的石英坩堝旋轉(zhuǎn)，從而使噴頭對(duì)石英坩堝表面進(jìn)行均勻的噴涂，增強(qiáng)噴涂效果，延長(zhǎng)石英坩堝的使用壽命。

作為優(yōu)選，所述箱體內(nèi)設(shè)有抽氣機(jī)構(gòu)，抽氣機(jī)構(gòu)通過(guò)穿透箱體的氣管與外界連通。

如此設(shè)置，由于噴灑結(jié)晶水后，箱體內(nèi)會(huì)充滿氣態(tài)的結(jié)晶水，此時(shí)會(huì)對(duì)打開玻璃箱門會(huì)對(duì)操作人員的身體健康產(chǎn)生影響，抽氣機(jī)構(gòu)可以將氣態(tài)的結(jié)晶水抽吸并且通過(guò)氣管排出箱體，一方面減小了對(duì)操作人員產(chǎn)生的影響，另一方面可以回收多于的結(jié)晶水，從而減少浪費(fèi)。

綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

第一噴頭和第二噴頭可以隨著噴管進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以此改變噴頭的位置、高度，將走液管以及噴管中的結(jié)晶水噴灑到石英坩堝的內(nèi)外表面上，從而將石英坩堝表面噴灑均勻，增加噴涂的效果，可以使石英坩堝的耐高溫、抗腐蝕性能大大增強(qiáng)，進(jìn)而延長(zhǎng)石英坩堝的使用壽命，保證石英坩堝的質(zhì)量穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例1的示意圖；

圖2是實(shí)施例2的示意圖。

圖中，1、噴槍架；2、走液管；3、噴管；31、連通部；32、噴灑部；33、第一噴頭；34、第二噴頭；4、驅(qū)動(dòng)氣缸；41、支撐桿；5、彈性件；6、滑塊；7、固定塊；8、玻璃箱門；9、玻璃板；10、支架；11、底板；12、轉(zhuǎn)盤；13、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；14、抽氣機(jī)構(gòu)；15、氣管。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

實(shí)施例1：一種噴涂槍，如圖1所示，最底部是噴槍架1，噴槍架1整體為直角三角形，其中一條直角邊向上設(shè)置，噴槍架1的右側(cè)是驅(qū)動(dòng)氣缸4，驅(qū)動(dòng)氣缸4的輸出軸向上設(shè)置，并且位于驅(qū)動(dòng)氣缸4上表面的中央。

參見圖1，驅(qū)動(dòng)氣缸4整體為方形，其上表面的四個(gè)角上都設(shè)有支撐桿41，支撐桿41最上方是固定塊7，用來(lái)限制支撐架的位置，并且加大其穩(wěn)固程度，支撐桿41的中間設(shè)有一個(gè)方形的滑塊6，滑塊6套設(shè)在四根支撐桿41上。

如圖1所示，滑塊6前段設(shè)有走液管2，走液管2上設(shè)有噴管3，噴管3與走液管2連通，噴管3固定在滑塊6內(nèi)，噴管3右側(cè)是連通部31，左側(cè)是噴灑部32，連通部31與噴灑部32之間構(gòu)成120°夾角，噴灑部32平行于水平面設(shè)置。

參見圖1，噴灑部32右側(cè)設(shè)有第一噴頭33，左端設(shè)有第二噴頭34，第一噴頭33和第二噴頭34均向下延伸，第一噴頭33的位置比第二噴頭34的位置低，第一噴頭33的噴嘴方向朝向左側(cè)，第二噴頭34的噴嘴方向朝向右側(cè)。

如圖1所示，噴灑部32的右端上設(shè)有彈性件5，彈性件5向左側(cè)傾斜，可以輔助驅(qū)動(dòng)氣缸4的輸出軸將滑塊6上拉，以克服滑塊6和噴灑部32的重力，達(dá)到更加均勻的噴灑速度和更為良好的噴灑效果。

當(dāng)噴涂槍運(yùn)作時(shí)，結(jié)晶水從走液管2中進(jìn)入噴管3，通過(guò)噴灑部32上的第一噴頭33和第二噴頭34對(duì)石英坩堝進(jìn)行噴涂，與此同時(shí)，在氣缸作用下，滑塊6上下滑動(dòng)，噴管3和噴頭隨之上下移動(dòng)，從而達(dá)到更加均勻的噴涂過(guò)程和更為良好的噴灑效果。

實(shí)施例2：一種石英坩堝噴涂箱，如圖2所示，方形的支架10內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)盤12，轉(zhuǎn)盤12與下方穿過(guò)底板11的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，支架10的四周都是玻璃板9，支架10右側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接由方形的玻璃箱門8，支架10內(nèi)頂部設(shè)有抽氣機(jī)構(gòu)14，抽氣機(jī)構(gòu)14穿透支架10上板并且與外界的氣管15連通，進(jìn)行排氣。

上述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的解釋，其并不是對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說(shuō)明書后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒(méi)有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改，但只要在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護(hù)。