過濾器以及酸洗設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種過濾器以及酸洗設(shè)備。所述過濾器包括：殼體，位于所述殼體中的濾網(wǎng)；其中，所述殼體包括側(cè)壁，所述側(cè)壁由內(nèi)至外包括內(nèi)壁、感壓膜及外壁，所述感壓膜偵測所述過濾器內(nèi)的壓強并傳遞信號至外界，從而間接反映處濾網(wǎng)的質(zhì)量，能夠及時發(fā)現(xiàn)異常，降低乃至避免損失。
【專利說明】過濾器以及酸洗設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別涉及一種濕法清洗中的過濾器以及酸洗設(shè)備?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造中，需要涉及到許許多多的工序，每道工序都是由一定的工藝及設(shè)備完成。濕法清洗是絕大多數(shù)產(chǎn)品在制造過程中所必經(jīng)的一步，濕法清洗的效果的優(yōu)劣直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量，因此，對濕法清洗的設(shè)備就有著嚴格的要求。
[0003]目前，由于半導(dǎo)體制造的大批量化，以及在濕法清洗時酸液不可能一次就消耗完，因而多是采用對酸液加以循環(huán)利用以盡可能節(jié)省成本。由于新的酸液在進行第一次使用后必然會引入雜質(zhì)，所以在下一次對其利用時，其中的雜質(zhì)會影響酸液的質(zhì)量和使用效果，因此，需要將酸液中的雜質(zhì)去除，以使得酸液的成分符合要求，從而繼續(xù)進行清洗。介于此，業(yè)界在清洗設(shè)備中加入了過濾器，所述過濾器中設(shè)置有濾網(wǎng)，以將上一次清洗后的雜質(zhì)去除，以免對下一次清洗產(chǎn)生影響。
[0004]由于半導(dǎo)體制造的精密性，對酸液的要求也較高，就目前的材料而言，只能夠保證濾網(wǎng)在一定的期限內(nèi)能夠滿足工藝的需要，而這一期限通常是由廠家經(jīng)過試驗獲得。不可否認的是，在實際生產(chǎn)中會出現(xiàn)各種各樣的問題，那么就有可能使得濾網(wǎng)在期限內(nèi)受到破壞，例如被堵塞、破損等情況，這時，過濾器對酸液的過濾就可能達不到要求，而這目前只能在后續(xù)操作中才能發(fā)現(xiàn)問題，從而造成較大的損失。
[0005]因此，需要對現(xiàn)有技術(shù)加以改善，使得能夠及時知曉過濾器尤其是濾網(wǎng)的質(zhì)量情況，以盡早發(fā)現(xiàn)異常，降低損失。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種過濾器以及酸洗設(shè)備，解決現(xiàn)有技術(shù)中不能夠掌握過濾器在使用過程中質(zhì)量是否合格的問題。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種過濾器，用于半導(dǎo)體濕法清洗中對酸液進行過濾，包括:
[0008]殼體以及位于所述殼體中的濾網(wǎng)；
[0009]其中，所述殼體包括側(cè)壁，所述側(cè)壁由內(nèi)至外包括內(nèi)壁、感壓膜及外壁，所述感壓膜偵測所述過濾器內(nèi)的壓強并傳遞信號至外界。
[0010]可選的，對于所述的過濾器，所述側(cè)壁的形狀為圓筒形，所述濾網(wǎng)的形狀為一端敞開的空心圓柱形，所述濾網(wǎng)的高度及底面積均小于所述側(cè)壁的高度及底面積。
[0011]可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器進一步包括與所述側(cè)壁相連接的頂板和底板，所述濾網(wǎng)的敞開一端連接于所述頂板，所述濾網(wǎng)與所述側(cè)壁及所述底板之間具有空隙，所述酸液經(jīng)過所述空隙。
[0012]可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器包括穿過所述側(cè)壁的一進液管和一排液管，所述濾網(wǎng)包括一開口，所述開口和所述排液管相連通；所述進液管與所述空隙相連通，所述酸液由所述進液管進入所述空隙，經(jīng)所述濾網(wǎng)過濾后滲入所述濾網(wǎng)中，并經(jīng)由所述開口和排液管排出。
[0013]可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器還包括一穿過所述底板的廢液排放口，經(jīng)所述濾網(wǎng)過濾后的廢液由所述廢液排放口排出。
[0014]可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器還包括一顯示屏，所述感壓膜偵測到的壓強由所述顯示屏顯示。
[0015]相應(yīng)的，本實用新型還提供一種酸洗設(shè)備，用于半導(dǎo)體制造過程中對晶圓進行清洗，所述酸洗設(shè)備包括酸槽、過濾器，所述酸液經(jīng)所述過濾器后進入酸槽對待清洗晶圓進行清洗；其中，所述過濾器為如上所述的過濾器。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，在本實用新型提供的過濾器以及酸洗設(shè)備中，在所述過濾器中設(shè)置有感壓膜，能夠?qū)崟r偵測過濾器中的壓強變化，從而間接反映處濾網(wǎng)的質(zhì)量，能夠及時發(fā)現(xiàn)異常，降低乃至避免損失。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型一實施例的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實用新型一實施例的過濾器的側(cè)壁的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實用新型的過濾器在多個時間段中記錄的數(shù)據(jù)的圖表。
【具體實施方式】
[0020]在【背景技術(shù)】中已經(jīng)提及，目前的設(shè)備存在不能夠知曉過濾器在使用過程中的質(zhì)量狀況，只能在發(fā)生故障后在后段發(fā)現(xiàn)。發(fā)明人研究后發(fā)現(xiàn)，當(dāng)濾網(wǎng)出現(xiàn)異常狀況時，其周邊的壓強會隨之變動，而正常情況下，壓強是基本不會變化，那么，若能夠偵測內(nèi)部的壓強變動，就能夠表征出濾網(wǎng)的質(zhì)量狀況。
[0021]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提供的過濾器以及酸洗設(shè)備作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]首先請參考圖1，本實用新型提供一種過濾器，用于半導(dǎo)體濕法清洗中對酸液進行過濾，主要包括:殼體，及位于所述殼體中的濾網(wǎng)2 ;其中，所述殼體包括側(cè)壁11、頂板12及底板13，所述側(cè)壁11與所述頂板12及底板13相連接，所述側(cè)壁11中設(shè)置有一感壓膜，所述感壓膜能夠?qū)崟r的偵測到所述過濾器內(nèi)的壓強，并傳遞信號至外界，由技術(shù)人員獲知。那么，技術(shù)人員可以根據(jù)傳遞出的信號判斷濾網(wǎng)2的質(zhì)量狀況，從而判斷出酸液在過濾后是否合格，并能夠預(yù)計出是否需要更換新的濾網(wǎng)。
[0023]請結(jié)合圖2，其為對圖1中的側(cè)壁11的一部分(如虛線框所包繞部分)的局部放大圖，所述側(cè)壁11由內(nèi)至外包括內(nèi)壁113、感壓膜112及外壁111，優(yōu)選的，所述內(nèi)壁113有著較佳的柔韌性，能夠隨著內(nèi)部壓強而變動明顯，從而使得所述感壓膜112也受到影響。
[0024]請繼續(xù)參考圖1，所述側(cè)壁11的形狀為圓筒形，所述濾網(wǎng)2的形狀為一端敞開的空心圓柱形，所述濾網(wǎng)2的高度及底面積均小于所述側(cè)壁11的高度及底面積。所述濾網(wǎng)2的敞開一端連接于所述頂板12，從而在所述濾網(wǎng)2與所述側(cè)壁11及所述底板13之間形成有空隙，所述酸液經(jīng)過所述空隙。具體的，所述過濾器包括穿過所述側(cè)壁11的一進液管101和一排液管102，所述濾網(wǎng)2包括一開口 21，所述開口 21和所述排液管102相連通；所述進液管101與所述空隙相連通，所述酸液由所述進液管101進入所述空隙中，經(jīng)所述濾網(wǎng)2過濾后滲入所述濾網(wǎng)2中，并經(jīng)由所述開口 21和排液管102排出。此外，所述過濾器還包括一穿過所述底板13的廢液排放口 103，經(jīng)所述濾網(wǎng)2過濾后的廢液由所述廢液排放口 103排出。
[0025]在本實施例中，優(yōu)選的，所述外壁111為透明的，并且較為堅固，能夠保持所述過濾器的形狀，例如可以是鋼化玻璃。所述感壓膜112優(yōu)選為能夠視所述過濾器內(nèi)部壓強而顯示出若干種顏色，從而通過所述外壁顯示出來，如此監(jiān)控效果直接。例如，所述感壓膜112可以是顆粒狀結(jié)構(gòu)，其在受到不同的壓強下會產(chǎn)生不同的形變，從而折射出不同的顏色。優(yōu)選的，所述感壓膜112能夠顯示出3種顏色:白色、藍色及紅色，白色為所述過濾器內(nèi)部壓力低于工作壓力時顯示，例如一個未使用的過濾器，其應(yīng)當(dāng)顯示為白色，若顏色異常則能夠直接避免使用此過濾器；藍色通常為過濾器處于正常工作壓強時所能夠顯示的顏色；紅色則是過濾器內(nèi)部壓強超過正常工作壓強時顯示，例如出現(xiàn)濾網(wǎng)2堵塞時，所述濾網(wǎng)2與殼體之間的壓強增大，從而使得所述感壓膜112受到的壓強增大，進而顯示出紅色。
[0026]在另一優(yōu)選實施例中，還可以對所述感壓膜112的顏色進行更詳細的分類，以針對不同強度的壓強，并且通過采取每隔一定時期加以記錄的方式，可以直觀的展示出過濾器的質(zhì)量變化，從而對過濾器的使用、更換及改進提出有效的指引。請參考圖3，在多個時間段中，對本實用新型的過濾器進行記錄，并結(jié)合預(yù)先獲得的感壓膜112在不同壓強下所能對應(yīng)的顏色，得到三種不同形式的曲線。如圖3中Pl所示，對應(yīng)的壓強基本保持不變，故可以得出過濾器在該時期質(zhì)量保持穩(wěn)定；如P2所示，在該時期，過濾器內(nèi)部壓強隨著時間變大，這表面濾網(wǎng)發(fā)生異常，例如是被堵塞，或者使用壽命將至，則可及時進行預(yù)警，以避免發(fā)生異常；同樣的，如P3所示，在該時期，過濾器內(nèi)部壓強隨著時間變小，則可能是例如濾網(wǎng)破損，甚至過濾器密封性變差等情況發(fā)生。技術(shù)人員通過實時監(jiān)控過濾器可能會發(fā)現(xiàn)過濾器所顯示的顏色一直處于正常范圍中，但是通過一段時期壓強的持續(xù)變動，則能夠技術(shù)發(fā)現(xiàn)問題，降低或者避免損失。
[0027]上述實施例中采用的過濾器是直接通過感壓膜的顏色變動來達到表征過濾器內(nèi)部情況的變動，在其他的可選的實施例中，可以在所述過濾器中連接一顯示屏，可以通過光電轉(zhuǎn)換模塊或者壓力傳感器等將感壓膜的顏色變化或者受到的壓強以數(shù)值顯示在顯示屏上，從而達到更加精確的監(jiān)控效果。
[0028]考慮到實際工廠中，設(shè)備很多，各式各樣的顯示屏也很多，因此，若在僅需要大致了解過濾器的質(zhì)量變化，優(yōu)選為采用透明外壁，且感壓膜能夠隨著壓強的變動而顯示出不同色彩的過濾器，從而一目了然。
[0029]結(jié)合上述過濾器，本實用新型提供一種酸洗設(shè)備，用于半導(dǎo)體制造過程中對晶圓進行清洗，所述酸洗設(shè)備包括酸槽、過濾器，所述酸液經(jīng)所述過濾器后進入酸槽對待清洗晶圓進行清洗；其中，所述過濾器為如上所述的過濾器。采用所述的酸洗設(shè)備，能夠有效的把控酸液的成分，使得酸液的成分盡可能的符合標準，以提高清洗質(zhì)量，避免在清洗時引入新的雜質(zhì)。
[0030]所述酸洗設(shè)備還包括其他模塊，例如加熱器，各種閥門等，這些模塊可以直接采用現(xiàn)有技術(shù)中的模塊，其連接與使用與現(xiàn)有技術(shù)相同，在此不做贅述。[0031]本實用新型提供的過濾器以及酸洗設(shè)備中在所述過濾器中設(shè)置有感壓膜，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠?qū)崟r偵測過濾器中的壓強變化，從而間接反映處濾網(wǎng)的質(zhì)量，能夠及時發(fā)現(xiàn)異常，降低乃至避免損失。
[0032]進一步的，所述過濾器的外壁為透明的，所述感壓膜能夠根據(jù)內(nèi)部壓強而變化顏色，使得對過濾器的監(jiān)控更加便捷有效。
[0033]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種過濾器，用于半導(dǎo)體濕法清洗中對酸液進行過濾，其特征在于，包括: 殼體以及位于所述殼體中的濾網(wǎng)； 其中，所述殼體包括側(cè)壁，所述側(cè)壁由內(nèi)至外包括內(nèi)壁、感壓膜及外壁，所述感壓膜偵測所述過濾器內(nèi)的壓強并傳遞信號至外界。
2.如權(quán)利要求1所述的過濾器，其特征在于，所述側(cè)壁的形狀為圓筒形，所述濾網(wǎng)的形狀為一端敞開的空心圓柱形，所述濾網(wǎng)的高度及底面積均小于所述側(cè)壁的高度及底面積。
3.如權(quán)利要求2所述的過濾器，其特征在于，所述過濾器進一步包括與所述側(cè)壁相連接的頂板和底板，所述濾網(wǎng)的敞開一端連接于所述頂板，所述濾網(wǎng)與所述側(cè)壁及所述底板之間具有空隙，所述酸液經(jīng)過所述空隙。
4.如權(quán)利要求3所述的過濾器，其特征在于，所述過濾器包括穿過所述側(cè)壁的一進液管和一排液管，所述濾網(wǎng)包括一開口，所述開口和所述排液管相連通；所述進液管與所述空隙相連通，所述酸液由所述進液管進入所述空隙，經(jīng)所述濾網(wǎng)過濾后滲入所述濾網(wǎng)中，并經(jīng)由所述開口和排液管排出。
5.如權(quán)利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述過濾器還包括一穿過所述底板的廢液排放口，經(jīng)所述濾網(wǎng)過濾后的廢液由所述廢液排放口排出。
6.如權(quán)利要求1所述的過濾器，其特征在于，所述過濾器還包括一顯示屏，所述感壓膜偵測到的壓強由所述顯示屏顯示。
7.一種酸洗設(shè)備，用于半導(dǎo)體制造過程中對晶圓進行清洗，所述酸洗設(shè)備包括酸槽、過濾器，所述酸液經(jīng)所述過濾器后進入酸槽對待清洗晶圓進行清洗；其特征在于，所述過濾器為如權(quán)利要求1?6中任一項所述的過濾器。
【文檔編號】B01D29/33GK203425585SQ201320510138
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月20日
【發(fā)明者】楊勇, 杜亮 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司