專利名稱：一種真空泵除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空泵除塵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空泵除塵裝置。
背景技術(shù)：
單晶爐是一種拉制單晶棒的設(shè)備，單晶爐使用的真空泵有干泵，是一種用來抽氣的泵，此種泵不用油，還有油泵，是一種使用泵油的抽氣泵。單晶爐的排氣對于拉晶至關(guān)重要，所以要再保證排氣通暢的情況下對抽出的氣體進行過濾，防止更多的雜質(zhì)進入到單晶爐配備的真空泵內(nèi)，對于單晶爐配備的真空泵有干式的干泵，還有油泵，無論是哪種泵體，都要保證雜質(zhì)被吸進泵體內(nèi)的越少越好，干泵能保證其使用壽命，油泵換油的次數(shù)將有所延長，所以就要求過濾效果好且不能對單晶爐排氣有影響的過濾裝置，目前使用的過濾裝置不能有效的過濾雜質(zhì)，真空泵保養(yǎng)周期特別短，運行一段時間就需要保養(yǎng)清理一次，既影響生產(chǎn)，費用也極高。因此，如何提供一種真空泵除塵裝置，以實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種真空泵除塵裝置，以實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長。為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:—種真空泵除塵裝置，用于單晶爐，包括除塵桶，所述除塵桶上設(shè)置有進氣口和出氣口，所述除塵桶中設(shè)置有多個內(nèi)部出氣管，多個所述內(nèi)部出氣管均與所述出氣口連通，每個所述內(nèi)部出氣管上均套設(shè)有濾芯。優(yōu)選的，上述的真空泵除塵裝置中的多個所述內(nèi)部出氣管均勻分布在所述除塵桶中。優(yōu)選的，上述的真空泵除塵裝置中的多個所述內(nèi)部出氣管呈圓周分布。優(yōu)選的，上述內(nèi)部出氣管為6個。優(yōu)選的，上述內(nèi)部出氣管為圓形筒。本實用新型提供的真空泵除塵裝置，用于單晶爐，包括除塵桶，所述除塵桶上設(shè)置有進氣口和出氣口，所述除塵桶中設(shè)置有多個內(nèi)部出氣管，多個所述內(nèi)部出氣管均與所述出氣口連通，每個所述內(nèi)部出氣管上均套設(shè)有濾芯。通過在除塵桶中設(shè)置多個內(nèi)部出氣管和套設(shè)在內(nèi)部出氣管上的濾芯，有效的增大了過濾面積，提高了過濾效果，更多的雜質(zhì)被過濾在了濾芯上，同時，多個內(nèi)部出氣管和濾芯的設(shè)置，使得除塵桶內(nèi)的各個部位的氣體能夠同時得到過濾，有效過濾范圍增大，也能提高過濾效果，更少的雜質(zhì)進入到真空泵中，從而實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長。

[0014]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例提供的真空泵除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中真空泵除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。上圖1-2 中:濾芯1、內(nèi)部出氣管2、進氣口 3、除塵桶4、出氣口 5。
具體實施方式
本實用新型實施例提供了一種真空泵除塵裝置，以實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長。為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參考圖1，圖1為本實用新型實施例提供的真空泵除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型實施例提供的真空泵除塵裝置，用于單晶爐，包括除塵桶4，除塵桶4上設(shè)置有進氣口 3和出氣口 5，除塵桶4中設(shè)置有多個內(nèi)部出氣管2，多個內(nèi)部出氣管2均與出氣口 5連通，每個內(nèi)部出氣管2上均套設(shè)有濾芯I。通過在除塵桶4中設(shè)置多個內(nèi)部出氣管2和套設(shè)在內(nèi)部出氣管2上的濾芯1，有效的增大了過濾面積，提高了過濾效果，更多的雜質(zhì)被過濾在了濾芯I上，同時，多個內(nèi)部出氣管2和濾芯I的設(shè)置，使得除塵桶4內(nèi)的各個部位的氣體能夠同時得到過濾，有效過濾范圍增大，也能提高過濾效果，更少的雜質(zhì)進入到真空泵中，從而實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長。具體的，上述的真空泵除塵裝置中的多個內(nèi)部出氣管2均勻分布在除塵桶4中。從而實現(xiàn)對除塵桶4內(nèi)部的均勻過濾，對除塵桶4的內(nèi)部各處同時進行過濾，有效過濾范圍增大。具體的，上述的真空泵除塵裝置中的多個內(nèi)部出氣管2呈圓周分布。合理分配各個內(nèi)部出氣管2的除塵區(qū)域，達到更好的除塵效果。具體的，內(nèi)部出氣管2為6個，當(dāng)然，還可以是多于6個，數(shù)量更多，不一定效果更好，只有布置合適數(shù)量的內(nèi)部出氣管2才能達到更好的除塵效果。具體的，內(nèi)部出氣管2為圓形筒。在采用相同面積的材料的情況下，圓形筒的橫截面積要大于方形筒的或者長方形筒的橫截面積，能夠降低成本。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種真空泵除塵裝置，用于單晶爐，其特征在于，包括除塵桶，所述除塵桶上設(shè)置有進氣口和出氣口，所述除塵桶中設(shè)置有多個內(nèi)部出氣管，多個所述內(nèi)部出氣管均與所述出氣口連通，每個所述內(nèi)部出氣管上均套設(shè)有濾芯。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵除塵裝置，其特征在于，多個所述內(nèi)部出氣管均勻分布在所述除塵桶中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵除塵裝置，其特征在于，多個所述內(nèi)部出氣管呈圓周分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵除塵裝置，其特征在于，所述內(nèi)部出氣管為6個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵除塵裝置，其特征在于，所述內(nèi)部出氣管為圓形筒。
專利摘要本實用新型公開了一種真空泵除塵裝置，用于單晶爐，包括除塵桶，所述除塵桶上設(shè)置有進氣口和出氣口，所述除塵桶中設(shè)置有多個內(nèi)部出氣管，多個所述內(nèi)部出氣管均與所述出氣口連通，每個所述內(nèi)部出氣管上均套設(shè)有濾芯。通過在除塵桶中設(shè)置多個內(nèi)部出氣管和套設(shè)在內(nèi)部出氣管上的濾芯，有效的增大了過濾面積，提高了過濾效果，更多的雜質(zhì)被過濾在了濾芯上，同時，多個內(nèi)部出氣管和濾芯的設(shè)置，使得除塵桶內(nèi)的各個部位的氣體能夠同時得到過濾，有效過濾范圍增大，也能提高過濾效果，更少的雜質(zhì)進入到真空泵中，從而實現(xiàn)真空泵使用壽命的延長。
文檔編號B01D46/24GK202962174SQ20122068403
公開日2013年6月5日 申請日期2012年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月12日
發(fā)明者王永輝 申請人:英利能源(中國)有限公司