專利名稱：一種疏通放空管內(nèi)積渣的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本實(shí)用新型涉及一種疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，特別是處理多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生廢氣及殘液的裝置，適用于多種氯硅烷或氯化氫混合的有害氣體，屬廢氣處理領(lǐng)域。
技術(shù)背景:現(xiàn)在多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣及殘液，都是采用淋洗處理裝置。淋洗處理裝置是由淋洗塔、NaOH溶液循環(huán)泵、安全液封罐、放空管、接收地槽等主要設(shè)備組成，接收地槽及安全液封罐中的淋洗液主要以水和氫氧化鈉為主，極易與氯硅烷或氯化氫發(fā)生反應(yīng)，生成大量的廢洛，廢渣主要成分為H2Si03、Na2Si03、Si02、NaCl等。廢渣因反應(yīng)產(chǎn)生的堆積在安全液封罐內(nèi)，導(dǎo)致安全液封罐頂部的放空管頻繁堵塞，淋洗處理裝置不能正常處理廢氣及殘液。放空管頻繁堵塞嚴(yán)重影響了廢氣及殘液處理站處理廢氣及殘液的效率，進(jìn)而影響了多晶硅的正常生產(chǎn)。為此，需要經(jīng)常對安全液封罐頂部進(jìn)行清理。常規(guī)清理放空管過程是:先拆卸放空管與安全液封罐之間法蘭連接盤螺栓，然后再用千斤頂將放空管頂起150—200mm，并用管卡臨時固定放空管。待清理完畢放空管之后，重新固定好連接法蘭的螺栓，同時將臨時固定放空管的管卡拆掉，才能重新使用。可見每次清理放空管的難度大且不易清理干凈，勞動強(qiáng)度大。清理放空管有如下難點(diǎn):(I)、由于需將放空管頂起高度在(150— 200) mm，只能選用一些較短的工具進(jìn)行清理，清理范圍受到限制，只能對放空管局部長度空間進(jìn)行清理，清理的效率低且清理效果差。
( 2 )、每次清理放空管至少需要兩人一起配合才能完成，人工投入大。(3)、清理過程中都要使用千斤頂頂起放空管，對清理操作人員的人身安全構(gòu)成一定威脅。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，它能對現(xiàn)有廢氣及殘液淋洗產(chǎn)生大量廢渣，造成放空管頻繁堵塞情況進(jìn)行有效清理。本實(shí)用新型的目的是通過下列結(jié)構(gòu)完成的:疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，安全液封罐6的頂部裝有一根放空管7，安全液封罐6上側(cè)部接有淋洗液進(jìn)口 8，安全液封罐6下側(cè)部各裝有排污閥門9和出液閥門11，放空管7與安全液封罐6的頂部之間通過法蘭盤13連接，其特征在于安全液封罐6與放空管7之間的連接管道上串聯(lián)連接一個蝶閥15，放空管7側(cè)部安裝有一根工業(yè)水管及閥門16、取樣閥14和/或一根氮?dú)夤芗伴y門12。本實(shí)用新型裝置能減少清理放空管的工作量，也大大降低清理放空管的難度，節(jié)約大量的時間及人力，清除廢渣的效果更好，操作人員的安全也得到有效保證，從而提高廢氣及殘液處理站處理多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣及殘液處理能力。

[0010]
以下結(jié)合附圖所示實(shí)施例，對結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說明，但本實(shí)用新型保護(hù)范圍不限于此實(shí)施例。圖1為現(xiàn)在生產(chǎn)多晶硅過程中，處理廢氣及殘液淋洗工藝流程圖。圖2為原有安全液封罐的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3改進(jìn)后安全液封罐的本實(shí)用新型裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)號:I一廢氣及殘液的進(jìn)口，2—第一級淋洗塔，3—接收地槽，4一中間連通管，5—第二級淋洗塔，6—安全液封罐，7—放空管，8—淋洗液NaOH溶液進(jìn)口，9一排污閥，
10—液位計，11 一出液閥，12—氮?dú)夤埽?3—法蘭盤，14 一取樣閥，15—蝶閥，16—工業(yè)水閥門。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例:本實(shí)用新型在放空管7上安裝有氮?dú)夤?2及取樣閥14，氮?dú)夤軆?nèi)使用
0.3Mpa的氮?dú)?。在安全液封?出口與放空管7連接法蘭盤部位增加了一個蝶閥15。在放空管7的底部增加了一根工業(yè)水管16。如放空管7發(fā)生堵塞的情況下，關(guān)閉安全液封罐出口與放空管連接處新增加的蝶閥15，使放空管7與安全液封罐及前端設(shè)備斷開，打開新增加的工業(yè)水閥門16，向放空管7內(nèi)注入工業(yè)水，由于廢渣的密度比水的密度要小，廢渣會漂浮在水的表面上。當(dāng)放空管底部閥門關(guān)閉，工業(yè)水在放空管內(nèi)的液位會慢慢升高，工業(yè)水的液位達(dá)到放空管頂部時開始溢流，最終將放空管7內(nèi)的廢渣從放空管頂部沖出來，達(dá)到清理放空管內(nèi)廢渣的效果。在實(shí)施過程中發(fā)現(xiàn)，工業(yè)水上升到將要溢流時，可打開放空管7底部的氮?dú)夤?2閥門，0.3Mpa氮?dú)膺M(jìn)入水中將迅速上升，在上升的過程中可帶動放空管內(nèi)的廢渣迅速上升，一些密度、體積相對大一些的 廢渣也會從放空管7頂部被沖出來，從而更好的清理放空管。從放空管清理出來的廢渣隨工業(yè)用水流到接收地槽內(nèi)，通過人工打撈將廢渣打撈出來，最后統(tǒng)一運(yùn)到渣場處理。圖1中的箭頭為廢氣及殘液進(jìn)入淋洗塔內(nèi)的走向，廢氣處理塔為濕法吸收型凈化處理設(shè)備，其功能設(shè)計為噴淋分組分級式，淋洗液是采用氫氧化鈉(NaOH)為吸收中和液。其工作原理為:廢氣及殘液進(jìn)入第一級淋洗塔2，在第一級淋洗塔2內(nèi)與NaOH溶液發(fā)生中和反應(yīng)，沒有反應(yīng)完的廢氣通過兩級塔的中間連通管進(jìn)入到第二級淋洗塔5，再在第二級淋洗塔5內(nèi)與NaOH溶液發(fā)生中和反應(yīng)，廢氣及殘液經(jīng)過第二級淋洗塔5后剩余一些殘留氣體，其主要含78%的氮?dú)狻?1%的氫氣、1%的氯硅烷氣體，淋洗后的殘留氣由第二級淋洗塔5頂部排出至安全液封罐6，安全液封罐6內(nèi)有循環(huán)的NaOH溶液，第二級塔淋洗塔5后的殘留氣體經(jīng)過安全液封罐6與罐內(nèi)的NaOH溶液再次發(fā)生中和反應(yīng)，安全液封罐6內(nèi)的NaOH溶液液位為300mm，從第二級淋洗塔5接入到安全液封罐6的管道被NaOH溶液液封，剩余的殘留氣體再與安全液封罐6內(nèi)的NaOH溶液發(fā)生中和反應(yīng)，凈化后的廢氣達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)，通過放空管7高點(diǎn)(放空管高度為16米，達(dá)到國家排放廢氣高度大于15米的要求)排入大氣。接收地槽3內(nèi)產(chǎn)生的廢渣浮在淋洗液表面，通過人工撈出后運(yùn)至渣場集中堆存處理。
權(quán)利要求1.一種疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，安全液封罐(6)的頂部裝有一根放空管(7)，安全液封罐(6 )上側(cè)部接有淋洗液進(jìn)口( 8 )，安全液封罐(6 )下側(cè)部各裝有排污閥門(9 )和出液閥門(11 )，放空管(7)與安全液封罐(6)的頂部之間通過法蘭盤(13)連接，其特征在于安全液封罐(6)與放空管(7)之間的連接管道上串聯(lián)連接一個蝶閥(15)，放空管(7)側(cè)部安裝有一根工業(yè)水管及閥門(16)、取樣閥(14)和一根氮?dú)夤芗伴y門(12)，或者放空管(7)側(cè)部安裝有一根工業(yè)水管及閥門(16 )、一根氮?dú)夤芗伴y門(12 )。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，特別是處理多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生廢氣及殘液的裝置，適用于多種氯硅烷或氯化氫混合的有害氣體，屬廢氣處理領(lǐng)域。疏通放空管內(nèi)積渣的裝置，安全液封罐的頂部裝有一根放空管，安全液封罐上側(cè)部接有淋洗液進(jìn)口，安全液封罐下側(cè)部各裝有排污閥門和出液閥門，放空管與安全液封罐的頂部之間通過法蘭盤連接，其特征在于安全液封罐與放空管之間的連接管道上串聯(lián)連接一個蝶閥，放空側(cè)部安裝有一根工業(yè)水管及閥門、取樣閥和/或一根氮?dú)夤芗伴y門。本實(shí)用新型裝置能減少清理放空管的工作量，也大大降低清理放空管的難度，節(jié)約大量的時間及人力，清除廢渣的效果更好，操作人員的安全也得到有效保證，從而提高廢氣及殘液裝置處理多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣及殘液處理能力。
文檔編號B01D53/78GK203090730SQ20122062480
公開日2013年7月31日 申請日期2012年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月23日
發(fā)明者沈宗喜, 丁丙恒, 章華, 鄧亮, 彭德祥, 和金龍, 韓金國, 余中煒, 彭飛, 楊潔 申請人:昆明冶研新材料股份有限公司