專利名稱：石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及石英晶片壓電振子加工設(shè)備，特別是一種石英振子腐蝕液無(wú)軸自 動(dòng)攪拌機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，對(duì)石英晶體諧振器的核心零件——石英晶片壓電振子外形輪廓尺寸腐蝕加 工過程中，主要采用不同濃度、溫度的NH4HF2(氟化氫氨)腐蝕液(腐蝕液靠水浴熱傳導(dǎo)加 溫)，對(duì)不同規(guī)格、頻率、形狀的石英晶片壓電振子進(jìn)行腐蝕加工，以得到所需要的頻率及表 面光潔度以提高其振動(dòng)活力；腐蝕液在腐蝕晶片過程中，其濃度、溫度局部會(huì)發(fā)生變化，特 別是溫度局部變化較大，腐蝕液產(chǎn)生溫差對(duì)晶片均勻腐蝕影響很大。為使保持腐蝕液的濃 度、溫度相對(duì)均勻穩(wěn)定，需對(duì)腐蝕液進(jìn)行不停的攪動(dòng)，以其調(diào)整腐蝕液的濃度和溫度，攪拌 器采用與外部直接連接，極易使液體泄露造成環(huán)境腐蝕和污染。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型旨在解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，而提供一種隔層無(wú)軸傳動(dòng)攪拌葉 輪對(duì)腐蝕液不停攪拌，實(shí)現(xiàn)腐蝕液的濃度、溫度保持相對(duì)穩(wěn)定，以提高晶片腐蝕均勻度、降 低晶片腐后頻率散差的石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)，包括水浴 溫控槽、腐蝕液槽、腐蝕籃、溫控加熱管，腐蝕液槽置于盛有傳熱介質(zhì)水并安裝有溫控加熱 管的水浴溫控槽內(nèi)，該水浴溫控槽的槽外下方設(shè)置有由程控減速機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的兩極磁頭， 該腐蝕液槽的槽內(nèi)設(shè)置有與該兩極磁頭磁力配合的磁化攪拌葉輪。所述兩極磁頭通過程序 控制單元控制做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將NS極磁力線隔層傳導(dǎo)給腐蝕液槽內(nèi)的磁化攪拌葉輪。在NS 極磁力線的作用下，磁化攪拌葉輪對(duì)槽內(nèi)腐蝕液進(jìn)行旋轉(zhuǎn)攪動(dòng)，使其槽內(nèi)腐蝕液沿槽壁不 停做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)槽壁的熱量不斷向槽中間溫度低的地方置換；其一以達(dá)到槽內(nèi)腐 蝕液的濃度、溫度保持相對(duì)穩(wěn)定的目的；其二腐蝕液旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可促使晶片在腐蝕過程中不 停的翻動(dòng)，使其達(dá)到晶片腐蝕均勻的效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是從根本上杜絕了腐蝕液泄露對(duì)環(huán)境 的腐蝕和污染，且保持了腐蝕液的濃度、溫度相對(duì)均勻穩(wěn)定，有效提高了晶片腐蝕均勻度， 降低了晶片腐后頻率散差。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，為諧振器制造后序的頻率分擋、鍍膜工序 創(chuàng)造了良好條件，提高了分頻、鍍膜設(shè)備的利用率，減少了產(chǎn)品廢、次品的產(chǎn)生，有效提高了 諧振器最終合格率。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中石英晶片1 ；腐蝕籃2 ；腐蝕液槽3 ；溫控加熱管4 ；磁化攪拌葉輪5 ；控制單 元6 ；程控減速機(jī)7 ；兩極磁頭8 ；水浴溫控槽9 ；腐蝕液10 ；傳熱介質(zhì)水11 ；腐蝕籃控制臂12。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參見圖1，本實(shí)施例給出的石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)，由腐蝕籃2、腐蝕液 槽3、溫控加熱管4、磁化攪拌葉輪5、控制單元6、程控電機(jī)7、兩極磁頭8、水浴溫控槽9組 成，腐蝕液槽3置于盛有傳熱介質(zhì)水11并安裝有溫控加熱管4的水浴溫控槽9內(nèi)，水浴溫 控槽9的槽外下方設(shè)置有由程控減速機(jī)7帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的兩極磁頭8，腐蝕液槽3的槽內(nèi)設(shè)置有 與該兩極磁頭8磁力配合的磁化攪拌葉輪5，腐蝕籃2及置于其內(nèi)的石英晶片1浸于腐蝕液 槽3內(nèi)的腐蝕液10中。本實(shí)施例中，所述腐蝕籃2固定在帶動(dòng)其上、下行程和左、右擺動(dòng)的腐蝕籃控制臂 12上。 本實(shí)施例中，所述程控減速機(jī)7、溫控加熱管4及腐蝕籃控制臂12均與控制單元6 電連接。本實(shí)用新型工作時(shí)，兩極磁頭8由控制單元6程序控制的控減速機(jī)7拖動(dòng)使其旋 轉(zhuǎn)，磁化攪拌葉輪5在兩極磁頭8磁力線的作用下，隨其兩極磁頭8同步旋轉(zhuǎn)，攪動(dòng)腐蝕液 10沿腐蝕液槽3槽壁形成漩渦旋轉(zhuǎn)；傳熱介質(zhì)水11被溫控加熱管4加熱，并不斷傳導(dǎo)給腐 蝕液槽3槽壁，槽壁的熱量被旋轉(zhuǎn)的腐蝕液10吸收，起到腐蝕液10不斷加熱保持恒溫的作 用。同時(shí)，在腐蝕籃控制臂12的帶動(dòng)下，腐蝕籃2進(jìn)行上、下行程和左、右擺動(dòng)，使石英晶片 1在腐蝕過程中不停的翻動(dòng)以達(dá)到腐蝕均勻的目的?？刂茊卧?除控制程控減速機(jī)7的運(yùn) 動(dòng)外，還同時(shí)對(duì)腐蝕籃控制臂12和溫控加熱管4進(jìn)行程序控制。本實(shí)用新型所述磁化攪拌葉輪5，也可根據(jù)腐蝕液槽3大小不同，而改變成直經(jīng)不 同的磁化攪拌葉輪、或長(zhǎng)度和直經(jīng)不同的耐腐磁化攪拌棒。
權(quán)利要求一種石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)，包括水浴溫控槽、腐蝕液槽、腐蝕籃、溫控加熱管，腐蝕液槽置于盛有傳熱介質(zhì)水并安裝有溫控加熱管的水浴溫控槽內(nèi)，其特征在于，該水浴溫控槽的槽外下方設(shè)置有由程控減速機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的兩極磁頭，該腐蝕液槽的槽內(nèi)設(shè)置有與該兩極磁頭磁力配合的磁化攪拌葉輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)，其特征在于，所述腐蝕籃 固定在帶動(dòng)其上、下行程和左、右擺動(dòng)的腐蝕籃控制臂上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)，其特征在于，所述程控減 速機(jī)、溫控加熱管及腐蝕籃控制臂均與控制單元電連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及石英晶片壓電振子加工設(shè)備，特別是一種石英振子腐蝕液無(wú)軸自動(dòng)攪拌機(jī)。該機(jī)包括水浴溫控槽、腐蝕液槽、腐蝕籃、溫控加熱管，腐蝕液槽置于盛有傳熱介質(zhì)水并安裝有溫控加熱管的水浴溫控槽內(nèi)，該水浴溫控槽的槽外下方設(shè)置有由程控減速機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的兩極磁頭，該腐蝕液槽的槽內(nèi)設(shè)置有與該兩極磁頭磁力配合的磁化攪拌葉輪。該機(jī)杜絕了腐蝕液泄露對(duì)環(huán)境的腐蝕和污染，且保持了腐蝕液的濃度、溫度相對(duì)均勻穩(wěn)定，有效提高了晶片腐蝕均勻度，降低了晶片腐后頻率散差。本機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，為諧振器制造后序的頻率分擋、鍍膜工序創(chuàng)造了良好條件，提高了分頻、鍍膜設(shè)備的利用率，減少了產(chǎn)品廢、次品的產(chǎn)生，有效提高了諧振器最終合格率。
文檔編號(hào)B01F3/08GK201669077SQ20102018055
公開日2010年12月15日 申請(qǐng)日期2010年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月30日
發(fā)明者盧春田, 周寶林, 宋學(xué)忠, 董恩信 申請(qǐng)人:唐山晶源裕豐電子股份有限公司