專利名稱：用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物及使用其的凈化方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種潔凈劑組合物及使用其的凈化方法，特別涉及一種用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物及使用其的凈化方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造是一種高度精密化的工業(yè)，一些細微的環(huán)境或操作變動都有可能影響其制造成品的品質(zhì)，因此半導(dǎo)體制造及光電廠的生產(chǎn)設(shè)備均在嚴(yán)格控制下的無塵室中操作，主要有氧化爐、擴散爐、清洗槽、顯影劑、離子植入機及金屬濺鍍機(CVD)等。這些生產(chǎn)設(shè)備在操作時均可能產(chǎn)生污染物。依照其處理性質(zhì)來區(qū)分，空氣污染物可區(qū)分為酸堿性氣體、有機性氣體與特殊毒性氣體三類，其中尤以干式蝕刻制程會使用大量的酸性氣體，這些酸性氣體在制程中無法被完全利用而成為制程尾氣排出，若無法于制程機臺近端處理掉危害性制程尾氣，將增加后端次風(fēng)管與主風(fēng)管的負擔(dān)而對廠內(nèi)安全造成威脅。目前于機臺近端處理這些酸性氣體的方法包括濕式洗滌法與干式吸附法，其中，濕式洗滌法雖然是目前較經(jīng)濟的方法，但其存在著輸排水管線易堵塞或腐蝕而破裂，管線轉(zhuǎn)接處因腐蝕或施工因素而漏水等問題，此外，因其為連續(xù)運轉(zhuǎn)式，當(dāng)制程利用率不高時，將形成水、電的浪費；而干式吸附法是操作最方便的處理方法，其運作原理是將待處理尾氣通過含潔凈劑的吸附桶，酸性氣體與潔凈劑表面的活性基反應(yīng)生成穩(wěn)定化合物而被去除，操作上只需在潔凈劑飽和時，切換閥門更換吸附桶即可。此法除了使用上的便利外，還由于干式吸附不需要水及電的運轉(zhuǎn)，因此當(dāng)產(chǎn)能利用率低時，較無操作費用浪費的問題。基于上述優(yōu)點，近來使用干式吸附處理危害性氣體的廠商有逐漸增加的趨勢，只是因酸性氣體使用量大，需經(jīng)常更換吸附劑，故目前仍存在著操作成本過高的問題；而以成本較低的浸漬活性炭為吸附材，除了吸附容量低以外，與高濃度氟成份反應(yīng)時有火災(zāi)的擔(dān)心，故目前為因應(yīng)酸性氣體排放量逐年增加的嚴(yán)重問題，發(fā)展新型吸附劑乃刻不容緩的課題。
對于處理酸性氣體的濕式洗滌法與干式吸附法，擁有半導(dǎo)體廠的國家的設(shè)備廠商已發(fā)展多年，相關(guān)專利如后所述。在濕式法方面，JP-61-204022及JP-62-125827揭示一種利用氫氧化鈉等堿性水溶液與氣體接觸以吸收處理酸性氣體的濕式洗滌法，其具有操作成本低的優(yōu)勢，但卻易因堵塞或腐蝕而破裂，也需定期檢驗，且如前所述，其在制程利用率不高時，將形成水與電的浪費。在干式吸附方面，主要是發(fā)展各式的凈化劑，將其充填于吸附桶內(nèi)，再令制程尾氣流過而吸收酸性氣體；相關(guān)發(fā)明包括有JP-60-68051揭示一種含浸鋅化合物或堿金屬化合物的活性炭來處理酸性氣體，此法雖成本低廉，但吸附容量低，又有火災(zāi)的擔(dān)心；而U.S.5094825揭示以三氧化二鐵為主成份的凈化劑處理ClF3，該法直接使用商品化的產(chǎn)品，制造簡單，但吸附容量過低；U.S.5670445(TW 265270)揭示以四氧化三鐵及氫氧化鍶為主要成份的凈化劑來凈化酸性氣體，制造簡單，但氫氧化鍶成本太高，且吸附容量仍有提升的空間；又U.S.5756060(TW 370470)則揭示以氧化銅及氧化錳為主成份的凈化劑，用以處理含鹵酸性氣體，但亦存在成本過高，吸附容量有提升的空間的問題。
據(jù)此，基于市場的需求，目前急需開發(fā)出具有吸附容量高、安全性高及制造成本低的潔凈劑以解決上述討論課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個主要目的是提供一種用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，包括鐵氧化合物及具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物具有的布朗諾爾-恩麥特-泰勒(Brunner-Emmett-Teller，BET)比表面積為60m2/g以上。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該潔凈劑組合物具有的BET比表面積為60m2/g以上，較佳為BET比表面積范圍為自130m2/g至190m2/g。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物包括γ-三氧化二鋁。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該潔凈劑組合物中的該鐵氧化合物與該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物的混合比例為鐵∶鋁的原子比自1∶1至2∶1。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物占該潔凈劑組合物30％至90％的重量百分比。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物為三氧化二鐵、氫氧化鐵、氧化亞鐵或四氧化三鐵。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該酸性氣體包括含鹵化合物的氣體。該含鹵化合物的氣體包括氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其還包含一助塑劑。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該助塑劑包括含鈣氧化物或含鎂氧化物。
根據(jù)本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該助塑劑包括氧化鈣、氧化鎂、氫氧化鈣或氫氧化鎂。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比，較佳占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其還包含一黏合劑。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該黏合劑可包括硅酸鈉、甲酸鈉、甲基纖維素或聚乙烯醇。
本發(fā)明上述的潔凈劑組合物，其中該黏合劑占該潔凈劑組合物1％至10％的重量百分比，較佳占該潔凈劑組合物1％至2％之間的重量百分比。
本發(fā)明的另一主要目的是提供一種處理酸性氣體的凈化方法，包括將待處理的酸性氣體與潔凈劑組合物接觸以降低該酸性氣體濃度；其中該潔凈劑組合物包含鐵氧化合物和具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物具有的BET比表面積為60m2/g以上。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該潔凈劑組合物具有的BET比表面積為60m2/g以上，較佳為具有BET比表面積范圍為自150m2/g至190m2/g。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物包括γ-三氧化二鋁。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該潔凈劑組合物中的該鐵氧化合物與該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物的混合比例為鐵∶鋁的原子比自1∶1至2∶1。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物占該潔凈劑組合物30％至90％的重量百分比。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物為三氧化二鐵、氫氧化鐵、氧化亞鐵或四氧化三鐵。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該酸性氣體包括含鹵化合物的氣體。該含鹵化合物的氣體包括氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其還包含一助塑劑。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑包括含鈣氧化物或含鎂氧化物。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑包括氧化鈣、氧化鎂、氫氧化鈣物或氫氧化鎂。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比，較佳占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其還包含一黏合劑。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該黏合劑可包括硅酸鈉、甲酸鈉、甲基纖維素或聚乙烯醇。
本發(fā)明上述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該黏合劑占該潔凈劑組合物1％至10％的重量百分比，較佳占該潔凈劑組合物1％至2％之間的重量百分比。
本發(fā)明制得的潔凈劑組合物較僅含氧化鐵的已知潔凈劑具有更高的吸附容量，使用該潔凈劑組合物凈化處理酸性氣體具有吸附效果好、成本低的特點。
具體實施例方式
本發(fā)明將藉由以下的較佳具體實施例而作更進一步地詳細說明，但這些具體實施例僅是作為舉例說明，而非用以限定本發(fā)明的范圍。
本發(fā)明提供一種用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，該潔凈劑組合物包括至少一活性成份及至少一結(jié)構(gòu)促進劑/載體成份，其中該活性成份占潔凈劑組合物的重量百分比例為30％至90％，且其余為該載體結(jié)構(gòu)促進劑/載體成份。一般而言，該活性成份選擇性地可選用具高比表面積的活性成份，例如包含BET比表面積至少為60m2/g的鐵氧化合物，及該載體成份包含具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。
一般而言，本發(fā)明潔凈劑組合物具有60m2/g以上的BET比表面積；較佳地，該潔凈劑組合物可具有范圍為自130m2/g至190m2/g的BET比表面積。
本發(fā)明潔凈劑組合物的活性成份與結(jié)構(gòu)促進劑/載體成份的比例需在一定范圍內(nèi)，當(dāng)活性成份太低時，即無法達到具競爭力的吸附容量；當(dāng)載體成份太低時，鐵氧化物將會聚集成較大顆粒，內(nèi)層鐵氧化物無法被利用，相對地也減少其吸附容量。
在本發(fā)明的一實施例中，潔凈劑組合物包含30％至90％重量百分比的活性成份及一具中孔結(jié)構(gòu)的鋁、硅、或鈦的氧化物。較佳地，此潔凈劑組合物中的活性成份與鋁氧化物的混合比例為鐵∶鋁的原子比自1∶1至2∶1。更佳地，該潔凈劑組合物的活性成份包括含有三氧化二鐵、氫氧化鐵、氧化亞鐵或四氧化三鐵的鐵氧化合物，而具中孔結(jié)構(gòu)的鋁、硅、或鈦的氧化物最佳可包含γ-三氧化二鋁。
一般來說，本發(fā)明所用以處理的酸性氣體可包括含鹵化合物的氣體，較佳地，該含鹵化合物的氣體可為氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
一適合用于制備本發(fā)明潔凈劑組合物的方法包含下列步驟將適量含鐵前驅(qū)物溶解于適量的去離子水中，使鐵以氫氧化物狀態(tài)沉淀，經(jīng)過干燥及加熱步驟后，自該溶液中固液分離制成BET比表面積為60m2/g以上的潔凈劑組合物，其后加入助塑劑/促進劑予以充分混合后，再加入黏合劑以作為最終潔凈劑組合物。
本發(fā)明潔凈劑組合物在上述步驟中所使用的助塑劑/促進劑典型地包括含鈣氧化物或含鎂氧化物，較佳地，該助塑劑還可包括氧化鈣、氧化鎂、氫氧化鈣或氫氧化鎂。值得注意的是，該助塑劑一般約占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比，更佳地約占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
本發(fā)明潔凈劑組合物在上述步驟中所使用的黏合劑一般地包括硅酸鈉、甲酸鈉、甲基纖維素或聚乙烯醇。值得注意的是，該黏合劑一般約占該潔凈劑組合物1％至10％的重量百分比，更佳地該黏合劑較佳者約占該潔凈劑組合物1％至2％之間的重量百分比。
本發(fā)明的中孔結(jié)構(gòu)(mesoporous)的鋁、硅或鈦的氧化物可使用溶膠凝膠法(sol-gel)制備，或購買商品化的產(chǎn)品。
本發(fā)明還揭示一種處理酸性氣體的凈化方法，包括將待處理的酸性氣體與潔凈劑組合物接觸以降低該酸性氣體濃度，其中該潔凈劑組合物是包含鐵氧化合物、具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。典型地，該酸性氣體可包括含鹵化合物的氣體，較佳地，該含鹵化合物的氣體可為氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
以下實施例進一步說明本發(fā)明，熟悉本項技術(shù)的人員可由此更清楚知悉本發(fā)明的實施。但是該等實施例不應(yīng)被視為對本發(fā)明范圍的限制。
比較例1將三氧化二鐵(Fe2O3)粉末加壓成型再破碎，篩選粒徑0.425～0.85mm的顆粒作為測試用潔凈劑，此外，此類氧化鐵化合物可為任意形狀或任何形式，無須經(jīng)由任何特別純化處理，即可用于進行其后的處理。
潔凈劑吸附容量測試本發(fā)明的比較例及實施例均以氯化氫(HCl)作為測試氣體。
測試時將已制備好的潔凈劑30ml充填于內(nèi)徑27mm的不銹鋼測試腔中，充填長度相當(dāng)于52mm。測試腔及系統(tǒng)管路先通以氮氣半小時后，再以線性速度0.6cm/sec的流量通入以氮氣稀釋為30000ppm的氯化氫氣體，直至測試腔的出口端的氯化氫濃度超過300ppm的臨限值，所通入的氯化氫氣體量即為潔凈劑吸附容量。氣體流量以質(zhì)量流量控制計(Mass Flow Controller)控制，測試腔的出口端氣體濃度則以傅立葉變換紅外光譜儀(FTIR)進行連續(xù)監(jiān)測，以偵測到氯化氫氣體濃度達300ppm時為破出時間，再將其換算成吸附容量。
實施例1稱取適量硝酸鐵(Fe(NO3)3·9H2O)，溶解于適量的去離子水中，并依鐵/鋁為1∶1的比例加入默克公司生產(chǎn)的γ-三氧化二鋁(γ-Al2O3)，再以氫氧化鈉調(diào)整水溶液的pH值，使鐵以氫氧化物狀態(tài)沉淀，之后在空氣中經(jīng)過干燥、加熱后，制成BET表面積為150m2/g的潔凈劑組合物，加入5％氧化鎂粉末作為助塑劑/促進劑，予以充分混合后，加入硅酸鈉作為黏合劑，擠壓成型后加熱120℃2小時，再加以破碎并篩選粒徑0.425-0.85mm的顆粒作為測試用潔凈劑組合物。所制得的潔凈劑組合物經(jīng)BET法分析比表面積為150m2/g。以與比較例1相同的測試條件進行潔凈劑吸附容量測試，測試結(jié)果如表1所示。
實施例2重復(fù)實施例1的步驟以制備潔凈劑組合物，但以鐵/鋁為2∶1的比例將適量硝酸鐵與γ-三氧化二鋁(γ-Al2O3)混合。所制得的潔凈劑組合物經(jīng)BET法分析比表面積為188m2/g。以與比較例1相同的測試條件進行潔凈劑吸附容量測試，測試結(jié)果如表1所示。
表1

由上表1結(jié)果顯示，由加入γ-三氧化二鋁的鐵氧化合物的活性成份所制得本發(fā)明實施例1及實施例2的潔凈劑組合物較僅含氧化鐵的已知潔凈劑具有更高的吸附容量。其中，本發(fā)明實施例2的潔凈劑組合物中因含有較高的Fe/Al比，因此其吸附含量更優(yōu)于本發(fā)明實施例1的潔凈劑組合物。
以上實施例中僅以鋁的氧化物作為結(jié)構(gòu)促進劑/載體成份，用硅或鈦的氧化物代替鋁的氧化物也可取得相同的效果。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，包括鐵氧化合物；及具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物具有的BET比表面積為60m2/g以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該潔凈劑組合物具有的BET比表面積為60m2/g以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該潔凈劑組合物較佳為具有BET比表面積范圍為自130m2/g至190m2/g。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物包括γ-三氧化二鋁。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該潔凈劑組合物中的該鐵氧化合物與該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物的混合比例為鐵∶鋁的原子比自1∶1至2∶1。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物占該潔凈劑組合物30％至90％的重量百分比。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該鐵氧化合物為三氧化二鐵、氫氧化鐵、氧化亞鐵或四氧化三鐵。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該酸性氣體包括含鹵化合物的氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該含鹵化合物的氣體包括氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其還包含一助塑劑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑包括含鈣氧化物或含鎂氧化物。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑包括氧化鈣、氧化鎂、氫氧化鈣或氫氧化鎂。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑較佳者占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該助塑劑較佳者占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其還包含一黏合劑。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該黏合劑可包括硅酸鈉、甲酸鈉、甲基纖維素或聚乙烯醇。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該黏合劑占該潔凈劑組合物1％至10％的重量百分比。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物，其中該黏合劑較佳者占該潔凈劑組合物1％至2％之間的重量百分比。
22.一種處理酸性氣體的凈化方法，包括將待處理的酸性氣體與潔凈劑組合物接觸；其中該潔凈劑組合物包含鐵氧化合物和具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物具有的BET比表面積為60m2/g以上。
24.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該潔凈劑組合物具有的BET比表面積為60m2/g以上。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該潔凈劑組合物較佳為具有BET比表面積范圍為自150m2/g至190m2/g。
26.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物包括γ-三氧化二鋁。
27.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該潔凈劑組合物中的該鐵氧化合物與該具中孔結(jié)構(gòu)的鋁氧化物的混合比例為鐵∶鋁的原子比自1∶1至2∶1。
28.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物占該潔凈劑組合物30％至90％的重量百分比。
29.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該鐵氧化合物為三氧化二鐵、氫氧化鐵、氧化亞鐵或四氧化三鐵。
30.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該酸性氣體包括含鹵化合物的氣體。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該含鹵化合物的氣體包括氯化氫、三氯化硼、氯氣、氟化氫、三氟化硼、溴化氫或四氟化硅。
32.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其還包含一助塑劑。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑包括含鈣氧化物或含鎂氧化物。
34.根據(jù)權(quán)利要求32或33所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑包括氧化鈣、氧化鎂、氫氧化鈣物或氫氧化鎂。
35.根據(jù)權(quán)利要求32或33所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比。
36.根據(jù)權(quán)利要求34所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑占該潔凈劑組合物5％至30％的重量百分比。
37.根據(jù)權(quán)利要求35所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑較佳者占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
38.根據(jù)權(quán)利要求36所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該助塑劑較佳者占該潔凈劑組合物15％至20％之間的重量百分比。
39.根據(jù)權(quán)利要求22所述的處理酸性氣體的凈化方法，其還包含一黏合劑。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該黏合劑可包括硅酸鈉、甲酸鈉、甲基纖維素或聚乙烯醇。
41.根據(jù)權(quán)利要求39或40所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該黏合劑占該潔凈劑組合物1％至10％的重量百分比。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的處理酸性氣體的凈化方法，其中該黏合劑較佳者占該潔凈劑組合物1％至2％之間的重量百分比。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用以處理酸性氣體的潔凈劑組合物及使用其的凈化方法，其中該潔凈劑組合物包括鐵氧化合物及具中孔結(jié)構(gòu)的含有鋁、硅或鈦中至少之一的氧化物；該凈化方法為將待處理的酸性氣體與該潔凈劑組合物接觸以降低該酸性氣體濃度。本發(fā)明制得的潔凈劑組合物較僅含氧化鐵的已知潔凈劑具有更高的吸附容量，使用該潔凈劑組合物凈化處理酸性氣體具有吸附效果好、成本低的特點。
文檔編號B01D53/68GK1939572SQ20051010557
公開日2007年4月4日 申請日期2005年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月27日
發(fā)明者許榮男, 李壽南 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院