專利名稱：過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種過濾裝置，特別是涉及一種適用于化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的過濾裝置(Trap)。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition，CVD)，是一種利用化學(xué)反應(yīng)的方式，在反應(yīng)室(爐管)內(nèi)使反應(yīng)物(通常為反應(yīng)氣體)生成固態(tài)的產(chǎn)物，并沉積于芯片表面的一種薄膜沉積技術(shù)?；瘜W(xué)氣相沉積法的應(yīng)用范圍極為廣泛，舉凡半導(dǎo)體組件所需制備的薄膜，不論是導(dǎo)體、半導(dǎo)體、或是介電材料(Dielectrics)，都可通過化學(xué)氣相沉積法來進(jìn)行制備。而且，由于化學(xué)氣相沉積法是通過反應(yīng)氣體間的化學(xué)反應(yīng)來形成所需要的薄膜，因此，以化學(xué)氣相沉積法所制備的薄膜材料，其結(jié)晶性(Crystallinity)和理想配比(Stoichiometry)等一些與材料特性相關(guān)的性質(zhì)，將優(yōu)于傳統(tǒng)的濺鍍法。所以，在先進(jìn)的半導(dǎo)體制作過程中，化學(xué)氣相沉積法儼然已成為最主要的薄膜沉積工具。
但是，對于化學(xué)氣相沉積法而言，上述反應(yīng)氣體在形成固態(tài)的生成物時，通常會伴隨產(chǎn)生大量的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物，因此反應(yīng)室(爐管)通常會連接一過濾裝置，用以將氣體中的該各反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物濾除。
圖1是繪示現(xiàn)有一種與化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的反應(yīng)室(爐管)連接的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖1，現(xiàn)有的過濾裝置100是由過濾裝置本體110、過濾板120及盤式過濾器130所構(gòu)成。過濾裝置本體110是由底座112、筒體114及固定軸116所構(gòu)成。其中，筒體114配置于底座112上，且此筒體114上具有進(jìn)氣口114a及出氣口114b，而固定軸116配置在底座112上。過濾板120配置在筒體114內(nèi)，并對應(yīng)于筒體114的進(jìn)氣口114a，且此過濾板120具有多個孔洞(圖未示)，用以過濾廢氣中的反應(yīng)物微粒。盤式過濾器130由多個環(huán)狀的碟盤132所構(gòu)成。這些環(huán)狀的碟盤132相互堆棧而形成類似圓筒狀的堆棧體，并配置在底座112上。
請繼續(xù)參閱圖1，當(dāng)含有反應(yīng)物微粒及副產(chǎn)物的廢氣由進(jìn)氣口114a進(jìn)入過濾裝置本體110時，此氣體一部分會經(jīng)由過濾板120通過盤式過濾器130，而其它部分則直接通過盤式過濾器130。其中經(jīng)由過濾板120的廢氣，其粒徑大于過濾板120的孔洞直徑的反應(yīng)物微粒會被阻隔于這些孔洞上，而進(jìn)入盤式過濾器130內(nèi)的廢氣，因每個碟盤132之間都有空隙，是可阻隔粒徑大于此空隙的反應(yīng)物微粒，使得最后由出氣口114b排出的廢氣，其中的反應(yīng)物微?？杀粩r截，而達(dá)到過濾氣體中的雜質(zhì)的目的。
然而，現(xiàn)有過濾裝置具有下列缺點(diǎn)1.廢氣由過濾裝置的進(jìn)氣口進(jìn)入后，隨即進(jìn)入盤式過濾器中，其氣體流動的路徑較短，不易使廢氣中的反應(yīng)物留在過濾裝置內(nèi)，因此過濾的效果較差。
2.過濾裝置內(nèi)的盤式過濾器僅能概略地阻隔粒徑較大的反應(yīng)物微粒，對于粒徑更小的反應(yīng)物微粒則無法有效攔截，因此過濾的效果較差。
3.過濾裝置鄰近于進(jìn)氣口的內(nèi)壁至過濾板之間的距離很小，僅為1.5公分，而且過濾板上的孔洞也相當(dāng)細(xì)小，其當(dāng)廢氣中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物大量聚集時，容易因過濾板上的孔洞被阻塞，進(jìn)而造成進(jìn)氣口端阻塞的情形發(fā)生。因此勢必花費(fèi)大量的時間及金錢來進(jìn)行過濾裝置的進(jìn)氣口端的清理，以維護(hù)過濾裝置的正常運(yùn)作，而致使化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的生產(chǎn)效率無法有效提升。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一目的在于提供一種過濾裝置，其可增加過濾氣體中的液態(tài)物質(zhì)及微粒的能力。
本發(fā)明的又一目的為提供一種過濾裝置，可避免過濾裝置的進(jìn)氣口阻塞，進(jìn)而增加過濾裝置的使用壽命(Life time)。
基于上述目的，本發(fā)明提出一種過濾裝置，適于過濾氣體，此過濾裝置主要是由過濾裝置本體、盤式過濾器、氣體導(dǎo)流管以及多個網(wǎng)型過濾器所構(gòu)成。過濾裝置本體內(nèi)呈中空，且此過濾裝置本體具有進(jìn)氣口及出氣口。盤式過濾器配置于過濾裝置本體內(nèi)部。氣體導(dǎo)流管亦配置于過濾裝置本體內(nèi)部，且此氣體導(dǎo)流管的一端與盤式過濾器連通，另一端與出氣口連通，且氣體導(dǎo)流管的一部分區(qū)域位于進(jìn)氣口附近。多個網(wǎng)型過濾器則配置于氣體導(dǎo)流管內(nèi)。氣體是由進(jìn)氣口進(jìn)入，并經(jīng)氣體導(dǎo)流管的外壁的導(dǎo)流進(jìn)入盤式過濾器中，且經(jīng)過該各網(wǎng)型過濾器后，最后由出氣口排出。
在本發(fā)明的較佳實施例中，過濾裝置本體可由底座及筒體所構(gòu)成。其中，筒體配置于底座上，且進(jìn)氣口及出氣口位于此筒體上。此外，進(jìn)氣口可配置于筒體的側(cè)面，而出氣口可配置于筒體的頂面。
在本發(fā)明的較佳實施例中，過濾裝置本體還包括一固定軸，此固定軸配置在底座上，且多個網(wǎng)型過濾器配置在此固定軸上，以將這些網(wǎng)型過濾器固定于此氣體導(dǎo)流管內(nèi)。此外，在些網(wǎng)型過濾器的周緣還可配置多個固定構(gòu)件，以將這些網(wǎng)型過濾器固定為一體，進(jìn)而方便將這些網(wǎng)型過濾器同時固定于固定軸上。
在本發(fā)明的較佳實施例中，盤式過濾器主要由多個環(huán)狀的碟盤所構(gòu)成。這些環(huán)狀的碟盤相互堆棧且配置在底座上，而氣體導(dǎo)流管配置于此盤式過濾器上。此外，環(huán)狀碟盤的上下兩面的內(nèi)周緣至外周緣具有多個微細(xì)凹紋，使環(huán)狀碟盤堆棧在一起時，可于相鄰兩碟盤上之間而形成復(fù)雜的間隙，而使氣體中的微粒可堆積于相鄰兩碟盤之間所形成的間隙內(nèi)。另外，環(huán)狀碟盤的上下兩表面上還可配置多個凸肋或凹溝，用以增加吸附的表面積。
在本發(fā)明的較佳實施例中，環(huán)狀碟盤例如是堆棧為一筒狀堆棧體。此外，環(huán)狀碟盤例如是具有一對準(zhǔn)端，且這些環(huán)形碟盤例如是以這些對準(zhǔn)端相互對齊的方式堆棧。另外，也可部分環(huán)形碟盤例如是以這些對準(zhǔn)端朝向一第一方向且相互對齊的方式堆棧，而部分環(huán)形碟盤例如以這些對準(zhǔn)端朝向一第二方向且相互對齊的方式堆棧。換言之，這些具有對準(zhǔn)端的環(huán)狀碟盤可以同向堆?；虿糠滞?、部分反向的交錯堆棧。
在本發(fā)明的較佳實施例中，氣體導(dǎo)流管對應(yīng)于進(jìn)氣口的此部分區(qū)域可為平面，用以改變由進(jìn)氣口進(jìn)入的部分氣體的流動方向以及吸附氣體中的液態(tài)物質(zhì)。此外，氣體導(dǎo)流管對應(yīng)于進(jìn)氣口的此部分區(qū)域上，更可配置多個隔板，用以增加吸附的表面積，進(jìn)而提高吸附氣體中的液態(tài)物質(zhì)的效果。當(dāng)然，隔板也可以設(shè)置在整個氣體導(dǎo)流管的外壁面上。
在本發(fā)明的較佳實施例中，過濾裝置本體鄰近于此進(jìn)氣口的壁面至氣體導(dǎo)流管與此進(jìn)氣口對應(yīng)的部分區(qū)域其距離例如是3公分。
在本發(fā)明的較佳實施例中，多個網(wǎng)型過濾器的孔徑不同，且這些網(wǎng)型過濾器的孔徑是由大至小配置，并由盤式過濾器向過濾裝置本體的出氣口排列。
本發(fā)明的過濾裝置其內(nèi)部設(shè)計有盤式過濾器、氣體導(dǎo)流管以及網(wǎng)型過濾器三種過濾單元，并使由過濾裝置的進(jìn)氣口所進(jìn)入的氣體依序經(jīng)氣體導(dǎo)流管、盤式過濾器、網(wǎng)型過濾器后再由過濾裝置的出氣口排出，因此通過三段式過濾先將氣體中的液態(tài)物質(zhì)吸附，接著再將氣體中的微粒依粒徑大小漸進(jìn)過濾，以提高過濾的效果。


圖1為現(xiàn)有一種與化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的反應(yīng)室(爐管)連接的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明一較佳實施例的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3A為本發(fā)明一較佳實施例的盤式過濾器的上視圖；圖3B為本發(fā)明一較佳實施例的盤式過濾器的立體示意圖；圖4A為本發(fā)明一較佳實施例的氣體導(dǎo)流管的立體示意圖；圖4B為本發(fā)明一較佳實施例的另一氣體導(dǎo)流管的立體示意圖；圖5為本發(fā)明一較佳實施例的網(wǎng)型過濾器的立體示意圖。
具體實施例方式
圖2為本發(fā)明一較佳實施例的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3A為依照本發(fā)明一較佳實施例的盤式過濾器的上視圖。圖3B繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的盤式過濾器的立體示意圖。圖4A繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的氣體導(dǎo)流管的立體示意圖。圖4B繪示依照本發(fā)明另一較佳實施例的氣體導(dǎo)流管的立體示意圖。圖5繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的網(wǎng)型過濾器的立體示意圖。
首先，請先參照圖2，本發(fā)明的過濾裝置200適于過濾氣體中的微粒及液態(tài)物質(zhì)，此過濾裝置200主要是由過濾裝置本體210、盤式過濾器220、氣體導(dǎo)流管230以及多個網(wǎng)型過濾器240所構(gòu)成。
過濾裝置本體210內(nèi)呈中空，且此過濾裝置本體210具有進(jìn)氣口212a及出氣口212b。以本實施例而言，過濾裝置本體210例如是由底座212、筒體214及固定軸216所構(gòu)成。其中筒體214配置在底座212上，而固定軸216配置在底座212上，而進(jìn)氣口212a及出氣口212b例如是配置在筒體214上，且進(jìn)氣口212a例如是配置于筒體214的側(cè)面，而出氣口212b例如是配置于筒體214的頂面。在本實施例中，筒體214例如是圓筒狀，當(dāng)然筒體也可以是四角筒狀、五角筒狀、多角筒狀等。
請同時參照圖2、圖3A與圖3B，盤式過濾器220配置于過濾裝置本體210內(nèi)部，且例如是配置在底座212上。其中盤式過濾器220主要是由多個環(huán)狀的碟盤222堆棧而成，而形成類似圓筒狀的堆棧體。在本實施例中這些碟盤222堆棧配置在底座212上，而氣體導(dǎo)流管230也配置于過濾裝置本體210內(nèi)部，且配置于這盤式過濾器220最頂層的碟盤222的表面上。碟盤222的上下兩面的內(nèi)周緣至外周緣設(shè)置有多個微細(xì)的凹紋(未繪示)，當(dāng)?shù)P222堆棧在一起時，通過使相鄰兩碟盤222上的接觸面的凹紋交叉堆棧，或具有小角度，于是在盤式過濾器220中，相鄰兩碟盤222之間則因為凹紋的組合，而形成復(fù)雜的間隙，當(dāng)廢氣從盤式過濾器220外側(cè)通過此間隙而進(jìn)入盤式過濾器220內(nèi)部時，廢氣中的為微粒就會堆積在此間隙內(nèi)。此外，碟盤222之上下兩表面上還可配置多個凸肋224，以增加吸附的表面積，進(jìn)而使提高過濾的效果。當(dāng)然，在碟盤222的上下兩表面上也可配置多個凹溝(未繪示)，同樣也具有增加吸附的表面積，進(jìn)而使提高過濾的效果。另外，本實施例中的碟盤222是以具有一對準(zhǔn)端的環(huán)形碟盤舉例說明，其中此對準(zhǔn)端為在堆棧這些碟盤222時作為對準(zhǔn)的基準(zhǔn)之用。以本實施例而言，對準(zhǔn)端即例如是如圖3B中所示的環(huán)形碟盤的切角處，且這些環(huán)形碟盤例如是以這些對準(zhǔn)端相互對齊的方式堆棧。當(dāng)然，也可將部分環(huán)形碟盤例如是以這些對準(zhǔn)端朝向一第一方向且相互對齊的方式堆棧，而將其余環(huán)形碟盤例如以這些對準(zhǔn)端朝向一第二方向且相互對齊的方式堆棧。換言之，這些具有對準(zhǔn)端的環(huán)狀碟盤可以同向堆棧或部分同向、部分反向的交錯堆棧，甚至這些具有對準(zhǔn)端的環(huán)狀碟盤還可以各自由不同的方向交錯堆棧。然而，熟悉該項技術(shù)者應(yīng)知，本發(fā)明的碟盤222也無須局限其形狀，是可為圓形、多邊形或不規(guī)則形都可。
請參閱圖2并適時對照圖4A，氣體導(dǎo)流管230例如是中空管狀體，且氣體導(dǎo)流管230的一部分區(qū)域232對應(yīng)于進(jìn)氣口212a處，而氣體導(dǎo)流管230對應(yīng)于進(jìn)氣口212a的此部分區(qū)域232例如設(shè)計為一平面(請見圖4A)，用改變由進(jìn)氣口212a進(jìn)入的部分氣體的流動方向以及吸附氣體中的液態(tài)物質(zhì)。此外，過濾裝置本體210鄰近于進(jìn)氣口212a的壁面至氣體導(dǎo)流管230的此部分區(qū)域232其距離例如是設(shè)計為3公分。故從上得知，氣體導(dǎo)流管230配置于盤式過濾器220的上方，使此氣體導(dǎo)流管230的一端可與盤式過濾器220連通，另一端可與出氣口212b連通，并使氣體導(dǎo)流管230的此部分區(qū)域232與進(jìn)氣口212a相對應(yīng)。
接著，請參閱圖4B，本發(fā)明的氣體導(dǎo)流管230其對應(yīng)于進(jìn)氣口212a而設(shè)計為平面的部分區(qū)域232上，更可配置多個隔板234，用以增加吸附的表面積，進(jìn)而提高吸附氣體中的液態(tài)物質(zhì)的效果。當(dāng)然，這些隔板234并不局限配置于此設(shè)計為平面的部分區(qū)域232上，也可配置于氣體導(dǎo)流管230的整個外壁上(圖未示)。此外，本實施例的這些隔板234是垂直地配置于氣體導(dǎo)流管230上，當(dāng)然這些隔板234也可以水平或其它排列方式配置于氣體導(dǎo)流管230上。此外，熟悉該項技術(shù)者應(yīng)知，無須限制這些隔板234的形狀及尺寸。
請繼續(xù)參閱圖2與圖5，數(shù)個網(wǎng)型過濾器240(本圖以繪出三個為例說明)配置于氣體導(dǎo)流管230內(nèi)，且是通過將這些網(wǎng)型過濾器240套設(shè)于固定軸216上，而將這些網(wǎng)型過濾器240固定于氣體導(dǎo)流管230內(nèi)。此外，為了方便將這些網(wǎng)型過濾器240同時配置在固定軸216上，可通過多個固定構(gòu)件242配置于這些網(wǎng)型過濾器240的周緣，使這些網(wǎng)型過濾器240成為一體。
接著，繼續(xù)說明本發(fā)明的過濾裝置200的過濾原理。在此，以將本發(fā)明的過濾裝置200運(yùn)用在二氧化硅(以四乙基-鄰-硅酸酯，簡稱TEOS，作為反應(yīng)氣體源)化學(xué)氣相沉積制作過程為例作說明。本發(fā)明的過濾裝置200通常是連接在一化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的反應(yīng)室(爐管)的出口端，其中反應(yīng)室(爐管)內(nèi)通常是通入TEOS(Si(OC2H5)4(g))的反應(yīng)氣體，通過對此反應(yīng)氣體進(jìn)行加熱，以形成固態(tài)的SiO2(s)沉積于芯片表面，而反應(yīng)氣體在形成固態(tài)的生成物時，通常會伴隨產(chǎn)生由大量的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物，如乙烯(C2H4(g))、氧化氫(H2O(g))所構(gòu)成的廢氣，因此將本發(fā)明的過濾裝置200連接于反應(yīng)室(爐管)的出口端，可以濾除廢氣中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物。
如圖2所示，廢氣是由進(jìn)氣口212a進(jìn)入過濾裝置本體210時，廢氣首先會接觸到氣體導(dǎo)流管230的如圖4A或圖4B所示的部分區(qū)域232，而先將廢氣中的偏液態(tài)型態(tài)的物質(zhì)(如H2O(g))吸附，并通過氣體導(dǎo)流管230的此部分區(qū)域232的平面設(shè)計，使一部分反應(yīng)氣體朝向過濾裝置本體210的底部流動而進(jìn)入盤式過濾器220內(nèi)，而另一部分的廢氣則通過氣體導(dǎo)流管230的部分區(qū)域232以外的弧形表面導(dǎo)向較遠(yuǎn)離進(jìn)氣口212a處后，再朝向過濾裝置本體210的底部流動而進(jìn)入盤式過濾器230內(nèi)，因此，本發(fā)明的氣體導(dǎo)流管230除可先將廢氣中的偏液態(tài)物質(zhì)吸附，而作第一道過濾外，更可延長氣體在過濾裝置本體210內(nèi)的流動路徑，讓反應(yīng)物更容易留在過濾裝置本體210內(nèi)，進(jìn)而提高過濾的效果。此外，由于過濾裝置本體210鄰近于進(jìn)氣口212a的壁面至氣體導(dǎo)流管230的此部分區(qū)域232其距離例如是設(shè)計為3公分，其距離增大至現(xiàn)有技術(shù)的過濾裝置本體鄰近于進(jìn)氣口處的壁面至氣體導(dǎo)流板距離的兩倍，因此，當(dāng)廢氣中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物大量聚集時，進(jìn)氣口端即不易造成阻塞的情形發(fā)生，故不需再花費(fèi)大量的時間及金錢來進(jìn)行過濾裝置的進(jìn)氣口端的清理，來維護(hù)過濾裝置的正常運(yùn)作，因此化學(xué)氣相沉積機(jī)臺的生產(chǎn)效率可有效地提高。
而進(jìn)入盤式過濾器230內(nèi)的廢氣，由于每個碟盤232之間都有空隙，故在通過各個碟盤232之間的空隙時，可阻隔粒徑大于此空隙的反應(yīng)物微粒，而作第二道過濾。之后，廢氣會依序通過配置于氣體導(dǎo)流管230內(nèi)部的多個網(wǎng)型過濾器240。值得注意的是，以如圖5的本實施例而言，三個網(wǎng)型過濾器240其孔徑都不同，其中距離出氣口212b越近的網(wǎng)型過濾器240其孔徑則越小，通過這些網(wǎng)型過濾器240的配置以達(dá)到漸進(jìn)式過濾的效果。換言之，通過網(wǎng)型過濾器240的配置，以對廢氣內(nèi)其粒徑更小的反應(yīng)物微粒進(jìn)行過濾，使最后由出氣口214b排出的氣體其中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物可被攔截，而達(dá)到過濾氣體中的雜質(zhì)的目的。
本發(fā)明的過濾裝置其內(nèi)部主要設(shè)計有盤式過濾器、氣體導(dǎo)流管以及網(wǎng)型過濾器三種過濾單元，并使由過濾裝置的進(jìn)氣口所進(jìn)入的氣體依序經(jīng)氣體導(dǎo)流管、盤式過濾器、網(wǎng)型過濾器后再由過濾裝置的出氣口排出，以先將氣體中的液態(tài)物質(zhì)吸附，接著再將氣體中的微粒依粒徑大小漸進(jìn)過濾，因此通過三段式的過濾方式，進(jìn)一步提高過濾的效果。
綜上所述，本發(fā)明的過濾裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)1.本發(fā)明的過濾裝置內(nèi)配置有盤式過濾器、氣體導(dǎo)流管以及網(wǎng)型過濾器三種過濾單元，并以三段式的過濾方式過濾氣體(即廢氣)中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物，故可提供較佳的過濾效果。
2.本發(fā)明的過濾裝置中所配置的氣體導(dǎo)流管，除可吸附氣體(即廢氣)中的偏液態(tài)物質(zhì)外，更可延長氣體在過濾裝置本體內(nèi)的流動路徑，讓反應(yīng)物更容易留在過濾裝置本體內(nèi)，進(jìn)而提高過濾的效果。
3.本發(fā)明的過濾裝置鄰近于進(jìn)氣口端的壁面至氣體導(dǎo)流管間的距離增大至3公分(即加大緩沖空間)，因此當(dāng)氣體中的反應(yīng)物微粒與副產(chǎn)物大量聚集時，進(jìn)氣口端即不易造成阻塞的情形發(fā)生。
雖然結(jié)合以上較佳實施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種過濾裝置，適于過濾一氣體，該過濾裝置包括一過濾裝置本體，內(nèi)呈中空，且該過濾裝置本體具有一進(jìn)氣口及一出氣口；一盤式過濾器，配置于該過濾裝置本體內(nèi)部；一氣體導(dǎo)流管，配置于該過濾裝置本體內(nèi)部，該氣體導(dǎo)流管的一端與該盤式過濾器連通，另一端與該出氣口連通，且該氣體導(dǎo)流管的一部分區(qū)域?qū)?yīng)于該進(jìn)氣口；以及多個網(wǎng)型過濾器，配置于該氣體導(dǎo)流管內(nèi)，其中該氣體由該進(jìn)氣口進(jìn)入，并經(jīng)該氣體導(dǎo)流管的外壁的導(dǎo)流進(jìn)入該盤式過濾器內(nèi)，且經(jīng)過該些網(wǎng)型過濾器后由該出氣口排出。
2.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其中該過濾裝置本體包括一底座；以及一筒體，配置于該底座上，且該進(jìn)氣口及該出氣口位于該筒體上。
3.如權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其中該進(jìn)氣口位于該筒體的側(cè)面，而該出氣口位于該筒體的頂面。
4.如權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其中該過濾裝置本體還包括一固定軸，該固定軸配置于該底座上，且該各網(wǎng)型過濾器配置在該固定軸上，而將該各網(wǎng)型過濾器固定于該氣體導(dǎo)流管內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的過濾裝置，其中該盤式過濾器包括多個環(huán)狀碟盤，該各環(huán)狀碟盤堆棧配置在該底座上，而該氣體導(dǎo)流管配置于該盤式過濾器上。
6.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤的上下兩面的內(nèi)周緣至外周緣具有多個凹紋。
7.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤的上下兩表面上還具有多個凸肋。
8.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤的上下兩表面上還具有多個凹溝。
9.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤堆棧為一筒狀堆棧體。
10.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤分別具有一對準(zhǔn)端，且該各環(huán)形碟盤是以該對準(zhǔn)端相互對齊的方式堆棧。
11.如權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其中該各環(huán)狀碟盤分別具有一對準(zhǔn)端，至少部分該各環(huán)形碟盤是以該對準(zhǔn)端朝向一第一方向且相互對齊的方式堆棧，而部分該各環(huán)形碟盤系以該對準(zhǔn)端朝向一第二方向且相互對齊的方式堆棧。
12.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其中該氣體導(dǎo)流管的該部分區(qū)域為一平面。
13.如權(quán)利要求12所述的過濾裝置，還包括多個隔板，該各隔板配置于該氣體導(dǎo)流管的該平面上。
14.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，還包括多個隔板，該各隔板配置于該氣體導(dǎo)流管的外壁上。
15.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其中該過濾裝置本體鄰近于該進(jìn)氣口的壁面至該氣體導(dǎo)流管的該部分區(qū)域的距離為3公分。
16.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其中該各網(wǎng)型過濾器的孔徑不同，且由該盤式過濾器向該出氣口，該各網(wǎng)型過濾器的孔徑是由大至小配置。
17.如權(quán)利要求1所述的過濾裝置，還包括多個固定構(gòu)件，該各固定構(gòu)件配置于該各網(wǎng)型過濾器的周緣，以將該各網(wǎng)型過濾器固定為一體。
全文摘要
一種過濾裝置，適于過濾氣體，其主要由過濾裝置本體、盤式過濾器、氣體導(dǎo)流管以及多個網(wǎng)型過濾器所構(gòu)成。過濾裝置本體具有進(jìn)氣口及出氣口。盤式過濾器配置于過濾裝置本體內(nèi)部。氣體導(dǎo)流管配置于過濾裝置本體內(nèi)部，且此氣體導(dǎo)流管的一端與盤式過濾器連通，另一端與出氣口連通。多個網(wǎng)型過濾器則配置于氣體導(dǎo)流管內(nèi)。通過多段式過濾先將氣體中的液態(tài)物質(zhì)吸附，接著再將氣體中的微粒依粒徑大小漸進(jìn)過濾，以提高過濾的效果。
文檔編號B01D46/10GK1672771SQ200410031568
公開日2005年9月28日 申請日期2004年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月25日
發(fā)明者陳平陽, 廖志朋, 陳清琪, 郭書銘, 楊易昌, 林瑞淵 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司